JP4207398B2 - カーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法、並びに、カーボンナノチューブ構造体の配線およびそれを用いたカーボンナノチューブデバイス - Google Patents
カーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法、並びに、カーボンナノチューブ構造体の配線およびそれを用いたカーボンナノチューブデバイス Download PDFInfo
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カーボンナノチューブを含むデバイスや機能材料、およびその他構造材料などに利用可能なカーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法、並びに、カーボンナノチューブ構造体の配線およびそれを用いたカーボンナノチューブデバイスに関する。
本発明は、広範なカーボンナノチューブの応用に展開可能なものである。
【０００２】
【従来の技術】
繊維状のカーボンを一般的にカーボンファイバーと呼んでいるが、直径数μｍ以上の太さの構造材料として用いられるカーボンファイバーは、従来から何種類もの製法が研究されて来ている。その中で現在ではＰＡＮ（ポリアクリロニトリル）系やピッチ系の原料から作製する製法が主流を占めている。
【０００３】
この製法の概略は、ＰＡＮ繊維や等方性ピッチ、メソフェーズピッチから紡糸した原料を不融化、耐炎化し８００〜１４００℃で炭素化し、そして１５００〜３０００℃で高温処理する方法である。こうして得られたカーボンファイバーは強度や弾性率等の機械的特性に優れ、かつ軽量なのでスポーツ用品や断熱材、航空宇宙関連や自動車関連の構造材等に複合材料としても利用されている。
【０００４】
これとは別に、近年発見されたカーボンナノチューブは直径１μｍ以下の太さのチューブ状材料であり、理想的なものとしては炭素６角網目の面がチューブの軸に平行になって管を形成し、さらにこの管が多重になることもある。このカーボンナノチューブは炭素でできた６角網目の繋り方や、チューブの太さにより金属的あるいは半導体的な性質を示すことが理論的に予想され、将来の機能材料として期待されている。
【０００５】
カーボンナノチューブの合成には、アーク放電法を利用するのが一般的になっているが、この他、レーザー蒸発法や熱分解法、プラズマ利用等が近年研究されてきている。ここで近年開発されたカーボンナノチューブについて概説する。
【０００６】
（カーボンナノチューブ）
直径がカーボンファイバーよりも細い１μｍ以下の材料は、通称カーボンナノチューブと呼ばれ、カーボンファイバーとは区別されているが、特に明確な境界はない。狭義には、炭素の６角網目の面が軸とほぼ平行である材料をカーボンナノチユーブと呼び、カーボンナノチューブの周囲にアモルファス的なカーボンが存在する場合もカーボンナノチューブに含めている（なお、本発明においてカーボンナノチューブとは、この狭義の解釈が適用される。）。
【０００７】
一般的に狭義のカーボンナノチューブは、さらに分類され、６角網目のチューブが１枚の構造のものはシングルウォールナノチューブ（以下、「ＳＷＮＴ」と略称する）と呼ばれ、一方、多層の６角網目のチューブから構成されているものはマルチウォールナノチューブ（以下、「ＭＷＮＴ」と略称する）と呼ばれている。どのような構造のカーボンナノチューブが得られるかは、合成方法や条件によってある程度決定されるが、同一構造のカーボンナノチューブのみを生成することは未だにできていない。
【０００８】
カーボンファイバーは径が大きく、軸に平行で円筒状の網目構造が発達しない。触媒を利用した気相熱分解法では、チューブの中心付近に軸に平行でかつチューブ状の網目構造があるが、その周囲に乱れた構造の炭素が多く付着している場合が多い。
【０００９】
（カーボンナノチューブの応用）
次にカーボンナノチューブの応用についての従来技術を説明する。
現時点では、カーボンナノチューブの応用製品は出ていないが、応用化へ向けた研究活動は活発である。その中で代表的な例を以下に簡単に説明する。
【００１０】
（１）電子源
カーボンナノチューブは先端が先鋭で、且つ電気伝導性があるため電子源としての研究例が多い。Ｗ．Ａ．ｄｅＨｅｅｒらは、“Ｓｃｉｅｎｃｅ”（Ｖｏｌ．２７０，１９９５，ｐ１１７９）で、アーク放電法で得られたカーボンナノチューブを精製しフイルターを通して基板上に立て電子源としている。この報告では電子源はカーボンナノチューブの集団となっているが、１ｃｍ2の面積から７００Ｖの電圧の印加により１００ｍＡ以上の放出電流が安定して得られたと示されている。
【００１１】
また、Ａ．Ｇ．Ｒｉｎｚｌｅｒらは、“Ｓｃｉｅｎｃｅ”（Ｖｏｌ．２６９，１９９５，ｐ１５５０）にて、アーク放電法で得られたカーボンナノチューブの１本を電極に取り付けて特性を評価したところ、約７５Ｖの電圧印加により先端の閉じたカーボンナノチューブからは約１ｎＡ、先端の開いたカーボンナノチューブからは約０．５μＡの放出電流が得られたと示されている。
【００１２】
（２）ＳＴＭ、ＡＦＭ
Ｈ．Ｄａｉらは、“Ｎａｔｕｒｅ”（３８４，１９９６，ｐ．１４７）においてカーボンナノチューブのＳＴＭ、ＡＦＭへの応用について報告している。ここで用いられているカーボンナノチューブは、アーク放電法で作製されたもので、先端部分は直径約５ｎｍのＳＷＮＴになっている。チップ（ｔｉｐ）が細く、しなやかであるため、試料の隙間部分の底でも観察でき、先端のチップクラッシュ（ｔｉｐ ｃｒａｓｈ）のない理想的なチップ（ｔｉｐ）が得られるといわれている。
【００１３】
（３）水素貯蔵材料
Ａ．Ｃ．Ｄｉｌｌｏｎらは、ＳＷＮＴを用いることにより、ピッチ系の原料から生成したカーボンと比較して数倍の水素分子が貯蔵できることを“Ｎａｔｕｒｅ”（Ｖｏｌ．３８６，１９９７，ｐ．３７７〜３７９）に報告している。まだ応用への検討が始まったばかりではあるが、将来的には水素自動車等の水素貯蔵材料として期待されている。
【００１４】
上記のカーボンナノチューブの製法として、現在は主に３種類用いられている。具体的には、カーボンファイバーを製造するための気相成長法と類似の方法（触媒を用いる熱分解法）、アーク放電法、およびレーザー蒸発法である。またこの上記３種類以外にもプラズマ合成法や固相反応法が知られている。
【００１５】
ここでは代表的な３種類について以下に簡単に説明する。
（１）触媒を用いる熱分解法
この方法は、カーボンファイバーを製造するための気相成長法とほぼ同じである。このような製法の詳細は、Ｃ．Ｅ．ＳＮＹＤＥＲらによるＩｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ ＰａｔｅｎｔのＷＯ８９／０７１６３（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｐｕｂｌｉｃａｔｉｏｎ Ｎｕｍｂｅｒ）に記載されている。反応容器の中にエチレンやプロパンを水素と共に導入し、同時に金属超微粒子を導入するが、原料ガスはこれ以外にもメタン、エタン、プロパン、ブタン、ヘキサン、シクロヘキサン等の飽和炭化水素やエチレン、プロピレン、ベンゼン、トルエン等の不飽和炭化水素、アセトン、メタノール、一酸化炭素等の酸素を含む原料でもかまわないと示されている。
【００１６】
また、原料ガスと水素の比は１：２０〜２０：１が良好であり、触媒はＦｅや、ＦｅとＭｏ、Ｃｒ、Ｃｅ、Ｍｎの混合物が推奨されており、それをヒュームド（ｆｕｍｅｄ）アルミナ上に付着させておく方法も提唱されている。反応容器は５５０〜８５０℃の範囲で、ガスの流量は１インチ径当り水素が１００ｓｃｃｍ、炭素を含む原料ガスを２００ｓｃｃｍ程度に調節することが好ましく、微粒子を導入して３０分〜１時間程度でカーボンナノチューブが成長する。
【００１７】
こうして得られるカーボンナノチューブの形状は、直径が３．５〜７５ｎｍ程度であり、長さは直径の５〜１０００倍に達する。炭素の網目構造はチューブの軸に平行になり、チューブ外側の熱分解カーボンの付着は少ない。
【００１８】
また生成効率はよくないものの、Ｍｏを触媒核にし、一酸化炭素ガスを原料ガスにして１２００℃で反応させるとＳＷＮＴが生成されることが、Ｈ．Ｄａｉ（“Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｐｈｙｓｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ”２６０，１９９６，ｐ．４７１〜４７５）らによって報告されている。
【００１９】
（２）アーク放電法
アーク放電法は、Ｉｉｊｉｍａにより最初に見出され、詳細は、Ｎａｔｕｒｅ（Ｖｏｌ．３５４，１９９１，ｐ５６〜５８）に記載されている。アーク放電法とは、アルゴン約１３３００Ｐａ（１００Ｔｏｒｒ）の雰囲気中で炭素棒電極を用いて直流アーク放電を行うという単純な方法である。カーボンナノチューブは負電極の表面の一部分に５〜２０ｎｍの炭素微粒子と共に成長する。このカーボンナノチューブは直径４〜３０ｎｍで長さ約１〜５０μｍのチューブ状の炭素の網目が重なった層状構造であり、その炭素の網目構造は、軸に平行に螺旋状に形成されている。
【００２０】
螺旋のピッチは、チューブごと、またチューブ内の層ごとに異なっており、多層チューブの場合の層間距離は０．３４ｎｍとグラファイトの層間距離にほぼ一致する。チューブの先端は、やはりカーボンのネットワークで閉じられている。
【００２１】
またＴ．Ｗ．Ｅｂｂｅｓｅｎらはアーク放電法でカーボンナノチューブを大量に生成する条件を“Ｎａｔｕｒｅ”（Ｖｏｌ．３５８，１９９２，ｐ２２０〜２２２）に記載している。具体的な条件としては、陰極に直径９ｍｍ、陽極に直径６ｍｍの炭素棒を用い、チャンバー中で１ｍｍ離して対向するように設置し、ヘリウム約６６５００Ｐａ（５００Ｔｏｒｒ）の雰囲気中で約１８Ｖ、１００Ａのアーク放電を発生させる。
【００２２】
６６５００Ｐａ（５００Ｔｏｒｒ）よりも圧力が低いとカーボンナノチューブの割合は少なく、６６５００Ｐａ（５００Ｔｏｒｒ）より圧力が高くても全体の生成量は減少する。最適条件の６６５００Ｐａ（５００Ｔｏｒｒ）では生成物中のカーボンナノチューブの割合は７５％に達する。投入電力を変化させたり、雰囲気をアルゴンにしてもカーボンナノチューブの収集率は低下する。なお、カーボンナノチューブは、生成したカーボンロッドの中心付近に多く存在する。
【００２３】
（３）レーザー蒸発法
レーザー蒸発法はＴ．Ｇｕｏらにより、“Ｃｈｅｍｉｃａｌ ＰｈｙｓｉｃｓＬｅｔｔｅｒｓ”（２４３，１９９５，ｐ．４９〜５４）に報告されて、さらにＡ．Ｔｈｅｓｓらが、“Ｓｃｉｅｎｃｅ”（ｖｏｌ．２７３，１９９６，ｐ．４８３〜４８７）にレーザー蒸発法によるロープ状ＳＷＮＴの生成を報告している。この方法の概略は以下のとおりである。
【００２４】
まず、石英管中にＣｏやＮｉを分散させたカーボンロッドを設置し、石英管中にＡｒを６６５００Ｐａ（５００Ｔｏｒｒ）満たした後、全体を１２００℃程度に加熱する。そして石英管の上流側の端からＮｄＹＡＧレーザーを集光してカーボンロッドを加熱蒸発させる。そうすると石英管の下流側にカーボンナノチューブが堆積する。この方法はＳＷＮＴを選択的に作製する方法としては有望であり、また、ＳＷＮＴが集まってローブ状になり易い等の特徴がある。
【００２５】
上記、従来技術のカーボンナノチューブの構成や製法では、得られるカーボンナノチューブは太さも方向もかなりランダムなものであり、また成長直後ではカーボンナノチューブに電極は接合されていない。すなわちカーボンナノチューブは利用に際して、合成後に回収して精製し、さらに利用する形態に合わせて特定の形状に形成しなければならない。
【００２６】
例えば、カーボンナノチューブを電気回路に利用しようとする場合には、カーボンナノチューブが非常に微細であるためにハンドリングが困難であり、集積回路（ＩＣ）のような高密度配線を作製する手法は未だ提案されておらず、Ｎａｔｕｒｅ ｖｏｌ．３９７、１９９９、ｐ．６７３〜６７５に示されているように、微細電極をあらかじめ作製し、その位置にカーボンナノチューブが配置してできる単一構造の微細素子を評価するのみであった。また、カーボンナノチューブは非常に高価であり、ロスの無いように効率的に電子回路内部に組み込ませたい。
これらハンドリングの困難さ、および高価であることの問題は、具体的なデバイス化に大きな障害となっている。
【００２７】
その１つの打開策として、従来の電子回路デバイスとは異なる生物の脳に類似させた電気信号処理を考えることができる。カーボンナノチューブはこれまでの電気配線とは異なり、非常に細く、指向性も高いため、脳内のニューロンのような多重配線を実現し、従来の計算処理とは異なる非ノイマン型の処理機構を具現化できる可能性がある。しかしながら、これまでにカーボンナノチューブの組織構造体による信号伝達、信号処理に関する報告は無い。
【００２８】
カーボンナノチューブの組織構造体を形成する手法として、カーボンナノチューブを分散媒中によく分散させてカーボンナノチューブの分散液を調製し、該分散液を平面基板に滴下して乾燥させると、カーボンナノチューブの薄膜を作製できることが予想される。また、これまでにも前記分散液を滴下することにより、非常に少量のカーボンナノチューブの塊を偶発的に平面基板の表面に残すことは実施されていたが、それはカーボンナノチューブに特有の処理法ではなく、容易に想像しうる範囲の微量残留物の扱いであった。
【００２９】
微粒子の自己組織化として知られるように、微小物体が分散媒に分散した分散液からの分散媒の乾燥に伴って、微小物体が細密充填した薄膜を形成することができる。しかしながらその場合、分散液中においては、凝集力を除き、微小物体が相互に束縛されること無く自由に振舞う。このため、分散媒の乾燥時に細密充填される際の微小物体相互の接触は、微小物体相互の凝集力のみに支配され、微小物体の凝集体が分離して生成していく。したがって、細密充填したドメインは、複数に分離した島状の組織となりやすい。
【００３０】
微小物体として導電性の粒子を用いた場合、これを網目状に分布させることができれば、少ない量で基板全面を導電化することができるが、既述のように単に微小物体の分散液から分散媒を乾燥させるのみでは、安定な島状構造となりやすく、それらは離散した状態となるため、平面基板を導電化処理するためには、ほぼ全面を被覆する量の導電性の粒子を用いなければならなかった。
【００３１】
以上の微小物体の分散液の問題は、微小物体としてカーボンナノチューブを用いた場合も基本的に同様である。すなわち、単なるカーボンナノチューブの分散液を平面基板に滴下して乾燥させることで得られるカーボンナノチューブの塊は、通常、複数に分離した島状の組織となり、個々のドメイン間で独立した状態となってしまうため、電気的または磁気的な接続状態が分断され、カーボンナノチューブ構造体として有用なネットワーク形状を得ることができなかった。したがって、単に平面基板の全面を導電化処理するのみであっても、ほぼ全面を被覆し得るだけの多量のカーボンナノチューブを要し、カーボンナノチューブの使用量が大幅にアップしてしまい、カーボンナノチューブを用いるメリットが見出せない。
【００３２】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明は、カーボンナノチューブ相互間に電気的または磁気的な接続状態を含むネットワークが、所望の面積・体積に形成されたカーボンナノチューブ構造体の配線、並びに、それが容易に得られ、カーボンナノチューブの使用量が少ないカーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法を提供することにある。また、本発明は、そのように有用なカーボンナノチューブ構造体の配線を用いたカーボンナノチューブデバイスを提供することにある。
【００３３】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、カーボンナノチューブの分散液におけるカーボンナノチューブの濃度と、前記分散液の特性と、得られるカーボンナノチューブ構造体の構造との関係を調べることで、本発明に想到した。
【００３４】
すなわち、本発明は、
＜１＞ 低粘度の分散媒にカーボンナノチューブを分散させた高粘度分散液を、カーボンナノチューブ構造体により構成される配線に応じたパターニングに従って設けられた複数の凸部により形成された経路構造を有する平面基板上に供給し、前記複数の凸部を前記カーボンナノチューブにより電気的または磁気的に接合するとともに、カーボンナノチューブ相互間に電気的または磁気的な接続状態を含むネットワークを形成させることにより、前記経路構造に沿って前記カーボンナノチューブ構造体の前記配線を形成することを特徴とするカーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法である。
【００３５】
＜２＞ 前記高粘度分散液に、さらに他の物体を分散させておくことを特徴とする＜１＞に記載のカーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法である。
【００３６】
＜３＞ 前記凸部を、平面基板上に粒子状の金属を配置して形成することを特徴とする＜１＞又は＜２＞に記載のカーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法である。
【００３７】
＜４＞ 前記高粘度分散液におけるカーボンナノチューブの濃度を調整することによって、製造されるカーボンナノチューブ構造体におけるカーボンナノチューブの数量を制御することを特徴とする＜１＞〜＜３＞のいずれか１に記載のカーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法である。
【００３８】
＜５＞ 低粘度の分散媒にカーボンナノチューブを分散させた高粘度分散液を、カーボンナノチューブ構造体により構成された配線に応じたパターニングに従って設けられた複数の凸部により形成された経路構造を有する平面基板上に供給することで形成され、前記複数の凸部が前記カーボンナノチューブにより電気的または磁気的に接合されるとともに、カーボンナノチューブ相互間に電気的または磁気的な接続状態を含むネットワークが形成されることにより、前記経路構造に沿って前記カーボンナノチューブ構造体の前記配線が形成されたことを特徴とするカーボンナノチューブ構造体の配線である。
【００３９】
＜６＞ 前記高粘度分散液に、さらに他の物体を分散させておき、前記ネットワーク中に前記他の物体が分散配置されてなることを特徴とする＜５＞に記載のカーボンナノチューブ構造体の配線である。
【００４０】
＜７＞ 前記凸部が、平面基板上に粒子状の金属が配置されてなることを特徴とする＜５＞又は＜６＞に記載のカーボンナノチューブ構造体の配線である。
【００４１】
＜８＞ 前記ネットワーク中のカーボンナノチューブの少なくとも一部が、相互に物理的に接触していることを特徴とする＜５＞〜＜７＞のいずれか１に記載のカーボンナノチューブ構造体の配線である。
【００４２】
＜９＞ ＜５＞〜＜８＞のいずれか１に記載のカーボンナノチューブ構造体の配線を含むことを特徴とするカーボンナノチューブデバイスである。
【００４３】
＜１０＞ ＜５＞〜＜８＞のいずれか１に記載のカーボンナノチューブ構造体の配線を含むカーボンナノチューブ構造体層が、２層以上積層されてなることを特徴とするカーボンナノチューブデバイスである。
【００４４】
＜１１＞ 前記カーボンナノチューブ構造体層相互間の少なくとも１の間に、機能層が介在してなることを特徴とする＜１０＞に記載のカーボンナノチューブデバイスである。
【００４５】
＜１２＞ 前記機能層が機能性物体を含み、当該機能層を介して対向する前記カーボンナノチューブ構造体層の双方に含まれるカーボンナノチューブの一部同士が、前記機能性物体を介して電気的または磁気的に接続されてなることを特徴とする＜１１＞に記載のカーボンナノチューブデバイスである。
【００４６】
＜１３＞ 前記カーボンナノチューブ構造体の少なくとも一部が、導電性配線として機能することを特徴とする＜９＞〜＜１２＞のいずれか１に記載のカーボンナノチューブデバイスである。
【００４７】
＜１４＞ 前記カーボンナノチューブ構造体の少なくとも一部が、平面電極として機能することを特徴とする＜９＞〜＜１３＞のいずれか１に記載のカーボンナノチューブデバイスである。
【００４８】
＜１５＞ 前記カーボンナノチューブ構造体の少なくとも一部が、デバイス回路として機能することを特徴とする＜９＞〜＜１４＞のいずれか１に記載のカーボンナノチューブデバイスである。
【００６２】
以上の本発明は、カーボンナノチューブを分散させた高粘度分散液と接触した部分のほぼ全面にわたってカーボンナノチューブを配置させることができることを初めて確認し、さらにそれをデバイス部位として機能させ得ることを初めて提案するものである。
【００６３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳細に説明する。
＜本発明の作用機構＞
まず、本発明の作用機構について説明する。
一般に、微小物体が分散媒に分散した分散液においては、分散状態を維持しつつ微小物体の濃度を上げて行くと、その濃度に比例して分散液の粘度が上昇する。微小物体としてカーボンナノチューブを用いた場合も基本的に同様であり、図１の区間Ａの領域における実線のグラフ▲１▼に示されるように、カーボンナノチューブ濃度の上昇に伴い、比例的に分散液の粘度が上昇する。なお、図１は、カーボンナノチューブの分散液におけるカーボンナノチューブ濃度と分散液の粘度との関係を表すグラフである。
【００６４】
しかし、本発明者らは、カーボンナノチューブの分散液においては、カーボンナノチューブ濃度をさらに上昇させると、ある臨界点を境に粘度上昇の度合いが大きくなることを見出した。すなわち、図１のグラフ▲１▼における臨界点Ｘを境に、カーボンナノチューブ濃度−分散液粘度直線の勾配が、その前後で変化し、区間Ａの領域に比べ区間Ｂの領域では急峻となる。
【００６５】
この現象は、以下のように説明される。
カーボンナノチューブ濃度の低い区間Ａの領域では、一般の微小物体の分散液と同様、カーボンナノチューブは相互に束縛されること無く自由に振舞う。そのため、カーボンナノチューブ同士が凝集する作用は起こるものの、基本的にカーボンナノチューブの存在比率に応じて分散液の粘度が比例的に上昇する。
【００６６】
しかし、カーボンナノチューブは細長いチューブ状の微小物体であり、カーボンナノチューブ濃度をさらに上昇させて行くと、カーボンナノチューブの存在確率が上昇し、カーボンナノチューブ相互間の間隙が小さくなり、カーボンナノチューブないしその凝集体相互間を橋渡し（架橋）するカーボンナノチューブの存在が出てくる。
【００６７】
この架橋状態が始まると、分散液の粘度はカーボンナノチューブの存在比率のみに支配されるものではなくなり、架橋の度合いに応じて急激に粘度が上昇する。すなわち、この架橋状態が始まる濃度が、図１のグラフ▲１▼における臨界点Ｘであり、架橋状態が進行している分散液の状態が区間Ｂの領域である。
【００６８】
このようにカーボンナノチューブの濃度を上昇させて行くと、当該分散液中でカーボンナノチューブないしその凝集体相互間にカーボンナノチューブの橋渡しが存在する、いわゆるネットワークが形成される。
区間Ａの領域では、既述のカーボンナノチューブ同士が凝集する作用により、分散液は不安定な状態であり、十分な攪拌を施さないとカーボンナノチューブは凝集し沈殿してしまう。ところが、区間Ｂの領域では、カーボンナノチューブないしその凝集体相互間にカーボンナノチューブの架橋が存在し、かかる架橋に寄与するカーボンナノチューブが分散剤の役割を果たすため、分散液が安定化し、攪拌が少なくても、さらには攪拌無しでもカーボンナノチューブが沈殿することなく、カーボンナノチューブのネットワーク形状が保持される。
【００６９】
このネットワーク形状は、極めて強固であり、分散媒を除去しても、密度の向上は生じるものの相互の繋がりの状態は保持される。逆に、分散媒を添加して分散液中のカーボンナノチューブ濃度を低下させても、密度の低下は生じるものの相互の繋がりの状態は保持される。図１の一点鎖線のグラフ▲２▼は、カーボンナノチューブ濃度をＹまで上昇させた後、分散媒を添加して再度カーボンナノチューブ濃度をＺまで落とした時の、カーボンナノチューブ濃度−分散液粘度直線であり、区間Ｂの領域を経ない同濃度Ｚの分散液に対して、記号Ｄで示される分だけ高い粘度を示す。このように、一旦区間Ｂの領域に達し、カーボンナノチューブのネットワーク形状が形成された分散液は、その後カーボンナノチューブ濃度を低下させても前記ネットワーク形状は保持され、密度低下による粘度の低下は見られるものの、架橋状態に由来する高い粘度を示す。
【００７０】
なお、図１のグラフ▲１▼は、分散されたカーボンナノチューブの太さ・長さが均一であるモデル的なカーボンナノチューブ分散液を想定した場合のものであり、カーボンナノチューブの太さ・長さにばらつきがある場合には、図１の点線のグラフ▲３▼のような軌跡を描き、明確な臨界点を見出すことは困難である。ただし、同様の傾向が見られ、カーボンナノチューブ濃度−分散液粘度曲線の傾きが、区間Ａの領域に比べ区間Ｂの領域では急峻となる。すなわち、区間Ｂの領域における分散液中には、カーボンナノチューブないしその凝集体相互間にカーボンナノチューブの橋渡しが存在する、いわゆるネットワークが形成されている。
【００７１】
本発明は、以上のようにして得られた、ネットワークが形成されている分散液を用い、カーボンナノチューブのネットワークが形成されたカーボンナノチューブ構造体により構成された配線を製造することを特徴とするものである。
すなわち、本発明は、低粘度の分散媒にカーボンナノチューブを分散させた高粘度分散液を、カーボンナノチューブ構造体により構成された配線に応じたパターニングに従って設けられた複数の凸部により形成された経路構造を有する平面基板上に供給し、前記複数の凸部を前記カーボンナノチューブにより電気的または磁気的に接合するとともに、カーボンナノチューブ相互間に電気的または磁気的な接続状態を含むネットワークを形成させることにより、前記経路構造に沿って前記カーボンナノチューブ構造体の前記配線を形成することを特徴とするカーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法、並びに、前記ネットワークからなることを特徴とするカーボンナノチューブ構造体の配線およびそれを用いたカーボンナノチューブデバイスである。
【００７２】
ここで「高粘度分散液」とは、図１のグラフ▲１▼および▲３▼の区間Ｂの領域における分散液、または、当該分散液に対して分散媒を添加したり、分散媒をある程度除去したりして、カーボンナノチューブ濃度を事後的に調整した状態の分散液のことを指し、カーボンナノチューブ分散液そのものが所定の粘度以上であることを指すものではない。換言すれば、本発明に言う「高粘度分散液」とは、分散液中にカーボンナノチューブないしその凝集体相互間にカーボンナノチューブの橋渡しが存在し、カーボンナノチューブのネットワークが形成されている分散液を言う。例えば、図１における、グラフ▲１▼のカーボンナノチューブ濃度Ｙの分散液に対して分散媒を添加し、カーボンナノチューブ粘度が若干低下した、グラフ▲２▼における区間Ａの領域の分散液であっても、区間Ｂの領域を経ない同濃度の分散液であるグラフ▲１▼の分散液に対して、相対的に「高粘度」と言い得るものであり、本発明に言う「高粘度分散液」の範疇に含まれる。
【００７３】
また、本発明で用いる分散媒を、「低粘度分散媒」と称する場合がある。分散媒が「低粘度」とは、高粘度分散液における「高粘度」に対応する言葉であり、「分散媒の粘度自体が高粘度であるがゆえに、その分散液が高粘度となる場合」を排除することを意味する。したがって、分散媒についても、そのものが所定の粘度以下であることを指すものではない。
【００７４】
なお、本発明において形成されるカーボンナノチューブのネットワーク形状は、必ずしもカーボンナノチューブ相互間が物理的に接触していなくてもよく、カーボンナノチューブ構造体の有用性を考慮すると、少なくともカーボンナノチューブ相互間に電気的または磁気的な接続状態が含まれればよい。
【００７５】
ここで、「ネットワーク」とは、複数のカーボンナノチューブ相互間に電気的または磁気的に接続された接合部を含み、当該接合部で繋がれたカーボンナノチューブの環状体が存在し、かつ、該環状体を包摂する（該環状体と重なり合う）状態の、前記接合部で繋がれたカーボンナノチューブの環状体が、２以上見出される形状を言う。
【００７６】
図２を用いて説明する。図２には、カーボンナノチューブの集合体の一例が示されている。複数のカーボンナノチューブＮ１〜Ｎ９の相互間で交差している部分が接合部であるが、既述の如く当該接合部は物理的に接触していなくても、電気的または磁気的に接続されていればよい。
【００７７】
図２に示されるカーボンナノチューブの集合体には、まずＮ１〜Ｎ３の３つのカーボンナノチューブにより形成される環状体Ｃ１が存在する。また、Ｎ１、Ｎ４、Ｎ５およびＮ３の４つのカーボンナノチューブにより形成される環状体Ｃ２が存在する。さらに、Ｎ１、Ｎ２、Ｎ９、Ｎ８、Ｎ７、Ｎ６およびＮ３の７つのカーボンナノチューブにより形成される環状体Ｃ３が存在する。
【００７８】
３つの環状体の関係について検討すると、環状体Ｃ２は環状体Ｃ１を包摂する状態となっている。また、環状体Ｃ３も環状体Ｃ１を包摂する状態となっている。すなわち、環状体Ｃ１を包摂する（環状体Ｃ１と重なり合う）状態で存在する、環状体Ｃ２および環状体Ｃ３の２つの環状体が見出される。つまり、図２に示されるカーボンナノチューブの集合体は、本発明に言う「ネットワーク」の概念に含まれるものである。
【００７９】
なお、図２中には他にも環状体が存在するが、ネットワークの定義を確認するためには、少なくとも任意の３つの環状体が既述の関係を有していればよく、図２に示される状態においては、３つの環状体Ｃ１〜Ｃ３のみを検討すればよい。
得られた本発明のカーボンナノチューブ構造体は、カーボンナノチューブが相互に接触しているため、ＳＥＭ観察においても金属蒸着を施すことなく、カーボンナノチューブの構造を詳細に調べることができる。
【００８０】
本発明のカーボンナノチューブ構造体は、微小粒子等を細密充填させたものと異なり、カーボンナノチューブ相互が交差あるいは束を形成する作用を有するため、前記高粘度分散液中のカーボンナノチューブ濃度が低く、得られるカーボンナノチューブ構造体におけるカーボンナノチューブの密度が低い場合においても、カーボンナノチューブのネットワークによる高い電気伝導性または磁気特性を付与させることができる。
【００８１】
また、本発明による付帯効果として、高い光透過性を挙げることができる。微小粒子等で基板表面に電気伝導性を付与しようとする場合には、細密充填させて基板表面全体を被覆しなければならないが、カーボンナノチューブを用いれば、基板表面全体を被覆する必要がないために、カーボンナノチューブの存在していない基板表面の隙間が多く、光を容易に透過させることができる。
【００８２】
Ｐｈｙｓ．Ｒｅｖ．Ｂ ６２ Ｒ２３０７（２０００）で報告されているように、カーボンナノチューブ相互間の電気伝導は、カーボンナノチューブ内部における電気伝導よりも低く、その特性を利用すれば、これまでにない微小な電気配線および電気回路がカーボンナノチューブを用いて作製できる可能性が示唆されている。したがって、本発明のカーボンナノチューブ構造体の配線によれば、微細なハンドリングを必要とせずに、大規模な電子回路が作製できるようになり、非常に高い工業的価値を見出すことができる。
【００８３】
カーボンナノチューブは細く長い形状であるため、前記高粘度分散液から前記分散媒を除去した後に形成されるカーボンナノチューブ構造体は、特別な化学処理を施さなくても、物体表面との間に働くファン・デル・ワールス力（物質間力）やカーボンナノチューブ相互間のからみあいによって、物体表面に付着するようになる。そのため、例えば、さらにカーボンナノチューブ構造体の層を繰り返し形成することもでき、多層膜で構成されたカーボンナノチューブデバイスを作製することもできる。また、形成されたカーボンナノチューブ構造体がネットワーク化されるため、カーボンナノチューブ相互間の物質間力や絡み合いによりネットワークは解けにくく、特に後述の捕獲部位においては、捕獲部位とカーボンナノチューブとの物質間力によりネットワークは物体面に貼り付いた状態で、巨大な分子のように振る舞い、カーボンナノチューブネットワークは、再溶解しにくくなる。
【００８４】
さらに、カーボンナノチューブ構造体を含む層（以下、「カーボンナノチューブ構造体層」という。）を複数設け、かつ各カーボンナノチューブ構造体層間にも異なる特性の物質を挿入することもできる。例えば、各カーボンナノチューブ構造体層間に絶縁体層を配置して層間を絶縁したり、半導電性や導電性の物質を挿入して電子や電流のやり取りなどの層間での相互作用を行ったり、層内部に構造を設けることにより、層間で相互作用できる特定の部分（信号チャンネル）を形成したり、等、各種積層構造を構成することで、新規な多機能デバイスを作製することができる。
【００８５】
＜カーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法＞
本発明のカーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法は、低粘度の分散媒にカーボンナノチューブを分散させた高粘度分散液を、カーボンナノチューブ構造体により構成された配線に応じたパターニングに従って設けられた複数の凸部により形成された経路構造を有する平面基板上に供給し、前記複数の凸部を前記カーボンナノチューブにより電気的または磁気的に接合するとともに、カーボンナノチューブ相互間に電気的または磁気的な接続状態を含むネットワークを形成させることにより、前記経路構造に沿って前記カーボンナノチューブ構造体の前記配線を形成することを特徴とすることを特徴とする。
【００８６】
本発明において用いることができる分散媒としては、既述の如く所定の粘度以下であることは要求されず、また、カーボンナノチューブは有機溶剤不溶性であるため、特に制限は無く、後述の他の物体を分散させる場合には、当該他の物体を溶解してしまうことの無い液体を選択すればよい。ただし、カーボンナノチューブを良好に分散させるためには、やはり低粘度であることが好ましい。前記分散媒に望まれる粘度としては、０．１Ｐａ・Ｓ以下であることが好ましく、０．００００１〜０．０１Ｐａ・Ｓの範囲であることがより好ましい。
【００８７】
具体的な分散媒の例としては、水、界面活性剤を含む水溶液、イオンを含む水溶液、高分子を含む水溶液、炭素数が１〜３０までの炭化水素類、アルコール類、エーテル類、ケトン類、ベンゼン、ジクロロベンゼンあるいはトルエンなどの芳香族類、またはそれらの混合溶液を挙げることができる。
【００８８】
また、これら分散媒中には、分子会合しやすい分子を含ませることも可能である。かかる分子会合の効果によれば分散媒の粘度を調節することができ、そのため所望の粘度となるように分子会合しやすい分子を適度に含ませて使用することができる。
これら分散媒では、その粘度の温度依存性を利用してもよく、所望の粘度となるように分散媒の温度を調節して使用することができる。
【００８９】
本発明において使用するカーボンナノチューブとしては、ＳＷＮＴでもＭＷＮＴでもよい。一般に、ＳＷＮＴのほうがフレキシブルであり、ＭＷＮＴになるとＳＷＮＴよりはフレキシブルさが失われ、多層になればなるほど剛直になる傾向にある。ＳＷＮＴとＭＷＮＴとは、その性質を考慮して、目的に応じて使い分けることが望ましい。
【００９０】
適用可能なカーボンナノチューブの長さとしては、特に限定されるものではないが、一般的に１０ｎｍ〜１０００μｍの範囲のものが用いられ、１００ｎｍ〜１００μｍの範囲のものが好ましく用いられる。カーボンナノチューブの直径（太さ）としては、特に限定されるものではないが、一般的に１ｎｍ〜１μｍの範囲のものが用いられ、カーボンナノチューブに適度なフレキシブルさが望まれる用途に対しては、３ｎｍ〜５００ｎｍの範囲のものが好ましく用いられる。
【００９１】
カーボンナノチューブは、製造したままの状態では、アモルファスカーボンや触媒等の不純物が混在するため、これらを精製して取り除いておくことが好ましい。ただし、本発明は、不純物の存在によって、その効果が制限されるものではない。
【００９２】
高粘度分散液は、前記分散媒にカーボンナノチューブを分散させることで調整されるが、カーボンナノチューブ相互の凝集力が強いことから、カーボンナノチューブの分散初期の段階（図１のグラフ▲１▼または▲３▼における区間Ａの領域）においては、凝集沈殿が生じないよう強い攪拌が望まれる。具体的には、超音波分散機、攪拌子分散機、攪拌羽分散機、震動ミキサー、シェーカー等により分散することが好ましく、特に超音波分散機により分散することが好ましい。具体的な超音波分散機の出力としては、前記分散媒１ミリリットル当たり０．１Ｗ以上とすることが好ましく、０．５〜１０Ｗの範囲とすることがより好ましい。
【００９３】
前記高粘度分散液の調製に際し、カーボンナノチューブの分散性向上を企図して、前記分散媒に、必要に応じて界面活性剤などの分散剤を添加することもできる。
以上のように分散媒を強く攪拌しながらカーボンナノチューブを徐々に添加して行く。すると、図１のグラフ▲１▼または▲３▼に示されるように、あるカーボンナノチューブ濃度（図１における臨界点Ｘ）において、粘度の上昇の度合いが急峻になる。そのままカーボンナノチューブを添加し続けると、分散液は、高分子溶液や増粘剤を含む溶液のように高い粘性を示すようになる。この状態の分散液が、本発明に言う高濃度分散液である。
【００９４】
高濃度分散液の粘度としては、カーボンナノチューブの種類・長さ・太さ、分散媒自体の粘度等により大きく変動するため、好ましい値は適宜選択される。また、臨界点Ｘもこれらの条件により大きく変動する。例えば、分散媒として水を用い、平均として長さ５μｍ、太さ４ｎｍのＳＷＮＴを分散させた場合には、臨界点Ｘはカーボンナノチューブ濃度１〜１０ｇ／リットルの範囲内程度であり、高濃度分散液の粘度としては、０．００１Ｐａ・Ｓ以上であることが好ましく、０．００２〜０．０２Ｐａ・Ｓの範囲であることがより好ましい。しかし、より長いカーボンナノチューブを用いた場合には、より低い粘度でカーボンナノチューブのネットワークが形成されるため、好ましい粘度範囲はかなり低い値となる。特に、カーボンナノチューブの使用量低下を考慮すると、良好なネットワークが形成されつつ低い粘度とすることが望ましい。また、カーボンナノチューブ構造体に透明度（後述）が要求される場合にも、低い粘度とすることが望まれる。カーボンナノチューブの使用量低下や透明度の要求に対しては、高粘度分散媒の粘度を低く抑える他、一旦カーボンナノチューブのネットワークを形成させた上で分散媒を添加し、濃度を下げることも有効である。
【００９５】
言い換えると、前記高粘度分散液におけるカーボンナノチューブの濃度を調整することによって、製造されるカーボンナノチューブ構造体におけるカーボンナノチューブの数量を制御することができる。つまり、製造されるカーボンナノチューブ構造体において多数のカーボンナノチューブからなる密度の高いネットワークを形成したい場合には、前記高粘度分散液におけるカーボンナノチューブの濃度を上げてやればよい。逆に、製造されるカーボンナノチューブ構造体において少数のカーボンナノチューブからなる密度の低いネットワークを形成したい場合には、前記高粘度分散液におけるカーボンナノチューブの濃度を下げてやればよい。カーボンナノチューブの濃度を下げるには、一度高濃度のものを調製してから、分散媒を加えて濃度を下げることが好ましい。
【００９６】
前記高粘度分散液には、さらに他の物体を分散させておくこともできる。該他の物体を分散させておくことで、最終的に得られるカーボンナノチューブ構造体中に前記他の物体を混在させることができ、当該他の物体の機能に応じた機能をカーボンナノチューブ構造体に付与することができる。
【００９７】
前記他の物体として、電気的にも磁気的にも影響を及ぼさないものを用いた場合には、スペーサーとして機能させることができる。すなわち、高濃度分散液中に形成されたカーボンナノチューブのネットワークの間隙に前記他の物体を配置することで、分散媒を除去してカーボンナノチューブ構造体を得た際に、カーボンナノチューブ同士の間に形成される空隙は収縮するが、当該空隙に前記他の物体が配置されていれば、スペーサーとして機能し、カーボンナノチューブ同士の間に形成される空隙の距離を保つことができる。
【００９８】
前記スペーサー的機能を有する他の物体としては、特に制限は無く、例えば、粒子、繊維、結晶、凝集体等が挙げられる。
前記スペーサー的機能を有する他の物体として利用可能な粒子としては、ポリマーなどの有機物、セラミックスや金属などの無機物、あるいはその双方を含む複合物質等が挙げられる。また、粉砕で砕かれることで製造されるものでも、物理的あるいは化学的に制御することで大きさを制御して製造されるものでも、どちらもその目的に応じて使用することができる。
前記スペーサー的機能を有する他の物体として利用可能な繊維としては、ポリエステルやナイロンなどの人工繊維、綿など自然繊維、くもの糸などの生体の繊維等が挙げられる。
【００９９】
前記スペーサー的機能を有する他の物体として利用可能な結晶としては、微細な分子や原子や粒子が充填した内部構造のものや、規則正しく配列した構造のもの等が挙げられる。具体的には、金属結晶、非金属結晶、イオン結晶、分子性結晶、粒子結晶等が挙げられ、自然界に安定に存在し得るものであれば用いることができる。
【０１００】
前記スペーサー的機能を有する他の物体として利用可能な凝集体としては、原子が凝集したアモルファス、分子が凝集した分子凝集体、粒子が凝集した粒子凝集体、とそれらの複数種類が凝集した複合凝集体等が挙げられるが、これらは微細な分子や原子や粒子が集合した状態であり、内部の配列規則は特定できない。
【０１０１】
前記スペーサー的機能を有する他の物体の形状としては、得ようとするカーボンナノチューブ構造体の構造制御を目的として、各種形状のものが選択される。各種形状のものを容易に作製可能な、ポリマー製の微小体が好ましい。特に、市場から容易に入手可能であり、その大きさや形状を制御しやすい、ラテックス製の微小体を用いることが好ましい。ラテックス製の微小体は、化学的に合成して製造されるものであるため、化学的に表面修飾させやすく、カーボンナノチューブ構造体としたときに所望の特性に制御しやすいといったメリットもある。
【０１０２】
ポリマー製の微小体におけるポリマーとしては、各種熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂等を挙げることができる。
前記スペーサー的機能を有する他の物体としては、上記の如く、各種形状を取ることが可能であり、また、カーボンナノチューブ構造体の構造制御のため各種形状を選択することができるが、カーボンナノチューブが固着し難い形状とするためは、球形であることが好ましい。
【０１０３】
前記スペーサー的機能を有する他の物体の球相当平均径としては、特に制限は無く、目的に応じて適宜選択すればよいが、概ね１０ｎｍ以上１０００μｍ以下であることが好ましく、２０ｎｍ以上１００μｍ以下であることがより好ましく、５０ｎｍ以上１０μｍ以下であることがさらに好ましい。
【０１０４】
一方、前記他の物体として、電気伝導性または磁気特性に関与する等、機能性を有するもの（例えば機能分子）を用いた場合には、当該機能に応じた機能をカーボンナノチューブ構造体に付与することができる。
前記機能性を有する他の物体を前記カーボンナノチューブ相互の間隙または近傍に配置させて構造化することで、得られるカーボンナノチューブ構造体に種々の機能を付与することができる。
【０１０５】
前記機能性を有する他の物体としては、例えば、原子、分子、イオン、粒子、ポリマー、生物体から抽出された分子や組織などが挙げられ、その性質としては、絶縁性、導電性、半導電性（半導体特性および電気抵抗特性のいずれをも含む概念とする。）、吸光性、発光性、発色性、伸縮性、発電性、光電性などの特性を有するものが挙げられる。これら特性が、温度や湿度や雰囲気ガスによって変化するものであってもよい。
【０１０６】
また、機能性分子や機能微粒子など、設計された機能を有するものでもよい。近年、分子や微粒子の多くには半導体特性が多く見出されており、スイッチング機能やメモリー機能などを、カーボンナノチューブの接触部分あるいは凝集部分に付与することができる。
【０１０７】
機能性分子としては、分子内部に電荷の偏りのある分子が好ましく、電荷供与性のある分子種と、電荷受容性のある分子種とを組み合わせた分子、対称的な分子に電荷供与性あるいは電荷受容性のある分子種を組み合わせた分子、それらの繰り返しからなる巨大分子、あるいはそれら分子の集合により機能させられる分子集合体等が挙げられる。なお、上記電荷供与性および電荷受容性は、電子親和力やイオン化ポテンシャルの値で定義することができる。
また、ＤＮＡ、コラーゲンなどの生体分子、あるいは生体に模倣した人工分子を使用してもよく、生体に類似した機能を付加することが可能となる。
【０１０８】
機能微粒子としては、金などの金属微粒子、ＺｎＯ2、ＴｉＯ2などの金属酸化物微粒子、合金からなる金属間化合物微粒子、フラーレン等の炭素原子の組織体、フラーレンの誘導体、ポリマー粒子、溶液中のミセル構造体、コロイド粒子、脂質からなるベシクル、セラミックス、デンドリマー等が挙げられ、用途に応じてそれらの複合体あるいはそれらに処理を施したものを使用できる。
【０１０９】
例えば、機能微粒子として金のナノ粒子を用いた場合、カーボンナノチューブによる導電性ネットワークの特性改善を図ることができる。
機能性分子や機能微粒子としての粒子は、カーボンナノチューブと分散媒とで高粘度分散液を調製した後に、添加することが好ましい。
機能性分子や機能微粒子は、非常に小さいためハンドリングが困難であり、その正確な配置に関しては、化学官能基による修飾などにより、相互認識的に適切な配置を取り得るように設計することが好ましい。
【０１１０】
前記機能性を有する他の物体としては、その少なくとも一部を、カーボンナノチューブ相互の間隙に配置させることができる。カーボンナノチューブ相互の間隙に配置させることで、既述の如き機能性の付与が適切に為される。このとき、前記機能性を有する他の物体の少なくとも一部が、カーボンナノチューブ相互を橋渡しする架橋機能を有することも望ましい態様である。すなわち、前記機能性を有する他の物体によりカーボンナノチューブ相互を橋渡しすることで、カーボンナノチューブの構造体を、全体として１つの分子構造に似た状態とすることができ、既述の機能性が全体として高い次元で付与されるほか、前記機能性を有する他の物体の有する架橋機能により、構造化して配置されたカーボンナノチューブ相互を緊結し、構造体としてカーボンナノチューブ構造体を強固に固定化することができる。
【０１１１】
架橋機能に関しては、カーボンナノチューブと接合して離れにくくなる特性の部位を２つ以上有する原子、分子、イオン、粒子、繊維であればよい。カーボンナノチューブ自体にも処理を施しておくとより好ましい。例えば、カーボンナノチューブを強酸溶液で処理すると、カルボニル基（ＣＯＯＨ）を有するカーボンナノチューブとなるが、この場合には、水酸基（ＯＨ）やアミノ基（ＮＨ2）やメルカプト基（ＳＨ）などのカルボニル基と反応しやすい官能基を含む分子により、容易に架橋させることができる。
【０１１２】
また、このカルボニル基など水溶性の官能基を含むカーボンナノチューブは、水溶液中でイオン化状態にでき、多価のイオンにより架橋構造を導入することができる。例えば、カルボン酸をイオン化させた状態（ＣＯＯ-）に対してはカルシウムイオン（Ｃａ2+）、マグネシウムイオン（Ｍｇ2+）、アルミニウムイオン（Ａｌ3+）などの多価のイオンを利用することができる。
【０１１３】
高粘度分散液は、以上のようにして得られるが、カーボンナノチューブには、触媒金属やアモルファスカーボン等のカーボンナノチューブ以外の炭素構造体などが含まれる場合も多いため、強酸処理によって触媒金属を溶出させたり、電気泳動やクロマトグラフィーなどによってアモルファスカーボンなどのナノチューブ以外の炭素構造体を除いておくことが好ましい。
【０１１４】
以上のようにして得られた高粘度分散液から、前記分散媒を除去することで、カーボンナノチューブ相互間に電気的または磁気的な接続状態を含むネットワークを形成させ、カーボンナノチューブ構造体を製造する。
前記分散媒の除去方法としては、分散媒を遠心力等により物理的に除去したり、加熱あるいは放置することで分散媒を蒸発させたりすることにより行われる。
【０１１５】
前記分散媒は、所定の捕獲部位に接触させた状態で、除去される。ここで、「捕獲部位」とは、複数の凸部により形成された経路構造を有する平面基板上の部位を言う。また、「所定の捕獲部位」と言う場合には、カーボンナノチューブ構造体を固着させたい物体の部位を指す。
【０１１７】
前記分散媒を所定の捕獲部位に接触させる方法としては、特に限定されず、一般的な塗布方法をいずれも適用することができる。適用可能な塗布方法としては、例えば、スピンコート、ディップコート、カーテンコート、ロールコート、刷毛塗り、スプレーコート等が挙げられる。中でも均質な薄膜状のカーボンナノチューブ構造体を得ることが容易なスピンコートが特に好ましい。
【０１１８】
また、前記高粘度分散液を所定の捕獲部位に流しかける（本発明において、前記高粘度分散液を文字通り流しかける場合の他、ディップコート等の通常の手段で塗布した後、前記高粘度分散液が捕獲部位から流れるようにする場合も「流しかけ」の概念に含めることとする。なお、不要な前記高粘度分散液が捕獲部位から流れるようにしておけばよく、必ずしも重力に対して捕獲部位に傾きを持たせておく必要は無い。）ことで、前記高粘度分散液を所定の捕獲部位に接触させつつ捕獲部位を通過させることもできる。この場合、カーボンナノチューブのネットワークが前記高粘度分散媒中に形成されているため、流しかける速度をあまり大きくしない限り（例えば、平板基板の傾斜角度をあまり大きくさせ過ぎない限り）、流しかけた方向にしたがってカーボンナノチューブ構造体を所定の捕獲部位に固着させて形成することができる。
【０１１９】
前記捕獲部位は高粘度分散液と接触する経路構造を含むため、前記高粘度分散液を前記経路構造に通過させることで前記捕獲部位に接触させ、前記経路構造に沿ってカーボンナノチューブを配置することができる。この場合、前記経路構造を所望の形状としておけば、所望の形状にカーボンナノチューブのネットワークが形成されたカーボンナノチューブ構造体の配線を形成することができる。
【０１２０】
前記経路構造としては、一般的には、例えば、以下（１）および（２）の２つの態様を挙げることができる。なお、下記（１）および（２）の態様のうち、平面基板上に凸部を設ける（１）の態様が本発明の実施形態である。また、平面基板上に凹部を設ける（１）の態様、及び、（２）の態様については、参考例として以下に記載する。
（１）平面基板上に凹部または凸部を設けることで、前記経路構造を形成する。
平面基板上に、凹部または凸部の物理的な形状を設けた上で、前記高粘度分散液を流しかけると、前記平面基板上の凹部自体、あるいは、凸部相互間に形成された凹部に前記高粘度分散液が流れ込み、通過する。すなわち、凹部または凸部を適当にパターニングすることで経路構造を形成しておけば、前記高粘度分散液は、当該経路構造を通過して行き、当該経路構造に沿ってカーボンナノチューブが配置される。
【０１２１】
平面基板上に凹部または凸部を設けた場合について、図を用いて説明する。
図３は、平面基板２上に凹部４がパターニングされて経路構造が設けられている状態を表す斜視図である。この平面基板２上に、矢印６方向に高粘度溶液を流しかけると、経路構造となった凹部４に前記高粘度分散液が流れ込み、矢印８方向に流れ、通過する。この通過により、経路構造となった凹部４に沿ってカーボンナノチューブが配置され、カーボンナノチューブのネットワークが形成されたカーボンナノチューブ構造体が形成される。
【０１２２】
また図４（ａ）は、平面基板１２上に凸部１０がパターニングされて経路構造が設けられている状態を表す斜視図である。この平面基板１２上に、任意の方向から高粘度溶液を流しかけると、該高粘度溶液は凸部１０に衝突しながら通過する。このとき、図５に示すように、高粘度溶液中の各カーボンナノチューブ１４が矢印１６方向に進行した場合、凸部１０に衝突した際にこれに引っかかり、カーボンナノチューブのネットワーク全体がここに滞留する。したがって、凸部１０に引っかかるようにして、カーボンナノチューブ構造体が形成される。この場合には、高粘度溶液を流しかける速度を大きくしも（例えば、平板基板の傾斜角度を大きくしても）、カーボンナノチューブが凸部１０に引っかかるようにして、経路構造に沿ってカーボンナノチューブ構造体を形成することができる。
【０１２３】
この態様においては、凸部１０のパターニングを図４（ｂ）あるいは図４（ｃ）に示すように適宜選択することができ、そのパターニングに応じたカーボンナノチューブ構造体を形成することもできる。図４（ｂ）のパターニングは、凸部１０を直列的に配置し、その列の間をある程度空けた例である。この場合、高粘度溶液を流しかける方向によっても、得られるカーボンナノチューブ構造体の形状をコントロールすることができる。
【０１２４】
図４（ｃ）のパターニングは、凸部１０の密度を場所により変えた例である。この場合、凸部１０の密度の高い部位に、よりカーボンナノチューブ密度の高いカーボンナノチューブ構造体を形成することができる。
凸部１０としては、基板を作製する際に同時に、表面に凸部を形成してもよいし、凸部となり得る物体、例えば粒子を平面基板に付着させることで形成することもできる。
【０１２５】
平面基板上に設ける凹部（凸部相互間に形成された凹部を含む）相互間の間隔としては、カーボンナノチューブあるいはその束状のものの長さよりも短いと、効率的に凹凸構造に捕らえられるようになる。このとき非常に希釈された高粘度分散液を用いた場合にも、繰り返し衝突によりカーボンナノチューブを堆積させることができ、高い濃度の高粘度分散液を用いたときと同様、高い電気伝導性を付与することができる。
【０１２６】
凹部または凸部の形状としては、カーボンナノチューブを捕らえることのできる構造を意図的に形成したものとすることもできる。例えば、図６（ａ）のようにコの字型の凸部２０を設けておけば、矢印１８方向からカーボンナノチューブ２４のネットワークを含む高粘度溶液を流しかけた場合、凸部２０のコの字型の内側の部分にカーボンナノチューブ２４が捕らえられたカーボンナノチューブ構造体を形成することができる。また、図６（ｂ）のようにニの字型の凸部３０を設けておけば、矢印２８方向からカーボンナノチューブ３４のネットワークを含む高粘度溶液を流しかけた場合、凸部３０のニの字型の間隙における流速が遅くなり、ここにカーボンナノチューブ３４が捕らえられたカーボンナノチューブ構造体を形成することができる。この効果を応用すれば、カーボンナノチューブを配線とした電子回路を作製することも可能である。
【０１２７】
さらに、平面基板表面に凹部または凸部の構造があると、平面基板表面の凹部自体、あるいは、凸部相互間に形成される凹部にカーボンナノチューブが存在する状態となり、カーボンナノチューブは隣接する凸部にカバーされた状態となり、何らかの要因により擦られたり、引っかかれたりしても、カーボンナノチューブ構造体が破壊されなくなり、工業的な利用価値が高い。
【０１２８】
このように、平面基板表面の凹部自体、あるいは、凸部相互間に形成される凹部は、高粘度分散媒が通過する経路構造として利用することができ、高粘度分散媒が通過した部分にのみ導電経路を作製することができる。
なお、平面基板表面に凹部または凸部を形成した場合、凹部相互間に形成される凸部、あるいは、凸部自体のみに高粘度分散液を接触させるように、高粘度分散液に漬ける、いわゆるスタンピングを行えば、これら凸部を捕獲部位とすることができ、当該凸部にカーボンナノチューブ構造体を固着することもできる。
【０１２９】
（２）平面基板上に前記分散媒に対する親液性の異なる表面状態に平面基板上をパターニングすることで、前記経路構造を形成する。
平面基板上に、前記分散媒に対する親液性の異なる表面状態に平面基板上をパターニングした上で、前記高粘度分散液を流しかけると、親液性の高い部位に前記高粘度分散液中のカーボンナノチューブが残りやすく、親液性の低い部位には残りにくくなる。ここで「前記分散媒に対する親液性」とは、前記分散媒との馴染みやすさのことを指し、前記分散媒が水である場合には、親水性のことを意味する。すなわち分散媒として水系媒体を用いた場合には、親水性の部位と疎水性の部位とを所望の形状にパターニングすることで、所望の形状のカーボンナノチューブ構造体を形成することができる。
【０１３０】
親液性の調整は、親液性の高い平面基板を用い、これに前記分散媒との馴染みが悪くなるような処理をパターニングしたり、逆に、前記分散媒との馴染みが悪い平面基板を用い、これに親液性を向上させる処理をパターニングすること等により行うことができる。勿論、両処理とも行ってもよい。これら処理の手法としては、特に限定されず、従来公知の方法を全て採用することができる。例えば、前記分散媒として水系媒体を用いる場合には、従来公知の撥水化処理、親水化処理を問題無く採用することができる。
【０１３１】
本例においては、基本的に、親液性の高い部位にカーボンナノチューブ構造体が形成され、親液性の低い部位には形成されない。ただし、親液性の低い部位を挟んで隣接する親液性の高い部位相互の間隔が、カーボンナノチューブの一本あるいはカーボンナノチューブの束の長さよりも短い場合には、親液性の高い部位の作用により、中間の親液性の低い部位にもカーボンナノチューブ構造体を形成することができるようになる。
【０１３２】
前記捕獲部位としては、平面基板上に粒子状または膜状の金属を配置したものを挙げることができる。平面基板上に、粒子状の金属を配置した上で、前記高粘度分散液を流しかけると、粒子状の金属に衝突したカーボンナノチューブが引っかかる。また、平面基板上に、膜状の金属を配置した上で、前記高粘度分散液を流しかけると、金属が親液性（特に親水性）が高いことから、金属以外が配置された以外の平面基板上の表面が親液性が低ければ、膜状の金属の部位にのみ前記高粘度分散液中のカーボンナノチューブが残りやすい。すなわち、前者は既述の（１）の態様の、後者は既述の（２）の態様のそれぞれ変形例と言うことができる。
【０１３３】
また、金属以外が配置された以外の平面基板上の表面も親液性を高めておけば、平面基板表面全面にカーボンナノチューブ構造体を形成することができ、パターニングされた金属の粒子相互間、パターニングされた金属の膜相互間、さらには、前記粒子と前記膜との間、の間隙を前記カーボンナノチューブ構造体のネットワークにより、電気的または磁気的に接続することもできる。
【０１３４】
このとき、例えば金属の凹凸構造のサイズを大きくすること、その分布密度を高く設定することによれば、カーボンナノチューブ構造体が同じ構造であっても、得られるカーボンナノチューブと金属との複合体は、高い電気または磁気伝導を示すようになる。また、逆に前記サイズを小さくしたり、その分布密度を低くすれば、それら複合体は低い電気伝導を示すようになる。
【０１３５】
図７（ａ）は、平面基板４２の全面（片面）に金属膜４４を形成したものであり、図７（ｂ）は、平面基板５２の表面（片面）に縞状に金属膜５４を形成したものである。
なお、使用可能な金属としては、特に限定されないが、例えば電気配線として有用な金、銀、銅、白金、ニッケル、アルミニウム、チタンなど高い電気伝導性を示す金属や、それら合金、またはドープされて高い電気伝導性を示すシリコンやゲルマニウム等の半導体などを挙げることができる。さらに、分子性結晶、電気伝導性高分子、あるいは電荷移動錯体等やそれらにドープしたものも高い電気伝導性を有するため利用できる。
【０１３７】
＜カーボンナノチューブ構造体の配線＞
以上説明したカーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法により製造されるカーボンナノチューブ構造体の配線について、その使用態様であるカーボンナノチューブデバイスを含めて説明する。
まず、以下の各実施形態において用いた、高粘度分散液Ｗの調製方法について説明する。
【０１３８】
分散媒として水１０ミリリットルにドデシル硫酸ナトリウム０．０１ｇを加えた水溶液を用い、該分散媒１０ミリリットルを超音波分散機（出力１１Ｗ）で攪拌しながらカーボンナノチューブを徐々に添加していった。用いたカーボンナノチューブは、ＳＷＮＴであり、平均太さ４ｎｍ、平均長さ５μｍのものを用いた。
【０１３９】
カーボンナノチューブを添加して行くとその量にしたがって分散液粘度も上昇するが、図１における臨界点Ｘに相当するカーボンナノチューブ濃度において、分散液の粘度が急激に上昇するようになった。これは、約２０℃の恒温水槽中でのウベローデ粘度計を用いた粘度測定（キャピラリーを流れる分散媒の速度）により確認された。
攪拌を継続して、さらにカーボンナノチューブを添加し、カーボンナノチューブ濃度を２ｇ／リットルとした。このようにして、粘度が約２ｍＰａ・ｓの高粘度分散液Ｗを調製した。
【０１４０】
（参考例１）
図８は、カーボンナノチューブ構造体の参考例を示す模式斜視図である。平面基板６２の表面のほぼ全面にカーボンナノチューブ６４からなるカーボンナノチューブ構造体６８が固着している。長さ数μｍ〜数十μｍのカーボンナノチューブ６４が相互に接触し合って、カーボンナノチューブ６４による導電性のネットワークが形成されている。したがって、平面基板６２の表面に導電性を与えている。図９に本参考例のカーボンナノチューブ構造体６８の電子顕微鏡写真（３００００倍）を示す。なお、写真の倍率は、写真の引き伸ばしの程度により、多少の誤差が生じている。
本実施形態のカーボンナノチューブ構造体６８は、高粘度分散媒Ｗを平面基板６２の表面にスピンコートにより塗布し、乾燥することで得られる。
【０１４１】
平面基板６２として、ガラス板、雲母板あるいは石英板等のように透明の材料を用いた場合、全体としての透明性が極めて高い。炭素蒸着や金属蒸着などにより、基板表面に導電性を付与する手法が知られているが、本実施形態のようにカーボンナノチューブ構造体６８により平面基板６２の表面を導電化した場合、カーボンナノチューブで完全に被覆する必要が無く、空隙を有しているため、所定の表面導電率で比較した場合に光の透過率が非常に高い。
【０１４２】
このように、本参考例のカーボンナノチューブ構造体６８は、導電性基板、電極等のカーボンナノチューブデバイスとして用いることができる他、透明電極、透明基板等のカーボンナノチューブデバイスとしての用途をも有する。
本参考例においては、カーボンナノチューブのバンドル量（束の太さ）やネットワーク密度（分岐密度）をコントロールすることにより、導電性を自由にコントロールすることができ、さらには局所的に導電率の変化を生じさせることができる。したがって、ＬＥＤ等のような単一デバイス的用途だけでなく、平面内で多様な処理が行われるディスプレーなどの高密度複数個からなるデバイスに利用することができる。
【０１４３】
また、本参考例においては、ネットワーク中のカーボンナノチューブ６４相互間の少なくとも一部に、カーボンナノチューブ以外の物体を介在させてもよい。カーボンナノチューブ以外の物体を分散させておくことで、当該カーボンナノチューブ以外の物体の機能に応じた機能をカーボンナノチューブ構造体に付与することができる。当該カーボンナノチューブ以外の物体の機能としては、例えば、スペーサー的機能や電気伝導性または磁気特性に関与する等の機能が挙げられる。これら機能を有する物体としては、前記＜カーボンナノチューブの製造方法＞の項で、「他の物体」の説明として挙げたものがそのまま使用できる。
【０１４４】
カーボンナノチューブ以外の物体を介在させるには、前記＜カーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法＞の項で説明したように、高粘度分散液Ｗ中に前記他の物体を加えておけばよい。また、カーボンナノチューブ構造体を得た後に何らかの方法（例えば、(1)真空蒸着など物質の蒸気にさらす方法、(2)染色のように目的物質を含む溶液の滴下、あるいはその溶液中への含侵する方法、(3)温度を繰り返し上昇下降させて、熱膨張係数の違いにより微細な亀裂を生じさせて、その部分に浸透させる方法、(4)電子、原子、イオン、分子、粒子を加速して打ち込む方法）によって、前記カーボンナノチューブ以外の物体を前記カーボンナノチューブ相互の間隙または近傍に配置させてもよい。
【０１４５】
本参考例のカーボンナノチューブ構造体６８について、金属コートを施したプローブによる電流検出ＳＰＭ（走査プローブ顕微鏡）により、カーボンナノチューブ構造体６８の電気伝導を直接観察したところ、その全体が電気伝導していることが確認できた。さらに、ＳＥＭで確認し得るナノチューブのネットワーク構造よりも、密な電気伝導状態を確認することができた。
【０１４６】
さらに、本参考例のカーボンナノチューブ構造体６８を用いたカーボンナノチューブデバイスの例を図１０に挙げる。図１０のカーボンナノチューブデバイスは、図８と同一のカーボンナノチューブ構造体６８の図面上両端に、入力端子６６Ａ〜６６Ｄおよび出力端子６６Ａ’〜６６Ｄ’を設けたものである。
【０１４７】
本参考例のカーボンナノチューブデバイスは、入力端子６６Ａ〜６６Ｄの内のいずれかからの入力が多分岐されて、出力端子６６Ａ’〜６６Ｄ’の４つから出力される多分岐デバイスとして用いることができる。
両側に配置した電極を複数にして、入力端子６６Ａ〜６６Ｄおよび出力端子６６Ａ’〜６６Ｄ’間における電気伝導の値について確かめてみたところ、初期には違いが見られなかったが、特定の入出力端子の組み合わせ（６６Ｂと６６Ｃ’）にのみ、電圧（５Ｖ）を繰り返し（１０回）印加したところ、その入出力端子の組み合わせの電流値を増加させることができた。他の入出力端子の組み合わせの電流値には変化が見られなかったため、前記特定の入出力端子の組み合わせの電気伝導に関与している主なカーボンナノチューブネットワークが存在することが確認された。
【０１４８】
次に、特定の入力端子の組み合わせ（６６Ｂと６６Ｃ’）にのみ、電圧（１０Ｖ）を繰り返し（１０回）印加したところ、その入力端子の組み合わせの電流値を減少させることができた。このとき、他の入力端子の組み合わせ（６６Ｃと６６Ａ’）では電流値の増加が確認できた。前記特定の入出力端子の組み合わせの電気伝導に関与している主なカーボンナノチューブネットワークと、その他の入力端子の組み合わせの電気伝導に関与している主なカーボンナノチューブネットワークに、相互作用のあることが確認された。
本参考例のカーボンナノチューブデバイスを応用すれば、多チャンネルの入出力デバイスの学習機能を実現することができる。
【０１４９】
なお、既述の機能性を有する他の物体を取り込ませたり、カーボンナノチューブ６４同士の接触部分を改質することで、入力信号を様々に変調することもできる。また、平面基板６２の一方もしくは双方の面から磁場を与えることで、入力信号を変調することもできる。
【０１５０】
（参考例２）
図１１（ａ）は、カーボンナノチューブ構造体の参考例を示す模式平面図である。所定の平面基板７２の表面にカーボンナノチューブ７４からなるカーボンナノチューブ構造体７８が固着している。本参考例では、所望のパターニングに沿ってカーボンナノチューブ７４が配置された、カーボンナノチューブ構造体７８が形成されている。
【０１５１】
本参考例のカーボンナノチューブ構造体７８は、以下のようにして製造される。
平面基板７２として、ガラス板や雲母板等のような親水性の材料を用い、図１１（ｂ）に示すように、所望のパターニング７６となるように、平面基板７２におけるパターニング７６以外の表面に、撥水処理を施して疎水性表面を形成する。すると、パターニング７６の部分のみが親水性表面となる。なお、本参考例においては、撥水処理としてシランカップリング剤による処理を行った。
【０１５２】
分散媒として水系媒体を用いた高粘度分散液Ｗを用い、これを上記パターニングされた図１１（ｂ）に示す平面基板に流しかけると、親水性表面であるパターニング７６にのみカーボンナノチューブ７４が固着し、図１１（ａ）に示す形状のカーボンナノチューブ構造体７８が製造される。
本参考例においても、参考例１と同様、カーボンナノチューブ構造体７８中にカーボンナノチューブ以外の物体を介在させてもよいし、複数の端子を設けてもよい。
【０１５３】
このように本参考例によれば、平面基板表面に所望の形状にパターニングされたカーボンナノチューブ構造体を形成することができ、電気配線として、あるいはカーボンナノチューブ構造体自体に既述の機能を付加してデバイスとして、用いることができる。
【０１５４】
（第１の実施形態）
図１２は、本発明のカーボンナノチューブ構造体の配線の第１の実施形態を示す模式斜視図である。所定の平面基板１２の表面に設けられた金微粒子からなる凸部１０が、カーボンナノチューブ８４からなるカーボンナノチューブ構造体８８で接合された状態となっている。
【０１５５】
第１の実施形態においては、まず、図４（ａ）に示すように平面基板１２の表面に金粒子からなる凸部１０を形成した。具体的には、平面基板１２としてのガラス板の表面に金を２０ｎｍ蒸着し、その後加熱処理することで、島状に分布した金微粒子の凸部１０を形成した。これに高粘度分散媒Ｗをスピンコートして、島状の金微粒子を繋ぐ覆うように塗布して、カーボンナノチューブ構造体８８を形成した。
本実施形態においては、電気的に相互に分離していた島状の金微粒子の凸部１０は、カーボンナノチューブ構造体８８により電気的に接合されている。
【０１５６】
（参考例３）
図１３は、カーボンナノチューブ構造体の参考例を示す模式断面図である。本参考例のカーボンナノチューブ構造体は、絶縁平面基板９２の表面に、順次、参考例１と同様のカーボンナノチューブ構造体層９８Ａ、銅フタロシアニン蒸着層９６Ａ（０．１μｍ）、参考例１と同様のカーボンナノチューブ構造体層９８Ｂ、銅フタロシアニン蒸着層９６Ｂ（０．１μｍ）、参考例１と同様のカーボンナノチューブ構造体層９８Ｃが設けられてなるものである。
【０１５７】
本参考例のカーボンナノチューブ構造体は、以下のようにして製造した。
金属電極９４Ｓを片側に配置した、ガラス製の絶縁平面基板９２に対して、参考例１と同様にして、カーボンナノチューブ構造体層９８Ａを形成した。その上に、順次、銅フタロシアニンを蒸着して銅フタロシアニン蒸着層９６Ａを形成し、参考例１と同様にして、カーボンナノチューブ構造体層９８Ｂを形成し、再び銅フタロシアニンを蒸着して銅フタロシアニン蒸着層９６Ｂを形成し、さらにその上に参考例１と同様にして、カーボンナノチューブ構造体層９８Ｃを形成した。金属電極９４Ｄを片側に配置した、ガラス製の絶縁平面基板９２’を、カーボンナノチューブ構造体層９８Ｃの上に、金属電極９４Ｓと金属電極９４Ｄとが反対側の端になるように（電極間距離５ｍｍ）重ね合わせ、カーボンナノチューブ構造体層とフタロシアニン蒸着層との積層構造体を作製した。
【０１５８】
得られた積層構造体は、フタロシアニンを含まない３層のカーボンナノチューブ構造体の電気伝導性（０．００１Ω・ｍ）よりも低い電気伝導性（１ＭΩ・ｍ）を示し、フタロシアニン蒸着層を介して、異なるカーボンナノチューブ構造体層に含まれているカーボンナノチューブ構造体の電気伝導を確認することができた。
【０１５９】
さらに、図１４に示すように、基板として、ガラス製の絶縁平面基板９２から、絶縁性酸化膜を有したシリコンウエハーに代えて、同様の積層構造体を作製した。さらに、この積層構造体について、基板側にゲート電極９４Ｇを設けて、カーボンナノチューブデバイスを作製した。ゲート電極９４Ｇに電圧を印加して、金属電極間９４Ｓ，９４Ｄのソース−ドレイン電流を測定することで、電界効果トランジスターの動作を確認した。本デバイスはフタロシアニン層を含むため、その層が半導体特性を示し、電圧の印加によって電流量の増加が確認できた。
【０１６０】
（参考例４）
図１５は、カーボンナノチューブデバイスの参考例を示す模式分解斜視図である。本参考例のカーボンナノチューブデバイスは、第１の透明基板１００Ａ（５００μｍ）の表面に、順次、第１の実施形態と同様のカーボンナノチューブ構造体層１０８Ａ、電子輸送層１１０（０．２μｍ）、発光層１０６（０．０５μｍ）、正孔輸送層１０４（０．２μｍ）、参考例１と同様のカーボンナノチューブ構造体層１０８Ｂ、および第２の透明基板１００Ｂ（５００μｍ）が設けられてなるものである。本参考例のカーボンナノチューブデバイスは、積層ダイオードの機能を発現するものである。
【０１６１】
各層の詳細について説明する。
第１の透明基板１００Ａおよび第２の透明基板１００Ｂとしては、石英ガラスを使用した。ただし、本発明においては特にこれに規定されず、ソーダガラス、サファイア、雲母、アクリル等各種材料からなる透明板を用いることができる。
【０１６２】
電子輸送層１１０としては、オキサジアゾ−ル（ＰＢＤ）の溶液をスピンコートして成膜したものである。ただし、本参考例においては、特にこれに限定されず、電子写真、ダイオード素子、ＬＥＤ素子、ＥＬ素子、トランジスター素子等の分野で電子輸送層とされる各種材料からなるものを適用することができる。
【０１６３】
発光層１０６としては、トリス（８−ヒドロキシキノリノラ）アルミニウムコンプレック（ＡｌＱ３）の溶液をスピンコートして成膜したものである。ただし、本参考例においては、特にこれに限定されず、ＬＥＤ素子、ＥＬ素子、半導体レーザー等の分野で発光層とされる各種材料からなるものを適用することができる。
【０１６４】
正孔輸送層１０４としては、Ｎ，Ｎ’ビス（３−メチルフェニル）Ｎ，Ｎ’ジフェニル（１，１’ビフェニル）４，４’ジアミン（ＴＰＤ）の溶液をスピンコートして成膜したものである。ただし、本発明においては、特にこれに限定されず、電子写真、ダイオード素子、ＬＥＤ素子、ＥＬ素子、トランジスター素子等の分野で正孔輸送層とされる各種材料からなるものを適用することができる。
【０１６５】
このようにして得られたカーボンナノチューブデバイスのカーボンナノチューブ構造体層１０８Ａおよび１０８Ｂ間に電圧（１０Ｖ）を印加すると、当該デバイスの両面から発光が確認された。
【０１６６】
上記カーボンナノチューブデバイスにおいて、第１の透明基板１００Ａおよびカーボンナノチューブ構造体層１０８Ａ、並びに、第２の透明基板１００Ｂおよびカーボンナノチューブ構造体層１０８Ｂを、市販されている透明電極（石英ガラスにマグネトロンスパッタによるＩＴＯ薄膜：１．４×１０-4Ω・ｃｍ）に代えて、比較用のデバイスを製造した。この比較用のデバイスにおいても、同様に電圧を印加したところ発光が確認されたが、これに比べ、前記本参考例のカーボンナノチューブデバイスの方が輝度が高く、本参考例のカーボンナノチューブ構造体が透明電極として有用であることが確認された。
【０１６７】
（参考例５）
図１６は、カーボンナノチューブデバイスの参考例を示す模式断面図である。本参考例のカーボンナノチューブデバイスは、参考例１のカーボンナノチューブ構造体の構成に、端子１２６Ａおよび１２６Ｂを設け、さらに、カーボンナノチューブ構造体６８のネットワークの中に、発光分子（電圧の印加により発光する分子）１２２が分散配置されてなるものである。
【０１６８】
本参考例のカーボンナノチューブデバイスは、参考例１のカーボンナノチューブ構造体の構成に、端子１２６Ａおよび１２６Ｂを設けたものを、発光分子１２２が分散された下記組成の溶液に浸すことで、発光分子１２２をカーボンナノチューブ構造体６８に含浸させたものである。
【０１６９】
−溶液の組成−
・四塩化炭素： １００ミリリットル
・トルエン： ２０ミリリットル
・トリス（８−ヒドロキシキノリノラ）アルミニウムコンプレック（ＡｌＱ３）： １ｇ
【０１７０】
得られたカーボンナノチューブデバイスにおいて、カーボンナノチューブ構造体６８の電気抵抗は高くなったが、ある電圧閾値（５．５Ｖ）以上の電圧を印加したところ、カーボンナノチューブ構造体６８の発光が確認できた。観察には、倒立型の蛍光顕微鏡を使用した。これは、発光分子１２２がカーボンナノチューブ構造体６８相互の間隙に挿入されていることを示唆しており、カーボンナノチューブ構造体６８に印加した電圧が、カーボンナノチューブ構造体６８の各部分にあるカーボンナノチューブ６４を介して電圧が伝達され、発光分子１２２に電圧が印加できたことを示している。このように、本参考例のカーボンナノチューブ構造体によれば、カーボンナノチューブ配線による分子素子が実現できた。
【０１７１】
（参考例６）
図１７は、カーボンナノチューブデバイスの参考例を示す模式分解斜視図である。本参考例のカーボンナノチューブデバイスは、両端に入力端子１３４Ａ〜１３４Ｄおよび出力端子１３４Ａ’〜１３４Ｄ’が設けられた平面基板１３２の、これら端子が設けられた面に、順次、カーボンナノチューブ構造体層１３８Ａ、第１の機能有機薄膜層１３６Ａ、カーボンナノチューブ構造体層１３８Ｂ、第２の機能有機薄膜層１３６Ｂ、カーボンナノチューブ構造体層１３８Ｃ、第３の機能有機薄膜層１３６Ｃ、およびカーボンナノチューブ構造体層１３８Ｄが形成されてなるものである。
【０１７２】
各層の詳細について説明する。
平面基板１３２には、石英ガラスを用いた。
カーボンナノチューブ構造体層１３８Ａ〜１３８Ｄは、前記高濃度分散液Ｗ（カーボンナノチューブ濃度：２ｇ／リットル）を原液として、水を加えて３．５倍、３倍、２．５倍、および２倍にそれぞれ希釈した分散液を作製し、これら分散液をこの順で用いて、１３８Ａ、１３８Ｂ、１３８Ｃ、および１３８Ｄのそれぞれの層をスピンコートにより成膜したものである。
【０１７３】
第１および第２の機能有機薄膜層１３６Ａおよび１３６Ｂは、ＰＭＭＡポリマー１ｍｇをアセトニトリル１０ｍｌに溶解した溶液を用い、スピンコートにより０．２μｍの薄膜を形成したものである。なお、薄膜中から残留溶媒であるアセトニトリルの除去、および、カーボンナノチューブ構造体との密着性の向上を目的に、スピンコート後に１２０℃に加熱した。
【０１７４】
なお、機能有機薄膜層が第１層（１３６Ａ）のみのときと第２層（１３６Ｂ）を加えた時の電流特性を比べたところ、いくつかの入出力端子の組み合わせにおいて、電流値の増加が確認された。このことは、有機機能層であるＰＭＭＡを介して、ネットワーク間の一部が電磁気的に接合していることを示しており、ネットワーク全体が単純に接合されているのではなく、ＰＭＭＡによって部分的には切り離され、部分的には接合している、多層化にわたって信号伝達する高次ネットワークが形成できたことが示された。
【０１７５】
さらに機能有機薄膜層を追加して第３層（第３の機能有機薄膜層１３６Ｃ）を形成した。第３層（１３６Ｃ）は、以下のようにして形成した。アゾベンゼン２ｇをモノクロロベンゼン１００ｍｌ中に溶解し、スピンコートし薄膜を形成した。得られた薄膜の膜厚は、約１００ｎｍ以下であった。さらに同様にスピンコートして、合計２００ｎｍの膜（第３層（１３６Ｃ））を形成した。
【０１７６】
第３層を加えて得られた本実施形態のカーボンナノチューブデバイスに、上部（デバイス平面に対して法線方向）からレーザー光を入射して、アゾベンゼン分子のシス−トランス変換を誘導させたところ、ある特定の入出力チャンネルの組み合わせの電流値がレーザー照射のＯＮ−ＯＦＦに伴って増減することが確認された。レーザー光の照射位置を変えたところ、前記入出力チャンネルの組み合わせの電流値に変化が現れなくなったが、その他の入出力チャンネルの電流値がレーザー照射のＯＮ−ＯＦＦに伴って増減することが確認された。つまり、外部からの刺激によってネットワークに接続された任意の入出力チャンネルの組み合わせの電流制御が行えるデバイスを実現できた。
【０１７７】
【発明の効果】
本発明によれば、カーボンナノチューブ相互間に電気的または磁気的な接続状態を含むネットワークが、所望の面積・体積に形成されたカーボンナノチューブ構造体の配線、並びに、それが容易に得られ、カーボンナノチューブの使用量が少ないカーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法を提供することができる。また、本発明によれば、そのように有用なカーボンナノチューブ構造体の配線を用いたカーボンナノチューブデバイスを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 カーボンナノチューブの分散液におけるカーボンナノチューブ濃度と分散液の粘度との関係を表すグラフである。
【図２】 カーボンナノチューブの「ネットワーク」の概念を説明するためのカーボンナノチューブの集合体の一例を表す模式拡大図である。
【図３】 平面基板上に凹部がパターニングされて経路構造が設けられている状態を表す斜視図である。
【図４】 平面基板上に凸部がパターニングされて経路構造が設けられている状態を表す斜視図である。
【図５】 図４における平面基板上の凸部にカーボンナノチューブが滞留する理由を説明するための拡大平面図である。
【図６】 平面基板上に設けられる凸部の例を示す模式平面図であり、（ａ）は凸部の形状がコの字型、（ｂ）凸部の形状がニの字型の例である。
【図７】 平面基板の全面（片面）に金属膜を形成した状態を示す斜視図であり、（ａ）は片面の全面に、（ｂ）は片面に縞状に金属膜を形成したものである。
【図８】 カーボンナノチューブ構造体の参考例１を示す模式斜視図である。
【図９】 図８のカーボンナノチューブ構造体の電子顕微鏡写真（３００００倍）である。
【図１０】 図８のカーボンナノチューブ構造体を用いたカーボンナノチューブデバイスの例を示す模式斜視図である。
【図１１】 カーボンナノチューブ構造体の参考例２を説明するための図面であり、（ａ）はカーボンナノチューブ構造体の参考例２を示す模式平面図であり、（ｂ）は（ａ）のカーボンナノチューブ構造体を製造するために平板基板表面に設けられたパターニングを示す模式平面図である。
【図１２】 本発明のカーボンナノチューブ構造体の配線の第１の実施形態を示す模式斜視図である。
【図１３】 カーボンナノチューブ構造体の参考例３を示す模式断面図である。
【図１４】 図１３のカーボンナノチューブ構造体を用いたカーボンナノチューブデバイスの例を示す模式斜視図である。
【図１５】 カーボンナノチューブデバイスの参考例４を示す模式分解斜視図である。
【図１６】 カーボンナノチューブデバイスの参考例５を示す模式断面図である。
【図１７】 カーボンナノチューブ構造体の参考例６を示す模式分解斜視図である。
【符号の説明】
２、１２、４２、５２、６２、７２、９２ 平面基板
４ 凹部
１０、２０、３０ 凸部
１４、２４、３４、６４、７４、８４、Ｎ１〜Ｎ９ カーボンナノチューブ
６８、７８、８８ カーボンナノチューブ構造体
７６ パターニング
９６Ａ 、９６Ｂ 銅フタロシアニン蒸着層
９８Ａ 〜９８Ｃ、１０８Ａ〜１０８Ｂ、１３８Ａ〜１３８Ｄ カーボンナノチューブ構造体層
１００Ａ、１００Ｂ 透明基板
１０４ 正孔輸送層
１０６ 発光層
１１０ 電子輸送層
１２２ 発光分子
１３６Ａ〜１３６Ｃ 機能有機薄膜層
Ｃ１〜Ｃ３ 環状体
【発明の属する技術分野】
本発明は、カーボンナノチューブを含むデバイスや機能材料、およびその他構造材料などに利用可能なカーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法、並びに、カーボンナノチューブ構造体の配線およびそれを用いたカーボンナノチューブデバイスに関する。
本発明は、広範なカーボンナノチューブの応用に展開可能なものである。
【０００２】
【従来の技術】
繊維状のカーボンを一般的にカーボンファイバーと呼んでいるが、直径数μｍ以上の太さの構造材料として用いられるカーボンファイバーは、従来から何種類もの製法が研究されて来ている。その中で現在ではＰＡＮ（ポリアクリロニトリル）系やピッチ系の原料から作製する製法が主流を占めている。
【０００３】
この製法の概略は、ＰＡＮ繊維や等方性ピッチ、メソフェーズピッチから紡糸した原料を不融化、耐炎化し８００〜１４００℃で炭素化し、そして１５００〜３０００℃で高温処理する方法である。こうして得られたカーボンファイバーは強度や弾性率等の機械的特性に優れ、かつ軽量なのでスポーツ用品や断熱材、航空宇宙関連や自動車関連の構造材等に複合材料としても利用されている。
【０００４】
これとは別に、近年発見されたカーボンナノチューブは直径１μｍ以下の太さのチューブ状材料であり、理想的なものとしては炭素６角網目の面がチューブの軸に平行になって管を形成し、さらにこの管が多重になることもある。このカーボンナノチューブは炭素でできた６角網目の繋り方や、チューブの太さにより金属的あるいは半導体的な性質を示すことが理論的に予想され、将来の機能材料として期待されている。
【０００５】
カーボンナノチューブの合成には、アーク放電法を利用するのが一般的になっているが、この他、レーザー蒸発法や熱分解法、プラズマ利用等が近年研究されてきている。ここで近年開発されたカーボンナノチューブについて概説する。
【０００６】
（カーボンナノチューブ）
直径がカーボンファイバーよりも細い１μｍ以下の材料は、通称カーボンナノチューブと呼ばれ、カーボンファイバーとは区別されているが、特に明確な境界はない。狭義には、炭素の６角網目の面が軸とほぼ平行である材料をカーボンナノチユーブと呼び、カーボンナノチューブの周囲にアモルファス的なカーボンが存在する場合もカーボンナノチューブに含めている（なお、本発明においてカーボンナノチューブとは、この狭義の解釈が適用される。）。
【０００７】
一般的に狭義のカーボンナノチューブは、さらに分類され、６角網目のチューブが１枚の構造のものはシングルウォールナノチューブ（以下、「ＳＷＮＴ」と略称する）と呼ばれ、一方、多層の６角網目のチューブから構成されているものはマルチウォールナノチューブ（以下、「ＭＷＮＴ」と略称する）と呼ばれている。どのような構造のカーボンナノチューブが得られるかは、合成方法や条件によってある程度決定されるが、同一構造のカーボンナノチューブのみを生成することは未だにできていない。
【０００８】
カーボンファイバーは径が大きく、軸に平行で円筒状の網目構造が発達しない。触媒を利用した気相熱分解法では、チューブの中心付近に軸に平行でかつチューブ状の網目構造があるが、その周囲に乱れた構造の炭素が多く付着している場合が多い。
【０００９】
（カーボンナノチューブの応用）
次にカーボンナノチューブの応用についての従来技術を説明する。
現時点では、カーボンナノチューブの応用製品は出ていないが、応用化へ向けた研究活動は活発である。その中で代表的な例を以下に簡単に説明する。
【００１０】
（１）電子源
カーボンナノチューブは先端が先鋭で、且つ電気伝導性があるため電子源としての研究例が多い。Ｗ．Ａ．ｄｅＨｅｅｒらは、“Ｓｃｉｅｎｃｅ”（Ｖｏｌ．２７０，１９９５，ｐ１１７９）で、アーク放電法で得られたカーボンナノチューブを精製しフイルターを通して基板上に立て電子源としている。この報告では電子源はカーボンナノチューブの集団となっているが、１ｃｍ2の面積から７００Ｖの電圧の印加により１００ｍＡ以上の放出電流が安定して得られたと示されている。
【００１１】
また、Ａ．Ｇ．Ｒｉｎｚｌｅｒらは、“Ｓｃｉｅｎｃｅ”（Ｖｏｌ．２６９，１９９５，ｐ１５５０）にて、アーク放電法で得られたカーボンナノチューブの１本を電極に取り付けて特性を評価したところ、約７５Ｖの電圧印加により先端の閉じたカーボンナノチューブからは約１ｎＡ、先端の開いたカーボンナノチューブからは約０．５μＡの放出電流が得られたと示されている。
【００１２】
（２）ＳＴＭ、ＡＦＭ
Ｈ．Ｄａｉらは、“Ｎａｔｕｒｅ”（３８４，１９９６，ｐ．１４７）においてカーボンナノチューブのＳＴＭ、ＡＦＭへの応用について報告している。ここで用いられているカーボンナノチューブは、アーク放電法で作製されたもので、先端部分は直径約５ｎｍのＳＷＮＴになっている。チップ（ｔｉｐ）が細く、しなやかであるため、試料の隙間部分の底でも観察でき、先端のチップクラッシュ（ｔｉｐ ｃｒａｓｈ）のない理想的なチップ（ｔｉｐ）が得られるといわれている。
【００１３】
（３）水素貯蔵材料
Ａ．Ｃ．Ｄｉｌｌｏｎらは、ＳＷＮＴを用いることにより、ピッチ系の原料から生成したカーボンと比較して数倍の水素分子が貯蔵できることを“Ｎａｔｕｒｅ”（Ｖｏｌ．３８６，１９９７，ｐ．３７７〜３７９）に報告している。まだ応用への検討が始まったばかりではあるが、将来的には水素自動車等の水素貯蔵材料として期待されている。
【００１４】
上記のカーボンナノチューブの製法として、現在は主に３種類用いられている。具体的には、カーボンファイバーを製造するための気相成長法と類似の方法（触媒を用いる熱分解法）、アーク放電法、およびレーザー蒸発法である。またこの上記３種類以外にもプラズマ合成法や固相反応法が知られている。
【００１５】
ここでは代表的な３種類について以下に簡単に説明する。
（１）触媒を用いる熱分解法
この方法は、カーボンファイバーを製造するための気相成長法とほぼ同じである。このような製法の詳細は、Ｃ．Ｅ．ＳＮＹＤＥＲらによるＩｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ ＰａｔｅｎｔのＷＯ８９／０７１６３（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｐｕｂｌｉｃａｔｉｏｎ Ｎｕｍｂｅｒ）に記載されている。反応容器の中にエチレンやプロパンを水素と共に導入し、同時に金属超微粒子を導入するが、原料ガスはこれ以外にもメタン、エタン、プロパン、ブタン、ヘキサン、シクロヘキサン等の飽和炭化水素やエチレン、プロピレン、ベンゼン、トルエン等の不飽和炭化水素、アセトン、メタノール、一酸化炭素等の酸素を含む原料でもかまわないと示されている。
【００１６】
また、原料ガスと水素の比は１：２０〜２０：１が良好であり、触媒はＦｅや、ＦｅとＭｏ、Ｃｒ、Ｃｅ、Ｍｎの混合物が推奨されており、それをヒュームド（ｆｕｍｅｄ）アルミナ上に付着させておく方法も提唱されている。反応容器は５５０〜８５０℃の範囲で、ガスの流量は１インチ径当り水素が１００ｓｃｃｍ、炭素を含む原料ガスを２００ｓｃｃｍ程度に調節することが好ましく、微粒子を導入して３０分〜１時間程度でカーボンナノチューブが成長する。
【００１７】
こうして得られるカーボンナノチューブの形状は、直径が３．５〜７５ｎｍ程度であり、長さは直径の５〜１０００倍に達する。炭素の網目構造はチューブの軸に平行になり、チューブ外側の熱分解カーボンの付着は少ない。
【００１８】
また生成効率はよくないものの、Ｍｏを触媒核にし、一酸化炭素ガスを原料ガスにして１２００℃で反応させるとＳＷＮＴが生成されることが、Ｈ．Ｄａｉ（“Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｐｈｙｓｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ”２６０，１９９６，ｐ．４７１〜４７５）らによって報告されている。
【００１９】
（２）アーク放電法
アーク放電法は、Ｉｉｊｉｍａにより最初に見出され、詳細は、Ｎａｔｕｒｅ（Ｖｏｌ．３５４，１９９１，ｐ５６〜５８）に記載されている。アーク放電法とは、アルゴン約１３３００Ｐａ（１００Ｔｏｒｒ）の雰囲気中で炭素棒電極を用いて直流アーク放電を行うという単純な方法である。カーボンナノチューブは負電極の表面の一部分に５〜２０ｎｍの炭素微粒子と共に成長する。このカーボンナノチューブは直径４〜３０ｎｍで長さ約１〜５０μｍのチューブ状の炭素の網目が重なった層状構造であり、その炭素の網目構造は、軸に平行に螺旋状に形成されている。
【００２０】
螺旋のピッチは、チューブごと、またチューブ内の層ごとに異なっており、多層チューブの場合の層間距離は０．３４ｎｍとグラファイトの層間距離にほぼ一致する。チューブの先端は、やはりカーボンのネットワークで閉じられている。
【００２１】
またＴ．Ｗ．Ｅｂｂｅｓｅｎらはアーク放電法でカーボンナノチューブを大量に生成する条件を“Ｎａｔｕｒｅ”（Ｖｏｌ．３５８，１９９２，ｐ２２０〜２２２）に記載している。具体的な条件としては、陰極に直径９ｍｍ、陽極に直径６ｍｍの炭素棒を用い、チャンバー中で１ｍｍ離して対向するように設置し、ヘリウム約６６５００Ｐａ（５００Ｔｏｒｒ）の雰囲気中で約１８Ｖ、１００Ａのアーク放電を発生させる。
【００２２】
６６５００Ｐａ（５００Ｔｏｒｒ）よりも圧力が低いとカーボンナノチューブの割合は少なく、６６５００Ｐａ（５００Ｔｏｒｒ）より圧力が高くても全体の生成量は減少する。最適条件の６６５００Ｐａ（５００Ｔｏｒｒ）では生成物中のカーボンナノチューブの割合は７５％に達する。投入電力を変化させたり、雰囲気をアルゴンにしてもカーボンナノチューブの収集率は低下する。なお、カーボンナノチューブは、生成したカーボンロッドの中心付近に多く存在する。
【００２３】
（３）レーザー蒸発法
レーザー蒸発法はＴ．Ｇｕｏらにより、“Ｃｈｅｍｉｃａｌ ＰｈｙｓｉｃｓＬｅｔｔｅｒｓ”（２４３，１９９５，ｐ．４９〜５４）に報告されて、さらにＡ．Ｔｈｅｓｓらが、“Ｓｃｉｅｎｃｅ”（ｖｏｌ．２７３，１９９６，ｐ．４８３〜４８７）にレーザー蒸発法によるロープ状ＳＷＮＴの生成を報告している。この方法の概略は以下のとおりである。
【００２４】
まず、石英管中にＣｏやＮｉを分散させたカーボンロッドを設置し、石英管中にＡｒを６６５００Ｐａ（５００Ｔｏｒｒ）満たした後、全体を１２００℃程度に加熱する。そして石英管の上流側の端からＮｄＹＡＧレーザーを集光してカーボンロッドを加熱蒸発させる。そうすると石英管の下流側にカーボンナノチューブが堆積する。この方法はＳＷＮＴを選択的に作製する方法としては有望であり、また、ＳＷＮＴが集まってローブ状になり易い等の特徴がある。
【００２５】
上記、従来技術のカーボンナノチューブの構成や製法では、得られるカーボンナノチューブは太さも方向もかなりランダムなものであり、また成長直後ではカーボンナノチューブに電極は接合されていない。すなわちカーボンナノチューブは利用に際して、合成後に回収して精製し、さらに利用する形態に合わせて特定の形状に形成しなければならない。
【００２６】
例えば、カーボンナノチューブを電気回路に利用しようとする場合には、カーボンナノチューブが非常に微細であるためにハンドリングが困難であり、集積回路（ＩＣ）のような高密度配線を作製する手法は未だ提案されておらず、Ｎａｔｕｒｅ ｖｏｌ．３９７、１９９９、ｐ．６７３〜６７５に示されているように、微細電極をあらかじめ作製し、その位置にカーボンナノチューブが配置してできる単一構造の微細素子を評価するのみであった。また、カーボンナノチューブは非常に高価であり、ロスの無いように効率的に電子回路内部に組み込ませたい。
これらハンドリングの困難さ、および高価であることの問題は、具体的なデバイス化に大きな障害となっている。
【００２７】
その１つの打開策として、従来の電子回路デバイスとは異なる生物の脳に類似させた電気信号処理を考えることができる。カーボンナノチューブはこれまでの電気配線とは異なり、非常に細く、指向性も高いため、脳内のニューロンのような多重配線を実現し、従来の計算処理とは異なる非ノイマン型の処理機構を具現化できる可能性がある。しかしながら、これまでにカーボンナノチューブの組織構造体による信号伝達、信号処理に関する報告は無い。
【００２８】
カーボンナノチューブの組織構造体を形成する手法として、カーボンナノチューブを分散媒中によく分散させてカーボンナノチューブの分散液を調製し、該分散液を平面基板に滴下して乾燥させると、カーボンナノチューブの薄膜を作製できることが予想される。また、これまでにも前記分散液を滴下することにより、非常に少量のカーボンナノチューブの塊を偶発的に平面基板の表面に残すことは実施されていたが、それはカーボンナノチューブに特有の処理法ではなく、容易に想像しうる範囲の微量残留物の扱いであった。
【００２９】
微粒子の自己組織化として知られるように、微小物体が分散媒に分散した分散液からの分散媒の乾燥に伴って、微小物体が細密充填した薄膜を形成することができる。しかしながらその場合、分散液中においては、凝集力を除き、微小物体が相互に束縛されること無く自由に振舞う。このため、分散媒の乾燥時に細密充填される際の微小物体相互の接触は、微小物体相互の凝集力のみに支配され、微小物体の凝集体が分離して生成していく。したがって、細密充填したドメインは、複数に分離した島状の組織となりやすい。
【００３０】
微小物体として導電性の粒子を用いた場合、これを網目状に分布させることができれば、少ない量で基板全面を導電化することができるが、既述のように単に微小物体の分散液から分散媒を乾燥させるのみでは、安定な島状構造となりやすく、それらは離散した状態となるため、平面基板を導電化処理するためには、ほぼ全面を被覆する量の導電性の粒子を用いなければならなかった。
【００３１】
以上の微小物体の分散液の問題は、微小物体としてカーボンナノチューブを用いた場合も基本的に同様である。すなわち、単なるカーボンナノチューブの分散液を平面基板に滴下して乾燥させることで得られるカーボンナノチューブの塊は、通常、複数に分離した島状の組織となり、個々のドメイン間で独立した状態となってしまうため、電気的または磁気的な接続状態が分断され、カーボンナノチューブ構造体として有用なネットワーク形状を得ることができなかった。したがって、単に平面基板の全面を導電化処理するのみであっても、ほぼ全面を被覆し得るだけの多量のカーボンナノチューブを要し、カーボンナノチューブの使用量が大幅にアップしてしまい、カーボンナノチューブを用いるメリットが見出せない。
【００３２】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明は、カーボンナノチューブ相互間に電気的または磁気的な接続状態を含むネットワークが、所望の面積・体積に形成されたカーボンナノチューブ構造体の配線、並びに、それが容易に得られ、カーボンナノチューブの使用量が少ないカーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法を提供することにある。また、本発明は、そのように有用なカーボンナノチューブ構造体の配線を用いたカーボンナノチューブデバイスを提供することにある。
【００３３】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、カーボンナノチューブの分散液におけるカーボンナノチューブの濃度と、前記分散液の特性と、得られるカーボンナノチューブ構造体の構造との関係を調べることで、本発明に想到した。
【００３４】
すなわち、本発明は、
＜１＞ 低粘度の分散媒にカーボンナノチューブを分散させた高粘度分散液を、カーボンナノチューブ構造体により構成される配線に応じたパターニングに従って設けられた複数の凸部により形成された経路構造を有する平面基板上に供給し、前記複数の凸部を前記カーボンナノチューブにより電気的または磁気的に接合するとともに、カーボンナノチューブ相互間に電気的または磁気的な接続状態を含むネットワークを形成させることにより、前記経路構造に沿って前記カーボンナノチューブ構造体の前記配線を形成することを特徴とするカーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法である。
【００３５】
＜２＞ 前記高粘度分散液に、さらに他の物体を分散させておくことを特徴とする＜１＞に記載のカーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法である。
【００３６】
＜３＞ 前記凸部を、平面基板上に粒子状の金属を配置して形成することを特徴とする＜１＞又は＜２＞に記載のカーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法である。
【００３７】
＜４＞ 前記高粘度分散液におけるカーボンナノチューブの濃度を調整することによって、製造されるカーボンナノチューブ構造体におけるカーボンナノチューブの数量を制御することを特徴とする＜１＞〜＜３＞のいずれか１に記載のカーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法である。
【００３８】
＜５＞ 低粘度の分散媒にカーボンナノチューブを分散させた高粘度分散液を、カーボンナノチューブ構造体により構成された配線に応じたパターニングに従って設けられた複数の凸部により形成された経路構造を有する平面基板上に供給することで形成され、前記複数の凸部が前記カーボンナノチューブにより電気的または磁気的に接合されるとともに、カーボンナノチューブ相互間に電気的または磁気的な接続状態を含むネットワークが形成されることにより、前記経路構造に沿って前記カーボンナノチューブ構造体の前記配線が形成されたことを特徴とするカーボンナノチューブ構造体の配線である。
【００３９】
＜６＞ 前記高粘度分散液に、さらに他の物体を分散させておき、前記ネットワーク中に前記他の物体が分散配置されてなることを特徴とする＜５＞に記載のカーボンナノチューブ構造体の配線である。
【００４０】
＜７＞ 前記凸部が、平面基板上に粒子状の金属が配置されてなることを特徴とする＜５＞又は＜６＞に記載のカーボンナノチューブ構造体の配線である。
【００４１】
＜８＞ 前記ネットワーク中のカーボンナノチューブの少なくとも一部が、相互に物理的に接触していることを特徴とする＜５＞〜＜７＞のいずれか１に記載のカーボンナノチューブ構造体の配線である。
【００４２】
＜９＞ ＜５＞〜＜８＞のいずれか１に記載のカーボンナノチューブ構造体の配線を含むことを特徴とするカーボンナノチューブデバイスである。
【００４３】
＜１０＞ ＜５＞〜＜８＞のいずれか１に記載のカーボンナノチューブ構造体の配線を含むカーボンナノチューブ構造体層が、２層以上積層されてなることを特徴とするカーボンナノチューブデバイスである。
【００４４】
＜１１＞ 前記カーボンナノチューブ構造体層相互間の少なくとも１の間に、機能層が介在してなることを特徴とする＜１０＞に記載のカーボンナノチューブデバイスである。
【００４５】
＜１２＞ 前記機能層が機能性物体を含み、当該機能層を介して対向する前記カーボンナノチューブ構造体層の双方に含まれるカーボンナノチューブの一部同士が、前記機能性物体を介して電気的または磁気的に接続されてなることを特徴とする＜１１＞に記載のカーボンナノチューブデバイスである。
【００４６】
＜１３＞ 前記カーボンナノチューブ構造体の少なくとも一部が、導電性配線として機能することを特徴とする＜９＞〜＜１２＞のいずれか１に記載のカーボンナノチューブデバイスである。
【００４７】
＜１４＞ 前記カーボンナノチューブ構造体の少なくとも一部が、平面電極として機能することを特徴とする＜９＞〜＜１３＞のいずれか１に記載のカーボンナノチューブデバイスである。
【００４８】
＜１５＞ 前記カーボンナノチューブ構造体の少なくとも一部が、デバイス回路として機能することを特徴とする＜９＞〜＜１４＞のいずれか１に記載のカーボンナノチューブデバイスである。
【００６２】
以上の本発明は、カーボンナノチューブを分散させた高粘度分散液と接触した部分のほぼ全面にわたってカーボンナノチューブを配置させることができることを初めて確認し、さらにそれをデバイス部位として機能させ得ることを初めて提案するものである。
【００６３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳細に説明する。
＜本発明の作用機構＞
まず、本発明の作用機構について説明する。
一般に、微小物体が分散媒に分散した分散液においては、分散状態を維持しつつ微小物体の濃度を上げて行くと、その濃度に比例して分散液の粘度が上昇する。微小物体としてカーボンナノチューブを用いた場合も基本的に同様であり、図１の区間Ａの領域における実線のグラフ▲１▼に示されるように、カーボンナノチューブ濃度の上昇に伴い、比例的に分散液の粘度が上昇する。なお、図１は、カーボンナノチューブの分散液におけるカーボンナノチューブ濃度と分散液の粘度との関係を表すグラフである。
【００６４】
しかし、本発明者らは、カーボンナノチューブの分散液においては、カーボンナノチューブ濃度をさらに上昇させると、ある臨界点を境に粘度上昇の度合いが大きくなることを見出した。すなわち、図１のグラフ▲１▼における臨界点Ｘを境に、カーボンナノチューブ濃度−分散液粘度直線の勾配が、その前後で変化し、区間Ａの領域に比べ区間Ｂの領域では急峻となる。
【００６５】
この現象は、以下のように説明される。
カーボンナノチューブ濃度の低い区間Ａの領域では、一般の微小物体の分散液と同様、カーボンナノチューブは相互に束縛されること無く自由に振舞う。そのため、カーボンナノチューブ同士が凝集する作用は起こるものの、基本的にカーボンナノチューブの存在比率に応じて分散液の粘度が比例的に上昇する。
【００６６】
しかし、カーボンナノチューブは細長いチューブ状の微小物体であり、カーボンナノチューブ濃度をさらに上昇させて行くと、カーボンナノチューブの存在確率が上昇し、カーボンナノチューブ相互間の間隙が小さくなり、カーボンナノチューブないしその凝集体相互間を橋渡し（架橋）するカーボンナノチューブの存在が出てくる。
【００６７】
この架橋状態が始まると、分散液の粘度はカーボンナノチューブの存在比率のみに支配されるものではなくなり、架橋の度合いに応じて急激に粘度が上昇する。すなわち、この架橋状態が始まる濃度が、図１のグラフ▲１▼における臨界点Ｘであり、架橋状態が進行している分散液の状態が区間Ｂの領域である。
【００６８】
このようにカーボンナノチューブの濃度を上昇させて行くと、当該分散液中でカーボンナノチューブないしその凝集体相互間にカーボンナノチューブの橋渡しが存在する、いわゆるネットワークが形成される。
区間Ａの領域では、既述のカーボンナノチューブ同士が凝集する作用により、分散液は不安定な状態であり、十分な攪拌を施さないとカーボンナノチューブは凝集し沈殿してしまう。ところが、区間Ｂの領域では、カーボンナノチューブないしその凝集体相互間にカーボンナノチューブの架橋が存在し、かかる架橋に寄与するカーボンナノチューブが分散剤の役割を果たすため、分散液が安定化し、攪拌が少なくても、さらには攪拌無しでもカーボンナノチューブが沈殿することなく、カーボンナノチューブのネットワーク形状が保持される。
【００６９】
このネットワーク形状は、極めて強固であり、分散媒を除去しても、密度の向上は生じるものの相互の繋がりの状態は保持される。逆に、分散媒を添加して分散液中のカーボンナノチューブ濃度を低下させても、密度の低下は生じるものの相互の繋がりの状態は保持される。図１の一点鎖線のグラフ▲２▼は、カーボンナノチューブ濃度をＹまで上昇させた後、分散媒を添加して再度カーボンナノチューブ濃度をＺまで落とした時の、カーボンナノチューブ濃度−分散液粘度直線であり、区間Ｂの領域を経ない同濃度Ｚの分散液に対して、記号Ｄで示される分だけ高い粘度を示す。このように、一旦区間Ｂの領域に達し、カーボンナノチューブのネットワーク形状が形成された分散液は、その後カーボンナノチューブ濃度を低下させても前記ネットワーク形状は保持され、密度低下による粘度の低下は見られるものの、架橋状態に由来する高い粘度を示す。
【００７０】
なお、図１のグラフ▲１▼は、分散されたカーボンナノチューブの太さ・長さが均一であるモデル的なカーボンナノチューブ分散液を想定した場合のものであり、カーボンナノチューブの太さ・長さにばらつきがある場合には、図１の点線のグラフ▲３▼のような軌跡を描き、明確な臨界点を見出すことは困難である。ただし、同様の傾向が見られ、カーボンナノチューブ濃度−分散液粘度曲線の傾きが、区間Ａの領域に比べ区間Ｂの領域では急峻となる。すなわち、区間Ｂの領域における分散液中には、カーボンナノチューブないしその凝集体相互間にカーボンナノチューブの橋渡しが存在する、いわゆるネットワークが形成されている。
【００７１】
本発明は、以上のようにして得られた、ネットワークが形成されている分散液を用い、カーボンナノチューブのネットワークが形成されたカーボンナノチューブ構造体により構成された配線を製造することを特徴とするものである。
すなわち、本発明は、低粘度の分散媒にカーボンナノチューブを分散させた高粘度分散液を、カーボンナノチューブ構造体により構成された配線に応じたパターニングに従って設けられた複数の凸部により形成された経路構造を有する平面基板上に供給し、前記複数の凸部を前記カーボンナノチューブにより電気的または磁気的に接合するとともに、カーボンナノチューブ相互間に電気的または磁気的な接続状態を含むネットワークを形成させることにより、前記経路構造に沿って前記カーボンナノチューブ構造体の前記配線を形成することを特徴とするカーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法、並びに、前記ネットワークからなることを特徴とするカーボンナノチューブ構造体の配線およびそれを用いたカーボンナノチューブデバイスである。
【００７２】
ここで「高粘度分散液」とは、図１のグラフ▲１▼および▲３▼の区間Ｂの領域における分散液、または、当該分散液に対して分散媒を添加したり、分散媒をある程度除去したりして、カーボンナノチューブ濃度を事後的に調整した状態の分散液のことを指し、カーボンナノチューブ分散液そのものが所定の粘度以上であることを指すものではない。換言すれば、本発明に言う「高粘度分散液」とは、分散液中にカーボンナノチューブないしその凝集体相互間にカーボンナノチューブの橋渡しが存在し、カーボンナノチューブのネットワークが形成されている分散液を言う。例えば、図１における、グラフ▲１▼のカーボンナノチューブ濃度Ｙの分散液に対して分散媒を添加し、カーボンナノチューブ粘度が若干低下した、グラフ▲２▼における区間Ａの領域の分散液であっても、区間Ｂの領域を経ない同濃度の分散液であるグラフ▲１▼の分散液に対して、相対的に「高粘度」と言い得るものであり、本発明に言う「高粘度分散液」の範疇に含まれる。
【００７３】
また、本発明で用いる分散媒を、「低粘度分散媒」と称する場合がある。分散媒が「低粘度」とは、高粘度分散液における「高粘度」に対応する言葉であり、「分散媒の粘度自体が高粘度であるがゆえに、その分散液が高粘度となる場合」を排除することを意味する。したがって、分散媒についても、そのものが所定の粘度以下であることを指すものではない。
【００７４】
なお、本発明において形成されるカーボンナノチューブのネットワーク形状は、必ずしもカーボンナノチューブ相互間が物理的に接触していなくてもよく、カーボンナノチューブ構造体の有用性を考慮すると、少なくともカーボンナノチューブ相互間に電気的または磁気的な接続状態が含まれればよい。
【００７５】
ここで、「ネットワーク」とは、複数のカーボンナノチューブ相互間に電気的または磁気的に接続された接合部を含み、当該接合部で繋がれたカーボンナノチューブの環状体が存在し、かつ、該環状体を包摂する（該環状体と重なり合う）状態の、前記接合部で繋がれたカーボンナノチューブの環状体が、２以上見出される形状を言う。
【００７６】
図２を用いて説明する。図２には、カーボンナノチューブの集合体の一例が示されている。複数のカーボンナノチューブＮ１〜Ｎ９の相互間で交差している部分が接合部であるが、既述の如く当該接合部は物理的に接触していなくても、電気的または磁気的に接続されていればよい。
【００７７】
図２に示されるカーボンナノチューブの集合体には、まずＮ１〜Ｎ３の３つのカーボンナノチューブにより形成される環状体Ｃ１が存在する。また、Ｎ１、Ｎ４、Ｎ５およびＮ３の４つのカーボンナノチューブにより形成される環状体Ｃ２が存在する。さらに、Ｎ１、Ｎ２、Ｎ９、Ｎ８、Ｎ７、Ｎ６およびＮ３の７つのカーボンナノチューブにより形成される環状体Ｃ３が存在する。
【００７８】
３つの環状体の関係について検討すると、環状体Ｃ２は環状体Ｃ１を包摂する状態となっている。また、環状体Ｃ３も環状体Ｃ１を包摂する状態となっている。すなわち、環状体Ｃ１を包摂する（環状体Ｃ１と重なり合う）状態で存在する、環状体Ｃ２および環状体Ｃ３の２つの環状体が見出される。つまり、図２に示されるカーボンナノチューブの集合体は、本発明に言う「ネットワーク」の概念に含まれるものである。
【００７９】
なお、図２中には他にも環状体が存在するが、ネットワークの定義を確認するためには、少なくとも任意の３つの環状体が既述の関係を有していればよく、図２に示される状態においては、３つの環状体Ｃ１〜Ｃ３のみを検討すればよい。
得られた本発明のカーボンナノチューブ構造体は、カーボンナノチューブが相互に接触しているため、ＳＥＭ観察においても金属蒸着を施すことなく、カーボンナノチューブの構造を詳細に調べることができる。
【００８０】
本発明のカーボンナノチューブ構造体は、微小粒子等を細密充填させたものと異なり、カーボンナノチューブ相互が交差あるいは束を形成する作用を有するため、前記高粘度分散液中のカーボンナノチューブ濃度が低く、得られるカーボンナノチューブ構造体におけるカーボンナノチューブの密度が低い場合においても、カーボンナノチューブのネットワークによる高い電気伝導性または磁気特性を付与させることができる。
【００８１】
また、本発明による付帯効果として、高い光透過性を挙げることができる。微小粒子等で基板表面に電気伝導性を付与しようとする場合には、細密充填させて基板表面全体を被覆しなければならないが、カーボンナノチューブを用いれば、基板表面全体を被覆する必要がないために、カーボンナノチューブの存在していない基板表面の隙間が多く、光を容易に透過させることができる。
【００８２】
Ｐｈｙｓ．Ｒｅｖ．Ｂ ６２ Ｒ２３０７（２０００）で報告されているように、カーボンナノチューブ相互間の電気伝導は、カーボンナノチューブ内部における電気伝導よりも低く、その特性を利用すれば、これまでにない微小な電気配線および電気回路がカーボンナノチューブを用いて作製できる可能性が示唆されている。したがって、本発明のカーボンナノチューブ構造体の配線によれば、微細なハンドリングを必要とせずに、大規模な電子回路が作製できるようになり、非常に高い工業的価値を見出すことができる。
【００８３】
カーボンナノチューブは細く長い形状であるため、前記高粘度分散液から前記分散媒を除去した後に形成されるカーボンナノチューブ構造体は、特別な化学処理を施さなくても、物体表面との間に働くファン・デル・ワールス力（物質間力）やカーボンナノチューブ相互間のからみあいによって、物体表面に付着するようになる。そのため、例えば、さらにカーボンナノチューブ構造体の層を繰り返し形成することもでき、多層膜で構成されたカーボンナノチューブデバイスを作製することもできる。また、形成されたカーボンナノチューブ構造体がネットワーク化されるため、カーボンナノチューブ相互間の物質間力や絡み合いによりネットワークは解けにくく、特に後述の捕獲部位においては、捕獲部位とカーボンナノチューブとの物質間力によりネットワークは物体面に貼り付いた状態で、巨大な分子のように振る舞い、カーボンナノチューブネットワークは、再溶解しにくくなる。
【００８４】
さらに、カーボンナノチューブ構造体を含む層（以下、「カーボンナノチューブ構造体層」という。）を複数設け、かつ各カーボンナノチューブ構造体層間にも異なる特性の物質を挿入することもできる。例えば、各カーボンナノチューブ構造体層間に絶縁体層を配置して層間を絶縁したり、半導電性や導電性の物質を挿入して電子や電流のやり取りなどの層間での相互作用を行ったり、層内部に構造を設けることにより、層間で相互作用できる特定の部分（信号チャンネル）を形成したり、等、各種積層構造を構成することで、新規な多機能デバイスを作製することができる。
【００８５】
＜カーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法＞
本発明のカーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法は、低粘度の分散媒にカーボンナノチューブを分散させた高粘度分散液を、カーボンナノチューブ構造体により構成された配線に応じたパターニングに従って設けられた複数の凸部により形成された経路構造を有する平面基板上に供給し、前記複数の凸部を前記カーボンナノチューブにより電気的または磁気的に接合するとともに、カーボンナノチューブ相互間に電気的または磁気的な接続状態を含むネットワークを形成させることにより、前記経路構造に沿って前記カーボンナノチューブ構造体の前記配線を形成することを特徴とすることを特徴とする。
【００８６】
本発明において用いることができる分散媒としては、既述の如く所定の粘度以下であることは要求されず、また、カーボンナノチューブは有機溶剤不溶性であるため、特に制限は無く、後述の他の物体を分散させる場合には、当該他の物体を溶解してしまうことの無い液体を選択すればよい。ただし、カーボンナノチューブを良好に分散させるためには、やはり低粘度であることが好ましい。前記分散媒に望まれる粘度としては、０．１Ｐａ・Ｓ以下であることが好ましく、０．００００１〜０．０１Ｐａ・Ｓの範囲であることがより好ましい。
【００８７】
具体的な分散媒の例としては、水、界面活性剤を含む水溶液、イオンを含む水溶液、高分子を含む水溶液、炭素数が１〜３０までの炭化水素類、アルコール類、エーテル類、ケトン類、ベンゼン、ジクロロベンゼンあるいはトルエンなどの芳香族類、またはそれらの混合溶液を挙げることができる。
【００８８】
また、これら分散媒中には、分子会合しやすい分子を含ませることも可能である。かかる分子会合の効果によれば分散媒の粘度を調節することができ、そのため所望の粘度となるように分子会合しやすい分子を適度に含ませて使用することができる。
これら分散媒では、その粘度の温度依存性を利用してもよく、所望の粘度となるように分散媒の温度を調節して使用することができる。
【００８９】
本発明において使用するカーボンナノチューブとしては、ＳＷＮＴでもＭＷＮＴでもよい。一般に、ＳＷＮＴのほうがフレキシブルであり、ＭＷＮＴになるとＳＷＮＴよりはフレキシブルさが失われ、多層になればなるほど剛直になる傾向にある。ＳＷＮＴとＭＷＮＴとは、その性質を考慮して、目的に応じて使い分けることが望ましい。
【００９０】
適用可能なカーボンナノチューブの長さとしては、特に限定されるものではないが、一般的に１０ｎｍ〜１０００μｍの範囲のものが用いられ、１００ｎｍ〜１００μｍの範囲のものが好ましく用いられる。カーボンナノチューブの直径（太さ）としては、特に限定されるものではないが、一般的に１ｎｍ〜１μｍの範囲のものが用いられ、カーボンナノチューブに適度なフレキシブルさが望まれる用途に対しては、３ｎｍ〜５００ｎｍの範囲のものが好ましく用いられる。
【００９１】
カーボンナノチューブは、製造したままの状態では、アモルファスカーボンや触媒等の不純物が混在するため、これらを精製して取り除いておくことが好ましい。ただし、本発明は、不純物の存在によって、その効果が制限されるものではない。
【００９２】
高粘度分散液は、前記分散媒にカーボンナノチューブを分散させることで調整されるが、カーボンナノチューブ相互の凝集力が強いことから、カーボンナノチューブの分散初期の段階（図１のグラフ▲１▼または▲３▼における区間Ａの領域）においては、凝集沈殿が生じないよう強い攪拌が望まれる。具体的には、超音波分散機、攪拌子分散機、攪拌羽分散機、震動ミキサー、シェーカー等により分散することが好ましく、特に超音波分散機により分散することが好ましい。具体的な超音波分散機の出力としては、前記分散媒１ミリリットル当たり０．１Ｗ以上とすることが好ましく、０．５〜１０Ｗの範囲とすることがより好ましい。
【００９３】
前記高粘度分散液の調製に際し、カーボンナノチューブの分散性向上を企図して、前記分散媒に、必要に応じて界面活性剤などの分散剤を添加することもできる。
以上のように分散媒を強く攪拌しながらカーボンナノチューブを徐々に添加して行く。すると、図１のグラフ▲１▼または▲３▼に示されるように、あるカーボンナノチューブ濃度（図１における臨界点Ｘ）において、粘度の上昇の度合いが急峻になる。そのままカーボンナノチューブを添加し続けると、分散液は、高分子溶液や増粘剤を含む溶液のように高い粘性を示すようになる。この状態の分散液が、本発明に言う高濃度分散液である。
【００９４】
高濃度分散液の粘度としては、カーボンナノチューブの種類・長さ・太さ、分散媒自体の粘度等により大きく変動するため、好ましい値は適宜選択される。また、臨界点Ｘもこれらの条件により大きく変動する。例えば、分散媒として水を用い、平均として長さ５μｍ、太さ４ｎｍのＳＷＮＴを分散させた場合には、臨界点Ｘはカーボンナノチューブ濃度１〜１０ｇ／リットルの範囲内程度であり、高濃度分散液の粘度としては、０．００１Ｐａ・Ｓ以上であることが好ましく、０．００２〜０．０２Ｐａ・Ｓの範囲であることがより好ましい。しかし、より長いカーボンナノチューブを用いた場合には、より低い粘度でカーボンナノチューブのネットワークが形成されるため、好ましい粘度範囲はかなり低い値となる。特に、カーボンナノチューブの使用量低下を考慮すると、良好なネットワークが形成されつつ低い粘度とすることが望ましい。また、カーボンナノチューブ構造体に透明度（後述）が要求される場合にも、低い粘度とすることが望まれる。カーボンナノチューブの使用量低下や透明度の要求に対しては、高粘度分散媒の粘度を低く抑える他、一旦カーボンナノチューブのネットワークを形成させた上で分散媒を添加し、濃度を下げることも有効である。
【００９５】
言い換えると、前記高粘度分散液におけるカーボンナノチューブの濃度を調整することによって、製造されるカーボンナノチューブ構造体におけるカーボンナノチューブの数量を制御することができる。つまり、製造されるカーボンナノチューブ構造体において多数のカーボンナノチューブからなる密度の高いネットワークを形成したい場合には、前記高粘度分散液におけるカーボンナノチューブの濃度を上げてやればよい。逆に、製造されるカーボンナノチューブ構造体において少数のカーボンナノチューブからなる密度の低いネットワークを形成したい場合には、前記高粘度分散液におけるカーボンナノチューブの濃度を下げてやればよい。カーボンナノチューブの濃度を下げるには、一度高濃度のものを調製してから、分散媒を加えて濃度を下げることが好ましい。
【００９６】
前記高粘度分散液には、さらに他の物体を分散させておくこともできる。該他の物体を分散させておくことで、最終的に得られるカーボンナノチューブ構造体中に前記他の物体を混在させることができ、当該他の物体の機能に応じた機能をカーボンナノチューブ構造体に付与することができる。
【００９７】
前記他の物体として、電気的にも磁気的にも影響を及ぼさないものを用いた場合には、スペーサーとして機能させることができる。すなわち、高濃度分散液中に形成されたカーボンナノチューブのネットワークの間隙に前記他の物体を配置することで、分散媒を除去してカーボンナノチューブ構造体を得た際に、カーボンナノチューブ同士の間に形成される空隙は収縮するが、当該空隙に前記他の物体が配置されていれば、スペーサーとして機能し、カーボンナノチューブ同士の間に形成される空隙の距離を保つことができる。
【００９８】
前記スペーサー的機能を有する他の物体としては、特に制限は無く、例えば、粒子、繊維、結晶、凝集体等が挙げられる。
前記スペーサー的機能を有する他の物体として利用可能な粒子としては、ポリマーなどの有機物、セラミックスや金属などの無機物、あるいはその双方を含む複合物質等が挙げられる。また、粉砕で砕かれることで製造されるものでも、物理的あるいは化学的に制御することで大きさを制御して製造されるものでも、どちらもその目的に応じて使用することができる。
前記スペーサー的機能を有する他の物体として利用可能な繊維としては、ポリエステルやナイロンなどの人工繊維、綿など自然繊維、くもの糸などの生体の繊維等が挙げられる。
【００９９】
前記スペーサー的機能を有する他の物体として利用可能な結晶としては、微細な分子や原子や粒子が充填した内部構造のものや、規則正しく配列した構造のもの等が挙げられる。具体的には、金属結晶、非金属結晶、イオン結晶、分子性結晶、粒子結晶等が挙げられ、自然界に安定に存在し得るものであれば用いることができる。
【０１００】
前記スペーサー的機能を有する他の物体として利用可能な凝集体としては、原子が凝集したアモルファス、分子が凝集した分子凝集体、粒子が凝集した粒子凝集体、とそれらの複数種類が凝集した複合凝集体等が挙げられるが、これらは微細な分子や原子や粒子が集合した状態であり、内部の配列規則は特定できない。
【０１０１】
前記スペーサー的機能を有する他の物体の形状としては、得ようとするカーボンナノチューブ構造体の構造制御を目的として、各種形状のものが選択される。各種形状のものを容易に作製可能な、ポリマー製の微小体が好ましい。特に、市場から容易に入手可能であり、その大きさや形状を制御しやすい、ラテックス製の微小体を用いることが好ましい。ラテックス製の微小体は、化学的に合成して製造されるものであるため、化学的に表面修飾させやすく、カーボンナノチューブ構造体としたときに所望の特性に制御しやすいといったメリットもある。
【０１０２】
ポリマー製の微小体におけるポリマーとしては、各種熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂等を挙げることができる。
前記スペーサー的機能を有する他の物体としては、上記の如く、各種形状を取ることが可能であり、また、カーボンナノチューブ構造体の構造制御のため各種形状を選択することができるが、カーボンナノチューブが固着し難い形状とするためは、球形であることが好ましい。
【０１０３】
前記スペーサー的機能を有する他の物体の球相当平均径としては、特に制限は無く、目的に応じて適宜選択すればよいが、概ね１０ｎｍ以上１０００μｍ以下であることが好ましく、２０ｎｍ以上１００μｍ以下であることがより好ましく、５０ｎｍ以上１０μｍ以下であることがさらに好ましい。
【０１０４】
一方、前記他の物体として、電気伝導性または磁気特性に関与する等、機能性を有するもの（例えば機能分子）を用いた場合には、当該機能に応じた機能をカーボンナノチューブ構造体に付与することができる。
前記機能性を有する他の物体を前記カーボンナノチューブ相互の間隙または近傍に配置させて構造化することで、得られるカーボンナノチューブ構造体に種々の機能を付与することができる。
【０１０５】
前記機能性を有する他の物体としては、例えば、原子、分子、イオン、粒子、ポリマー、生物体から抽出された分子や組織などが挙げられ、その性質としては、絶縁性、導電性、半導電性（半導体特性および電気抵抗特性のいずれをも含む概念とする。）、吸光性、発光性、発色性、伸縮性、発電性、光電性などの特性を有するものが挙げられる。これら特性が、温度や湿度や雰囲気ガスによって変化するものであってもよい。
【０１０６】
また、機能性分子や機能微粒子など、設計された機能を有するものでもよい。近年、分子や微粒子の多くには半導体特性が多く見出されており、スイッチング機能やメモリー機能などを、カーボンナノチューブの接触部分あるいは凝集部分に付与することができる。
【０１０７】
機能性分子としては、分子内部に電荷の偏りのある分子が好ましく、電荷供与性のある分子種と、電荷受容性のある分子種とを組み合わせた分子、対称的な分子に電荷供与性あるいは電荷受容性のある分子種を組み合わせた分子、それらの繰り返しからなる巨大分子、あるいはそれら分子の集合により機能させられる分子集合体等が挙げられる。なお、上記電荷供与性および電荷受容性は、電子親和力やイオン化ポテンシャルの値で定義することができる。
また、ＤＮＡ、コラーゲンなどの生体分子、あるいは生体に模倣した人工分子を使用してもよく、生体に類似した機能を付加することが可能となる。
【０１０８】
機能微粒子としては、金などの金属微粒子、ＺｎＯ2、ＴｉＯ2などの金属酸化物微粒子、合金からなる金属間化合物微粒子、フラーレン等の炭素原子の組織体、フラーレンの誘導体、ポリマー粒子、溶液中のミセル構造体、コロイド粒子、脂質からなるベシクル、セラミックス、デンドリマー等が挙げられ、用途に応じてそれらの複合体あるいはそれらに処理を施したものを使用できる。
【０１０９】
例えば、機能微粒子として金のナノ粒子を用いた場合、カーボンナノチューブによる導電性ネットワークの特性改善を図ることができる。
機能性分子や機能微粒子としての粒子は、カーボンナノチューブと分散媒とで高粘度分散液を調製した後に、添加することが好ましい。
機能性分子や機能微粒子は、非常に小さいためハンドリングが困難であり、その正確な配置に関しては、化学官能基による修飾などにより、相互認識的に適切な配置を取り得るように設計することが好ましい。
【０１１０】
前記機能性を有する他の物体としては、その少なくとも一部を、カーボンナノチューブ相互の間隙に配置させることができる。カーボンナノチューブ相互の間隙に配置させることで、既述の如き機能性の付与が適切に為される。このとき、前記機能性を有する他の物体の少なくとも一部が、カーボンナノチューブ相互を橋渡しする架橋機能を有することも望ましい態様である。すなわち、前記機能性を有する他の物体によりカーボンナノチューブ相互を橋渡しすることで、カーボンナノチューブの構造体を、全体として１つの分子構造に似た状態とすることができ、既述の機能性が全体として高い次元で付与されるほか、前記機能性を有する他の物体の有する架橋機能により、構造化して配置されたカーボンナノチューブ相互を緊結し、構造体としてカーボンナノチューブ構造体を強固に固定化することができる。
【０１１１】
架橋機能に関しては、カーボンナノチューブと接合して離れにくくなる特性の部位を２つ以上有する原子、分子、イオン、粒子、繊維であればよい。カーボンナノチューブ自体にも処理を施しておくとより好ましい。例えば、カーボンナノチューブを強酸溶液で処理すると、カルボニル基（ＣＯＯＨ）を有するカーボンナノチューブとなるが、この場合には、水酸基（ＯＨ）やアミノ基（ＮＨ2）やメルカプト基（ＳＨ）などのカルボニル基と反応しやすい官能基を含む分子により、容易に架橋させることができる。
【０１１２】
また、このカルボニル基など水溶性の官能基を含むカーボンナノチューブは、水溶液中でイオン化状態にでき、多価のイオンにより架橋構造を導入することができる。例えば、カルボン酸をイオン化させた状態（ＣＯＯ-）に対してはカルシウムイオン（Ｃａ2+）、マグネシウムイオン（Ｍｇ2+）、アルミニウムイオン（Ａｌ3+）などの多価のイオンを利用することができる。
【０１１３】
高粘度分散液は、以上のようにして得られるが、カーボンナノチューブには、触媒金属やアモルファスカーボン等のカーボンナノチューブ以外の炭素構造体などが含まれる場合も多いため、強酸処理によって触媒金属を溶出させたり、電気泳動やクロマトグラフィーなどによってアモルファスカーボンなどのナノチューブ以外の炭素構造体を除いておくことが好ましい。
【０１１４】
以上のようにして得られた高粘度分散液から、前記分散媒を除去することで、カーボンナノチューブ相互間に電気的または磁気的な接続状態を含むネットワークを形成させ、カーボンナノチューブ構造体を製造する。
前記分散媒の除去方法としては、分散媒を遠心力等により物理的に除去したり、加熱あるいは放置することで分散媒を蒸発させたりすることにより行われる。
【０１１５】
前記分散媒は、所定の捕獲部位に接触させた状態で、除去される。ここで、「捕獲部位」とは、複数の凸部により形成された経路構造を有する平面基板上の部位を言う。また、「所定の捕獲部位」と言う場合には、カーボンナノチューブ構造体を固着させたい物体の部位を指す。
【０１１７】
前記分散媒を所定の捕獲部位に接触させる方法としては、特に限定されず、一般的な塗布方法をいずれも適用することができる。適用可能な塗布方法としては、例えば、スピンコート、ディップコート、カーテンコート、ロールコート、刷毛塗り、スプレーコート等が挙げられる。中でも均質な薄膜状のカーボンナノチューブ構造体を得ることが容易なスピンコートが特に好ましい。
【０１１８】
また、前記高粘度分散液を所定の捕獲部位に流しかける（本発明において、前記高粘度分散液を文字通り流しかける場合の他、ディップコート等の通常の手段で塗布した後、前記高粘度分散液が捕獲部位から流れるようにする場合も「流しかけ」の概念に含めることとする。なお、不要な前記高粘度分散液が捕獲部位から流れるようにしておけばよく、必ずしも重力に対して捕獲部位に傾きを持たせておく必要は無い。）ことで、前記高粘度分散液を所定の捕獲部位に接触させつつ捕獲部位を通過させることもできる。この場合、カーボンナノチューブのネットワークが前記高粘度分散媒中に形成されているため、流しかける速度をあまり大きくしない限り（例えば、平板基板の傾斜角度をあまり大きくさせ過ぎない限り）、流しかけた方向にしたがってカーボンナノチューブ構造体を所定の捕獲部位に固着させて形成することができる。
【０１１９】
前記捕獲部位は高粘度分散液と接触する経路構造を含むため、前記高粘度分散液を前記経路構造に通過させることで前記捕獲部位に接触させ、前記経路構造に沿ってカーボンナノチューブを配置することができる。この場合、前記経路構造を所望の形状としておけば、所望の形状にカーボンナノチューブのネットワークが形成されたカーボンナノチューブ構造体の配線を形成することができる。
【０１２０】
前記経路構造としては、一般的には、例えば、以下（１）および（２）の２つの態様を挙げることができる。なお、下記（１）および（２）の態様のうち、平面基板上に凸部を設ける（１）の態様が本発明の実施形態である。また、平面基板上に凹部を設ける（１）の態様、及び、（２）の態様については、参考例として以下に記載する。
（１）平面基板上に凹部または凸部を設けることで、前記経路構造を形成する。
平面基板上に、凹部または凸部の物理的な形状を設けた上で、前記高粘度分散液を流しかけると、前記平面基板上の凹部自体、あるいは、凸部相互間に形成された凹部に前記高粘度分散液が流れ込み、通過する。すなわち、凹部または凸部を適当にパターニングすることで経路構造を形成しておけば、前記高粘度分散液は、当該経路構造を通過して行き、当該経路構造に沿ってカーボンナノチューブが配置される。
【０１２１】
平面基板上に凹部または凸部を設けた場合について、図を用いて説明する。
図３は、平面基板２上に凹部４がパターニングされて経路構造が設けられている状態を表す斜視図である。この平面基板２上に、矢印６方向に高粘度溶液を流しかけると、経路構造となった凹部４に前記高粘度分散液が流れ込み、矢印８方向に流れ、通過する。この通過により、経路構造となった凹部４に沿ってカーボンナノチューブが配置され、カーボンナノチューブのネットワークが形成されたカーボンナノチューブ構造体が形成される。
【０１２２】
また図４（ａ）は、平面基板１２上に凸部１０がパターニングされて経路構造が設けられている状態を表す斜視図である。この平面基板１２上に、任意の方向から高粘度溶液を流しかけると、該高粘度溶液は凸部１０に衝突しながら通過する。このとき、図５に示すように、高粘度溶液中の各カーボンナノチューブ１４が矢印１６方向に進行した場合、凸部１０に衝突した際にこれに引っかかり、カーボンナノチューブのネットワーク全体がここに滞留する。したがって、凸部１０に引っかかるようにして、カーボンナノチューブ構造体が形成される。この場合には、高粘度溶液を流しかける速度を大きくしも（例えば、平板基板の傾斜角度を大きくしても）、カーボンナノチューブが凸部１０に引っかかるようにして、経路構造に沿ってカーボンナノチューブ構造体を形成することができる。
【０１２３】
この態様においては、凸部１０のパターニングを図４（ｂ）あるいは図４（ｃ）に示すように適宜選択することができ、そのパターニングに応じたカーボンナノチューブ構造体を形成することもできる。図４（ｂ）のパターニングは、凸部１０を直列的に配置し、その列の間をある程度空けた例である。この場合、高粘度溶液を流しかける方向によっても、得られるカーボンナノチューブ構造体の形状をコントロールすることができる。
【０１２４】
図４（ｃ）のパターニングは、凸部１０の密度を場所により変えた例である。この場合、凸部１０の密度の高い部位に、よりカーボンナノチューブ密度の高いカーボンナノチューブ構造体を形成することができる。
凸部１０としては、基板を作製する際に同時に、表面に凸部を形成してもよいし、凸部となり得る物体、例えば粒子を平面基板に付着させることで形成することもできる。
【０１２５】
平面基板上に設ける凹部（凸部相互間に形成された凹部を含む）相互間の間隔としては、カーボンナノチューブあるいはその束状のものの長さよりも短いと、効率的に凹凸構造に捕らえられるようになる。このとき非常に希釈された高粘度分散液を用いた場合にも、繰り返し衝突によりカーボンナノチューブを堆積させることができ、高い濃度の高粘度分散液を用いたときと同様、高い電気伝導性を付与することができる。
【０１２６】
凹部または凸部の形状としては、カーボンナノチューブを捕らえることのできる構造を意図的に形成したものとすることもできる。例えば、図６（ａ）のようにコの字型の凸部２０を設けておけば、矢印１８方向からカーボンナノチューブ２４のネットワークを含む高粘度溶液を流しかけた場合、凸部２０のコの字型の内側の部分にカーボンナノチューブ２４が捕らえられたカーボンナノチューブ構造体を形成することができる。また、図６（ｂ）のようにニの字型の凸部３０を設けておけば、矢印２８方向からカーボンナノチューブ３４のネットワークを含む高粘度溶液を流しかけた場合、凸部３０のニの字型の間隙における流速が遅くなり、ここにカーボンナノチューブ３４が捕らえられたカーボンナノチューブ構造体を形成することができる。この効果を応用すれば、カーボンナノチューブを配線とした電子回路を作製することも可能である。
【０１２７】
さらに、平面基板表面に凹部または凸部の構造があると、平面基板表面の凹部自体、あるいは、凸部相互間に形成される凹部にカーボンナノチューブが存在する状態となり、カーボンナノチューブは隣接する凸部にカバーされた状態となり、何らかの要因により擦られたり、引っかかれたりしても、カーボンナノチューブ構造体が破壊されなくなり、工業的な利用価値が高い。
【０１２８】
このように、平面基板表面の凹部自体、あるいは、凸部相互間に形成される凹部は、高粘度分散媒が通過する経路構造として利用することができ、高粘度分散媒が通過した部分にのみ導電経路を作製することができる。
なお、平面基板表面に凹部または凸部を形成した場合、凹部相互間に形成される凸部、あるいは、凸部自体のみに高粘度分散液を接触させるように、高粘度分散液に漬ける、いわゆるスタンピングを行えば、これら凸部を捕獲部位とすることができ、当該凸部にカーボンナノチューブ構造体を固着することもできる。
【０１２９】
（２）平面基板上に前記分散媒に対する親液性の異なる表面状態に平面基板上をパターニングすることで、前記経路構造を形成する。
平面基板上に、前記分散媒に対する親液性の異なる表面状態に平面基板上をパターニングした上で、前記高粘度分散液を流しかけると、親液性の高い部位に前記高粘度分散液中のカーボンナノチューブが残りやすく、親液性の低い部位には残りにくくなる。ここで「前記分散媒に対する親液性」とは、前記分散媒との馴染みやすさのことを指し、前記分散媒が水である場合には、親水性のことを意味する。すなわち分散媒として水系媒体を用いた場合には、親水性の部位と疎水性の部位とを所望の形状にパターニングすることで、所望の形状のカーボンナノチューブ構造体を形成することができる。
【０１３０】
親液性の調整は、親液性の高い平面基板を用い、これに前記分散媒との馴染みが悪くなるような処理をパターニングしたり、逆に、前記分散媒との馴染みが悪い平面基板を用い、これに親液性を向上させる処理をパターニングすること等により行うことができる。勿論、両処理とも行ってもよい。これら処理の手法としては、特に限定されず、従来公知の方法を全て採用することができる。例えば、前記分散媒として水系媒体を用いる場合には、従来公知の撥水化処理、親水化処理を問題無く採用することができる。
【０１３１】
本例においては、基本的に、親液性の高い部位にカーボンナノチューブ構造体が形成され、親液性の低い部位には形成されない。ただし、親液性の低い部位を挟んで隣接する親液性の高い部位相互の間隔が、カーボンナノチューブの一本あるいはカーボンナノチューブの束の長さよりも短い場合には、親液性の高い部位の作用により、中間の親液性の低い部位にもカーボンナノチューブ構造体を形成することができるようになる。
【０１３２】
前記捕獲部位としては、平面基板上に粒子状または膜状の金属を配置したものを挙げることができる。平面基板上に、粒子状の金属を配置した上で、前記高粘度分散液を流しかけると、粒子状の金属に衝突したカーボンナノチューブが引っかかる。また、平面基板上に、膜状の金属を配置した上で、前記高粘度分散液を流しかけると、金属が親液性（特に親水性）が高いことから、金属以外が配置された以外の平面基板上の表面が親液性が低ければ、膜状の金属の部位にのみ前記高粘度分散液中のカーボンナノチューブが残りやすい。すなわち、前者は既述の（１）の態様の、後者は既述の（２）の態様のそれぞれ変形例と言うことができる。
【０１３３】
また、金属以外が配置された以外の平面基板上の表面も親液性を高めておけば、平面基板表面全面にカーボンナノチューブ構造体を形成することができ、パターニングされた金属の粒子相互間、パターニングされた金属の膜相互間、さらには、前記粒子と前記膜との間、の間隙を前記カーボンナノチューブ構造体のネットワークにより、電気的または磁気的に接続することもできる。
【０１３４】
このとき、例えば金属の凹凸構造のサイズを大きくすること、その分布密度を高く設定することによれば、カーボンナノチューブ構造体が同じ構造であっても、得られるカーボンナノチューブと金属との複合体は、高い電気または磁気伝導を示すようになる。また、逆に前記サイズを小さくしたり、その分布密度を低くすれば、それら複合体は低い電気伝導を示すようになる。
【０１３５】
図７（ａ）は、平面基板４２の全面（片面）に金属膜４４を形成したものであり、図７（ｂ）は、平面基板５２の表面（片面）に縞状に金属膜５４を形成したものである。
なお、使用可能な金属としては、特に限定されないが、例えば電気配線として有用な金、銀、銅、白金、ニッケル、アルミニウム、チタンなど高い電気伝導性を示す金属や、それら合金、またはドープされて高い電気伝導性を示すシリコンやゲルマニウム等の半導体などを挙げることができる。さらに、分子性結晶、電気伝導性高分子、あるいは電荷移動錯体等やそれらにドープしたものも高い電気伝導性を有するため利用できる。
【０１３７】
＜カーボンナノチューブ構造体の配線＞
以上説明したカーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法により製造されるカーボンナノチューブ構造体の配線について、その使用態様であるカーボンナノチューブデバイスを含めて説明する。
まず、以下の各実施形態において用いた、高粘度分散液Ｗの調製方法について説明する。
【０１３８】
分散媒として水１０ミリリットルにドデシル硫酸ナトリウム０．０１ｇを加えた水溶液を用い、該分散媒１０ミリリットルを超音波分散機（出力１１Ｗ）で攪拌しながらカーボンナノチューブを徐々に添加していった。用いたカーボンナノチューブは、ＳＷＮＴであり、平均太さ４ｎｍ、平均長さ５μｍのものを用いた。
【０１３９】
カーボンナノチューブを添加して行くとその量にしたがって分散液粘度も上昇するが、図１における臨界点Ｘに相当するカーボンナノチューブ濃度において、分散液の粘度が急激に上昇するようになった。これは、約２０℃の恒温水槽中でのウベローデ粘度計を用いた粘度測定（キャピラリーを流れる分散媒の速度）により確認された。
攪拌を継続して、さらにカーボンナノチューブを添加し、カーボンナノチューブ濃度を２ｇ／リットルとした。このようにして、粘度が約２ｍＰａ・ｓの高粘度分散液Ｗを調製した。
【０１４０】
（参考例１）
図８は、カーボンナノチューブ構造体の参考例を示す模式斜視図である。平面基板６２の表面のほぼ全面にカーボンナノチューブ６４からなるカーボンナノチューブ構造体６８が固着している。長さ数μｍ〜数十μｍのカーボンナノチューブ６４が相互に接触し合って、カーボンナノチューブ６４による導電性のネットワークが形成されている。したがって、平面基板６２の表面に導電性を与えている。図９に本参考例のカーボンナノチューブ構造体６８の電子顕微鏡写真（３００００倍）を示す。なお、写真の倍率は、写真の引き伸ばしの程度により、多少の誤差が生じている。
本実施形態のカーボンナノチューブ構造体６８は、高粘度分散媒Ｗを平面基板６２の表面にスピンコートにより塗布し、乾燥することで得られる。
【０１４１】
平面基板６２として、ガラス板、雲母板あるいは石英板等のように透明の材料を用いた場合、全体としての透明性が極めて高い。炭素蒸着や金属蒸着などにより、基板表面に導電性を付与する手法が知られているが、本実施形態のようにカーボンナノチューブ構造体６８により平面基板６２の表面を導電化した場合、カーボンナノチューブで完全に被覆する必要が無く、空隙を有しているため、所定の表面導電率で比較した場合に光の透過率が非常に高い。
【０１４２】
このように、本参考例のカーボンナノチューブ構造体６８は、導電性基板、電極等のカーボンナノチューブデバイスとして用いることができる他、透明電極、透明基板等のカーボンナノチューブデバイスとしての用途をも有する。
本参考例においては、カーボンナノチューブのバンドル量（束の太さ）やネットワーク密度（分岐密度）をコントロールすることにより、導電性を自由にコントロールすることができ、さらには局所的に導電率の変化を生じさせることができる。したがって、ＬＥＤ等のような単一デバイス的用途だけでなく、平面内で多様な処理が行われるディスプレーなどの高密度複数個からなるデバイスに利用することができる。
【０１４３】
また、本参考例においては、ネットワーク中のカーボンナノチューブ６４相互間の少なくとも一部に、カーボンナノチューブ以外の物体を介在させてもよい。カーボンナノチューブ以外の物体を分散させておくことで、当該カーボンナノチューブ以外の物体の機能に応じた機能をカーボンナノチューブ構造体に付与することができる。当該カーボンナノチューブ以外の物体の機能としては、例えば、スペーサー的機能や電気伝導性または磁気特性に関与する等の機能が挙げられる。これら機能を有する物体としては、前記＜カーボンナノチューブの製造方法＞の項で、「他の物体」の説明として挙げたものがそのまま使用できる。
【０１４４】
カーボンナノチューブ以外の物体を介在させるには、前記＜カーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法＞の項で説明したように、高粘度分散液Ｗ中に前記他の物体を加えておけばよい。また、カーボンナノチューブ構造体を得た後に何らかの方法（例えば、(1)真空蒸着など物質の蒸気にさらす方法、(2)染色のように目的物質を含む溶液の滴下、あるいはその溶液中への含侵する方法、(3)温度を繰り返し上昇下降させて、熱膨張係数の違いにより微細な亀裂を生じさせて、その部分に浸透させる方法、(4)電子、原子、イオン、分子、粒子を加速して打ち込む方法）によって、前記カーボンナノチューブ以外の物体を前記カーボンナノチューブ相互の間隙または近傍に配置させてもよい。
【０１４５】
本参考例のカーボンナノチューブ構造体６８について、金属コートを施したプローブによる電流検出ＳＰＭ（走査プローブ顕微鏡）により、カーボンナノチューブ構造体６８の電気伝導を直接観察したところ、その全体が電気伝導していることが確認できた。さらに、ＳＥＭで確認し得るナノチューブのネットワーク構造よりも、密な電気伝導状態を確認することができた。
【０１４６】
さらに、本参考例のカーボンナノチューブ構造体６８を用いたカーボンナノチューブデバイスの例を図１０に挙げる。図１０のカーボンナノチューブデバイスは、図８と同一のカーボンナノチューブ構造体６８の図面上両端に、入力端子６６Ａ〜６６Ｄおよび出力端子６６Ａ’〜６６Ｄ’を設けたものである。
【０１４７】
本参考例のカーボンナノチューブデバイスは、入力端子６６Ａ〜６６Ｄの内のいずれかからの入力が多分岐されて、出力端子６６Ａ’〜６６Ｄ’の４つから出力される多分岐デバイスとして用いることができる。
両側に配置した電極を複数にして、入力端子６６Ａ〜６６Ｄおよび出力端子６６Ａ’〜６６Ｄ’間における電気伝導の値について確かめてみたところ、初期には違いが見られなかったが、特定の入出力端子の組み合わせ（６６Ｂと６６Ｃ’）にのみ、電圧（５Ｖ）を繰り返し（１０回）印加したところ、その入出力端子の組み合わせの電流値を増加させることができた。他の入出力端子の組み合わせの電流値には変化が見られなかったため、前記特定の入出力端子の組み合わせの電気伝導に関与している主なカーボンナノチューブネットワークが存在することが確認された。
【０１４８】
次に、特定の入力端子の組み合わせ（６６Ｂと６６Ｃ’）にのみ、電圧（１０Ｖ）を繰り返し（１０回）印加したところ、その入力端子の組み合わせの電流値を減少させることができた。このとき、他の入力端子の組み合わせ（６６Ｃと６６Ａ’）では電流値の増加が確認できた。前記特定の入出力端子の組み合わせの電気伝導に関与している主なカーボンナノチューブネットワークと、その他の入力端子の組み合わせの電気伝導に関与している主なカーボンナノチューブネットワークに、相互作用のあることが確認された。
本参考例のカーボンナノチューブデバイスを応用すれば、多チャンネルの入出力デバイスの学習機能を実現することができる。
【０１４９】
なお、既述の機能性を有する他の物体を取り込ませたり、カーボンナノチューブ６４同士の接触部分を改質することで、入力信号を様々に変調することもできる。また、平面基板６２の一方もしくは双方の面から磁場を与えることで、入力信号を変調することもできる。
【０１５０】
（参考例２）
図１１（ａ）は、カーボンナノチューブ構造体の参考例を示す模式平面図である。所定の平面基板７２の表面にカーボンナノチューブ７４からなるカーボンナノチューブ構造体７８が固着している。本参考例では、所望のパターニングに沿ってカーボンナノチューブ７４が配置された、カーボンナノチューブ構造体７８が形成されている。
【０１５１】
本参考例のカーボンナノチューブ構造体７８は、以下のようにして製造される。
平面基板７２として、ガラス板や雲母板等のような親水性の材料を用い、図１１（ｂ）に示すように、所望のパターニング７６となるように、平面基板７２におけるパターニング７６以外の表面に、撥水処理を施して疎水性表面を形成する。すると、パターニング７６の部分のみが親水性表面となる。なお、本参考例においては、撥水処理としてシランカップリング剤による処理を行った。
【０１５２】
分散媒として水系媒体を用いた高粘度分散液Ｗを用い、これを上記パターニングされた図１１（ｂ）に示す平面基板に流しかけると、親水性表面であるパターニング７６にのみカーボンナノチューブ７４が固着し、図１１（ａ）に示す形状のカーボンナノチューブ構造体７８が製造される。
本参考例においても、参考例１と同様、カーボンナノチューブ構造体７８中にカーボンナノチューブ以外の物体を介在させてもよいし、複数の端子を設けてもよい。
【０１５３】
このように本参考例によれば、平面基板表面に所望の形状にパターニングされたカーボンナノチューブ構造体を形成することができ、電気配線として、あるいはカーボンナノチューブ構造体自体に既述の機能を付加してデバイスとして、用いることができる。
【０１５４】
（第１の実施形態）
図１２は、本発明のカーボンナノチューブ構造体の配線の第１の実施形態を示す模式斜視図である。所定の平面基板１２の表面に設けられた金微粒子からなる凸部１０が、カーボンナノチューブ８４からなるカーボンナノチューブ構造体８８で接合された状態となっている。
【０１５５】
第１の実施形態においては、まず、図４（ａ）に示すように平面基板１２の表面に金粒子からなる凸部１０を形成した。具体的には、平面基板１２としてのガラス板の表面に金を２０ｎｍ蒸着し、その後加熱処理することで、島状に分布した金微粒子の凸部１０を形成した。これに高粘度分散媒Ｗをスピンコートして、島状の金微粒子を繋ぐ覆うように塗布して、カーボンナノチューブ構造体８８を形成した。
本実施形態においては、電気的に相互に分離していた島状の金微粒子の凸部１０は、カーボンナノチューブ構造体８８により電気的に接合されている。
【０１５６】
（参考例３）
図１３は、カーボンナノチューブ構造体の参考例を示す模式断面図である。本参考例のカーボンナノチューブ構造体は、絶縁平面基板９２の表面に、順次、参考例１と同様のカーボンナノチューブ構造体層９８Ａ、銅フタロシアニン蒸着層９６Ａ（０．１μｍ）、参考例１と同様のカーボンナノチューブ構造体層９８Ｂ、銅フタロシアニン蒸着層９６Ｂ（０．１μｍ）、参考例１と同様のカーボンナノチューブ構造体層９８Ｃが設けられてなるものである。
【０１５７】
本参考例のカーボンナノチューブ構造体は、以下のようにして製造した。
金属電極９４Ｓを片側に配置した、ガラス製の絶縁平面基板９２に対して、参考例１と同様にして、カーボンナノチューブ構造体層９８Ａを形成した。その上に、順次、銅フタロシアニンを蒸着して銅フタロシアニン蒸着層９６Ａを形成し、参考例１と同様にして、カーボンナノチューブ構造体層９８Ｂを形成し、再び銅フタロシアニンを蒸着して銅フタロシアニン蒸着層９６Ｂを形成し、さらにその上に参考例１と同様にして、カーボンナノチューブ構造体層９８Ｃを形成した。金属電極９４Ｄを片側に配置した、ガラス製の絶縁平面基板９２’を、カーボンナノチューブ構造体層９８Ｃの上に、金属電極９４Ｓと金属電極９４Ｄとが反対側の端になるように（電極間距離５ｍｍ）重ね合わせ、カーボンナノチューブ構造体層とフタロシアニン蒸着層との積層構造体を作製した。
【０１５８】
得られた積層構造体は、フタロシアニンを含まない３層のカーボンナノチューブ構造体の電気伝導性（０．００１Ω・ｍ）よりも低い電気伝導性（１ＭΩ・ｍ）を示し、フタロシアニン蒸着層を介して、異なるカーボンナノチューブ構造体層に含まれているカーボンナノチューブ構造体の電気伝導を確認することができた。
【０１５９】
さらに、図１４に示すように、基板として、ガラス製の絶縁平面基板９２から、絶縁性酸化膜を有したシリコンウエハーに代えて、同様の積層構造体を作製した。さらに、この積層構造体について、基板側にゲート電極９４Ｇを設けて、カーボンナノチューブデバイスを作製した。ゲート電極９４Ｇに電圧を印加して、金属電極間９４Ｓ，９４Ｄのソース−ドレイン電流を測定することで、電界効果トランジスターの動作を確認した。本デバイスはフタロシアニン層を含むため、その層が半導体特性を示し、電圧の印加によって電流量の増加が確認できた。
【０１６０】
（参考例４）
図１５は、カーボンナノチューブデバイスの参考例を示す模式分解斜視図である。本参考例のカーボンナノチューブデバイスは、第１の透明基板１００Ａ（５００μｍ）の表面に、順次、第１の実施形態と同様のカーボンナノチューブ構造体層１０８Ａ、電子輸送層１１０（０．２μｍ）、発光層１０６（０．０５μｍ）、正孔輸送層１０４（０．２μｍ）、参考例１と同様のカーボンナノチューブ構造体層１０８Ｂ、および第２の透明基板１００Ｂ（５００μｍ）が設けられてなるものである。本参考例のカーボンナノチューブデバイスは、積層ダイオードの機能を発現するものである。
【０１６１】
各層の詳細について説明する。
第１の透明基板１００Ａおよび第２の透明基板１００Ｂとしては、石英ガラスを使用した。ただし、本発明においては特にこれに規定されず、ソーダガラス、サファイア、雲母、アクリル等各種材料からなる透明板を用いることができる。
【０１６２】
電子輸送層１１０としては、オキサジアゾ−ル（ＰＢＤ）の溶液をスピンコートして成膜したものである。ただし、本参考例においては、特にこれに限定されず、電子写真、ダイオード素子、ＬＥＤ素子、ＥＬ素子、トランジスター素子等の分野で電子輸送層とされる各種材料からなるものを適用することができる。
【０１６３】
発光層１０６としては、トリス（８−ヒドロキシキノリノラ）アルミニウムコンプレック（ＡｌＱ３）の溶液をスピンコートして成膜したものである。ただし、本参考例においては、特にこれに限定されず、ＬＥＤ素子、ＥＬ素子、半導体レーザー等の分野で発光層とされる各種材料からなるものを適用することができる。
【０１６４】
正孔輸送層１０４としては、Ｎ，Ｎ’ビス（３−メチルフェニル）Ｎ，Ｎ’ジフェニル（１，１’ビフェニル）４，４’ジアミン（ＴＰＤ）の溶液をスピンコートして成膜したものである。ただし、本発明においては、特にこれに限定されず、電子写真、ダイオード素子、ＬＥＤ素子、ＥＬ素子、トランジスター素子等の分野で正孔輸送層とされる各種材料からなるものを適用することができる。
【０１６５】
このようにして得られたカーボンナノチューブデバイスのカーボンナノチューブ構造体層１０８Ａおよび１０８Ｂ間に電圧（１０Ｖ）を印加すると、当該デバイスの両面から発光が確認された。
【０１６６】
上記カーボンナノチューブデバイスにおいて、第１の透明基板１００Ａおよびカーボンナノチューブ構造体層１０８Ａ、並びに、第２の透明基板１００Ｂおよびカーボンナノチューブ構造体層１０８Ｂを、市販されている透明電極（石英ガラスにマグネトロンスパッタによるＩＴＯ薄膜：１．４×１０-4Ω・ｃｍ）に代えて、比較用のデバイスを製造した。この比較用のデバイスにおいても、同様に電圧を印加したところ発光が確認されたが、これに比べ、前記本参考例のカーボンナノチューブデバイスの方が輝度が高く、本参考例のカーボンナノチューブ構造体が透明電極として有用であることが確認された。
【０１６７】
（参考例５）
図１６は、カーボンナノチューブデバイスの参考例を示す模式断面図である。本参考例のカーボンナノチューブデバイスは、参考例１のカーボンナノチューブ構造体の構成に、端子１２６Ａおよび１２６Ｂを設け、さらに、カーボンナノチューブ構造体６８のネットワークの中に、発光分子（電圧の印加により発光する分子）１２２が分散配置されてなるものである。
【０１６８】
本参考例のカーボンナノチューブデバイスは、参考例１のカーボンナノチューブ構造体の構成に、端子１２６Ａおよび１２６Ｂを設けたものを、発光分子１２２が分散された下記組成の溶液に浸すことで、発光分子１２２をカーボンナノチューブ構造体６８に含浸させたものである。
【０１６９】
−溶液の組成−
・四塩化炭素： １００ミリリットル
・トルエン： ２０ミリリットル
・トリス（８−ヒドロキシキノリノラ）アルミニウムコンプレック（ＡｌＱ３）： １ｇ
【０１７０】
得られたカーボンナノチューブデバイスにおいて、カーボンナノチューブ構造体６８の電気抵抗は高くなったが、ある電圧閾値（５．５Ｖ）以上の電圧を印加したところ、カーボンナノチューブ構造体６８の発光が確認できた。観察には、倒立型の蛍光顕微鏡を使用した。これは、発光分子１２２がカーボンナノチューブ構造体６８相互の間隙に挿入されていることを示唆しており、カーボンナノチューブ構造体６８に印加した電圧が、カーボンナノチューブ構造体６８の各部分にあるカーボンナノチューブ６４を介して電圧が伝達され、発光分子１２２に電圧が印加できたことを示している。このように、本参考例のカーボンナノチューブ構造体によれば、カーボンナノチューブ配線による分子素子が実現できた。
【０１７１】
（参考例６）
図１７は、カーボンナノチューブデバイスの参考例を示す模式分解斜視図である。本参考例のカーボンナノチューブデバイスは、両端に入力端子１３４Ａ〜１３４Ｄおよび出力端子１３４Ａ’〜１３４Ｄ’が設けられた平面基板１３２の、これら端子が設けられた面に、順次、カーボンナノチューブ構造体層１３８Ａ、第１の機能有機薄膜層１３６Ａ、カーボンナノチューブ構造体層１３８Ｂ、第２の機能有機薄膜層１３６Ｂ、カーボンナノチューブ構造体層１３８Ｃ、第３の機能有機薄膜層１３６Ｃ、およびカーボンナノチューブ構造体層１３８Ｄが形成されてなるものである。
【０１７２】
各層の詳細について説明する。
平面基板１３２には、石英ガラスを用いた。
カーボンナノチューブ構造体層１３８Ａ〜１３８Ｄは、前記高濃度分散液Ｗ（カーボンナノチューブ濃度：２ｇ／リットル）を原液として、水を加えて３．５倍、３倍、２．５倍、および２倍にそれぞれ希釈した分散液を作製し、これら分散液をこの順で用いて、１３８Ａ、１３８Ｂ、１３８Ｃ、および１３８Ｄのそれぞれの層をスピンコートにより成膜したものである。
【０１７３】
第１および第２の機能有機薄膜層１３６Ａおよび１３６Ｂは、ＰＭＭＡポリマー１ｍｇをアセトニトリル１０ｍｌに溶解した溶液を用い、スピンコートにより０．２μｍの薄膜を形成したものである。なお、薄膜中から残留溶媒であるアセトニトリルの除去、および、カーボンナノチューブ構造体との密着性の向上を目的に、スピンコート後に１２０℃に加熱した。
【０１７４】
なお、機能有機薄膜層が第１層（１３６Ａ）のみのときと第２層（１３６Ｂ）を加えた時の電流特性を比べたところ、いくつかの入出力端子の組み合わせにおいて、電流値の増加が確認された。このことは、有機機能層であるＰＭＭＡを介して、ネットワーク間の一部が電磁気的に接合していることを示しており、ネットワーク全体が単純に接合されているのではなく、ＰＭＭＡによって部分的には切り離され、部分的には接合している、多層化にわたって信号伝達する高次ネットワークが形成できたことが示された。
【０１７５】
さらに機能有機薄膜層を追加して第３層（第３の機能有機薄膜層１３６Ｃ）を形成した。第３層（１３６Ｃ）は、以下のようにして形成した。アゾベンゼン２ｇをモノクロロベンゼン１００ｍｌ中に溶解し、スピンコートし薄膜を形成した。得られた薄膜の膜厚は、約１００ｎｍ以下であった。さらに同様にスピンコートして、合計２００ｎｍの膜（第３層（１３６Ｃ））を形成した。
【０１７６】
第３層を加えて得られた本実施形態のカーボンナノチューブデバイスに、上部（デバイス平面に対して法線方向）からレーザー光を入射して、アゾベンゼン分子のシス−トランス変換を誘導させたところ、ある特定の入出力チャンネルの組み合わせの電流値がレーザー照射のＯＮ−ＯＦＦに伴って増減することが確認された。レーザー光の照射位置を変えたところ、前記入出力チャンネルの組み合わせの電流値に変化が現れなくなったが、その他の入出力チャンネルの電流値がレーザー照射のＯＮ−ＯＦＦに伴って増減することが確認された。つまり、外部からの刺激によってネットワークに接続された任意の入出力チャンネルの組み合わせの電流制御が行えるデバイスを実現できた。
【０１７７】
【発明の効果】
本発明によれば、カーボンナノチューブ相互間に電気的または磁気的な接続状態を含むネットワークが、所望の面積・体積に形成されたカーボンナノチューブ構造体の配線、並びに、それが容易に得られ、カーボンナノチューブの使用量が少ないカーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法を提供することができる。また、本発明によれば、そのように有用なカーボンナノチューブ構造体の配線を用いたカーボンナノチューブデバイスを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 カーボンナノチューブの分散液におけるカーボンナノチューブ濃度と分散液の粘度との関係を表すグラフである。
【図２】 カーボンナノチューブの「ネットワーク」の概念を説明するためのカーボンナノチューブの集合体の一例を表す模式拡大図である。
【図３】 平面基板上に凹部がパターニングされて経路構造が設けられている状態を表す斜視図である。
【図４】 平面基板上に凸部がパターニングされて経路構造が設けられている状態を表す斜視図である。
【図５】 図４における平面基板上の凸部にカーボンナノチューブが滞留する理由を説明するための拡大平面図である。
【図６】 平面基板上に設けられる凸部の例を示す模式平面図であり、（ａ）は凸部の形状がコの字型、（ｂ）凸部の形状がニの字型の例である。
【図７】 平面基板の全面（片面）に金属膜を形成した状態を示す斜視図であり、（ａ）は片面の全面に、（ｂ）は片面に縞状に金属膜を形成したものである。
【図８】 カーボンナノチューブ構造体の参考例１を示す模式斜視図である。
【図９】 図８のカーボンナノチューブ構造体の電子顕微鏡写真（３００００倍）である。
【図１０】 図８のカーボンナノチューブ構造体を用いたカーボンナノチューブデバイスの例を示す模式斜視図である。
【図１１】 カーボンナノチューブ構造体の参考例２を説明するための図面であり、（ａ）はカーボンナノチューブ構造体の参考例２を示す模式平面図であり、（ｂ）は（ａ）のカーボンナノチューブ構造体を製造するために平板基板表面に設けられたパターニングを示す模式平面図である。
【図１２】 本発明のカーボンナノチューブ構造体の配線の第１の実施形態を示す模式斜視図である。
【図１３】 カーボンナノチューブ構造体の参考例３を示す模式断面図である。
【図１４】 図１３のカーボンナノチューブ構造体を用いたカーボンナノチューブデバイスの例を示す模式斜視図である。
【図１５】 カーボンナノチューブデバイスの参考例４を示す模式分解斜視図である。
【図１６】 カーボンナノチューブデバイスの参考例５を示す模式断面図である。
【図１７】 カーボンナノチューブ構造体の参考例６を示す模式分解斜視図である。
【符号の説明】
２、１２、４２、５２、６２、７２、９２ 平面基板
４ 凹部
１０、２０、３０ 凸部
１４、２４、３４、６４、７４、８４、Ｎ１〜Ｎ９ カーボンナノチューブ
６８、７８、８８ カーボンナノチューブ構造体
７６ パターニング
９６Ａ 、９６Ｂ 銅フタロシアニン蒸着層
９８Ａ 〜９８Ｃ、１０８Ａ〜１０８Ｂ、１３８Ａ〜１３８Ｄ カーボンナノチューブ構造体層
１００Ａ、１００Ｂ 透明基板
１０４ 正孔輸送層
１０６ 発光層
１１０ 電子輸送層
１２２ 発光分子
１３６Ａ〜１３６Ｃ 機能有機薄膜層
Ｃ１〜Ｃ３ 環状体
Claims (15)
- 低粘度の分散媒にカーボンナノチューブを分散させた高粘度分散液を、カーボンナノチューブ構造体により構成された配線に応じたパターニングに従って設けられた複数の凸部により形成される経路構造を有する平面基板上に供給し、前記複数の凸部を前記カーボンナノチューブにより電気的または磁気的に接合するとともに、カーボンナノチューブ相互間に電気的または磁気的な接続状態を含むネットワークを形成させることにより、前記経路構造に沿って前記カーボンナノチューブ構造体の前記配線を形成することを特徴とするカーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法。
- 前記高粘度分散液に、さらに他の物体を分散させておくことを特徴とする請求項１に記載のカーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法。
- 前記凸部を、平面基板上に粒子状の金属を配置して形成することを特徴とする請求項１又は２に記載のカーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法。
- 前記高粘度分散液におけるカーボンナノチューブの濃度を調整することによって、製造されるカーボンナノチューブ構造体におけるカーボンナノチューブの数量を制御することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１に記載のカーボンナノチューブ構造体の配線の製造方法。
- 低粘度の分散媒にカーボンナノチューブを分散させた高粘度分散液を、カーボンナノチューブ構造体により構成された配線に応じたパターニングに従って設けられた複数の凸部により形成された経路構造を有する平面基板上に供給することで形成され、前記複数の凸部が前記カーボンナノチューブにより電気的または磁気的に接合されるとともに、カーボンナノチューブ相互間に電気的または磁気的な接続状態を含むネットワークが形成されることにより、前記経路構造に沿って前記カーボンナノチューブ構造体の前記配線が形成されたことを特徴とするカーボンナノチューブ構造体の配線。
- 前記高粘度分散液に、さらに他の物体を分散させておき、前記ネットワーク中に前記他の物体が分散配置されてなることを特徴とする請求項５に記載のカーボンナノチューブ構造体の配線。
- 前記凸部が、平面基板上に粒子状の金属が配置されてなることを特徴とする請求項５又は６に記載のカーボンナノチューブ構造体の配線。
- 前記ネットワーク中のカーボンナノチューブの少なくとも一部が、相互に物理的に接触していることを特徴とする請求項５〜７のいずれか１に記載のカーボンナノチューブ構造体の配線。
- 請求項５〜８のいずれか１に記載のカーボンナノチューブ構造体の配線を含むことを特徴とするカーボンナノチューブデバイス。
- 請求項５〜８のいずれか１に記載のカーボンナノチューブ構造体の配線を含むカーボンナノチューブ構造体層が、２層以上積層されてなることを特徴とするカーボンナノチューブデバイス。
- 前記カーボンナノチューブ構造体層相互間の少なくとも１の間に、機能層が介在してなることを特徴とする請求項１０に記載のカーボンナノチューブデバイス。
- 前記機能層が機能性物体を含み、当該機能層を介して対向する前記カーボンナノチューブ構造体層の双方に含まれるカーボンナノチューブの一部同士が、前記機能性物体を介して電気的または磁気的に接続されてなることを特徴とする請求項１１に記載のカーボンナノチューブデバイス。
- 前記カーボンナノチューブ構造体の少なくとも一部が、導電性配線として機能することを特徴とする請求項９〜１２のいずれか１に記載のカーボンナノチューブデバイス。
- 前記カーボンナノチューブ構造体の少なくとも一部が、平面電極として機能することを特徴とする請求項９〜１３のいずれか１に記載のカーボンナノチューブデバイス。
- 前記カーボンナノチューブ構造体の少なくとも一部が、デバイス回路として機能することを特徴とする請求項９〜１４のいずれか１に記載のカーボンナノチューブデバイス。
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