KR101105628B1 - Device for taking graphene from graphite - Google Patents
Device for taking graphene from graphite Download PDFInfo
- Publication number
- KR101105628B1 KR101105628B1 KR1020090095353A KR20090095353A KR101105628B1 KR 101105628 B1 KR101105628 B1 KR 101105628B1 KR 1020090095353 A KR1020090095353 A KR 1020090095353A KR 20090095353 A KR20090095353 A KR 20090095353A KR 101105628 B1 KR101105628 B1 KR 101105628B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- substrate
- graphite
- tape
- monolayer
- manufacturing apparatus
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
- C01B32/20—Graphite
- C01B32/21—After-treatment
- C01B32/22—Intercalation
- C01B32/225—Expansion; Exfoliation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
- C01B32/15—Nano-sized carbon materials
- C01B32/182—Graphene
- C01B32/184—Preparation
- C01B32/19—Preparation by exfoliation
Abstract
테이프의 점착면에 부착되어 있는 흑연으로부터 대상 기판의 부착면으로 흑연 단일층을 전이시키기 위한 흑연 단일층 제작장치가 개시된다. 흑연 단일층 제작장치는 대상 기판을 고정하기 위한 기판부재, 기판부재로부터 테이프의 길이에 대응하여 이격되어 배치되며, 기판에 면접한 테이프의 가장자리로부터 점착면이 부착면으로부터 이격되도록 테이프를 들어올리되, 부착면에 흑연 단일층이 형성되도록, 기판에 면접한 테이프의 일단부에 대향하는 타단부를 저속으로 들어올리는 상승부재를 포함한다. 이에, 천연 흑연으로부터 흑연 단일층의 획득 수율을 높일 수 있다.Disclosed is a graphite monolayer fabrication apparatus for transferring a graphite monolayer from graphite adhering to an adhesive side of a tape to an adhesion side of a target substrate. The graphite monolayer fabrication apparatus is arranged to be spaced apart from the substrate member for fixing the target substrate, the substrate member corresponding to the length of the tape, and to lift the tape so that the adhesive surface is separated from the attachment surface from the edge of the tape interviewed with the substrate. And a rising member that lifts the other end opposite to one end of the tape interviewed with the substrate at a low speed so that a graphite monolayer is formed on the attachment surface. Thus, it is possible to increase the yield of graphite monolayer obtained from natural graphite.
흑연 단일층, 기판, 상승부재 Graphite Single Layer, Substrate, Lift Member
Description
본 발명은 천연 흑연으로부터 흑연 단일층을 획득하기 위한 흑연 단일층 제작장치에 관한 것으로서, 보다 자세하게는 천연 흑연으로부터 흑연 단일층의 획득 수율을 높일 수 있는 흑연 단일층 제작장치에 관한 것이다.The present invention relates to a graphite monolayer manufacturing apparatus for obtaining a graphite monolayer from natural graphite, and more particularly, to a graphite monolayer manufacturing apparatus capable of increasing the yield of graphite monolayer from natural graphite.
일반적으로 흑연(graphite)은 탄소 원자가 6각형 모양으로 연결된 판상의 2차원 흑연 단일층(grapheme)이 수없이 많이 적층되어 있는 구조이다. 상술한 구조의 흑연 단일층의 특성을 조사한 결과, 흑연 단일층에서 전자가 이동할 경우 마치 전자의 질량이 제로인 것처럼 흐르는 현상을 발견하였다.In general, graphite is a structure in which a large number of plate-shaped two-dimensional graphite monolayers in which carbon atoms are connected in a hexagonal shape are stacked. As a result of examining the characteristics of the graphite monolayer having the above-described structure, it was found that when electrons move in the graphite monolayer, the electrons flow as if the mass of the electrons is zero.
상술한 특징으로 인하여 흑연 단일층은 물리학 분야에서 가장 뜨거운 관심 주제 중 하나가 되었으며, 이는 흑연 단일층 안에서는 전자의 유효질량이 없어서, 초속 1천 킬로미터로 움직이는 상대성 입자(relativistic particles)로 거동한다는 사실에 근거하여 흑연 단일층 만의 독특한 양자홀 효과에 대한 연구뿐만 아니라 기존의 입자물리학 분야에서 수행할 수 없었던 입자물리 실험을 흑연 단일층을 통해 간접적으로 구현할 수 있게 되었기 때문이다.Due to the above characteristics, graphite monolayer has become one of the hottest topics of interest in the field of physics, due to the fact that there is no effective mass of electrons in the graphite monolayer, which acts as relativistic particles moving at 1,000 kilometers per second. Based on this, not only the study of the unique quantum hole effect of the graphite monolayer but also the particle physics experiment that could not be performed in the field of particle physics can be indirectly implemented through the graphite monolayer.
흑연 단일층을 학술적인 목적으로 사용하기 위하여, 다양한 방법을 통해서 현재 생산하고 있으며, 예를 들면, SiC 의 표면에 있는 Si를 승화시켜서 표면에 남아있는 탄소원자들이 흑연 단일층을 형성하도록 하는 에피택시얼 성장(eptaxial growth) 방법 및 흑연 화합물의 화학적 박리작용을 이용하는 방법 등이 있다. In order to use the graphite monolayer for academic purposes, it is currently produced by various methods, for example epitaxy that sublimates Si on the surface of SiC so that the remaining carbon atoms form a graphite monolayer. Epitaxial growth and chemical exfoliation of graphite compounds.
다만, 상술한 방법들에서는 현재까지 단지 수백 나노미터 두께의 흑연조각을 얻을 수 있을 뿐, 흑연 단일층을 얻는 것은 거의 힘들 뿐만 아니라, 흑연층 사이사이에 삽입된 화학물질이 완벽하게 제거되지 않아 많은 결점을 유발할 수 있다는 문제점이 있다.However, in the above-described methods, only a few hundred nanometers of graphite fragments can be obtained to date, it is hard to obtain a graphite monolayer, and many chemicals inserted between graphite layers are not completely removed. There is a problem that can cause defects.
따라서, 아직까지도 순수한 흑연 단일층을 획득하기 위해서, 최초에 흑연 단일층을 획득했던 고전적인 방식, 즉 스카치 테이프를 이용하여 흑연 절편으로부터 흑연 단일층 한 층만을 벗겨내는 방식을 가장 널리 사용하고 있는 실정이다. 이때, 흑연 단일층을 보다 넓은 면적으로 획득하기 위해서는 흑연이 붙어 있는 스카치 테이프를 흑연 단일층을 전이시킬 기판에 붙이고, 다시 기판에서 매우 천천히 때어내는 작업이 매우 중요하다.Therefore, in order to obtain a pure graphite monolayer, the conventional method of obtaining the graphite monolayer in the first place, that is, the most widely used method of peeling only one layer of graphite monolayer from the graphite fragment using Scotch tape. to be. At this time, in order to obtain a graphite monolayer with a larger area, it is very important to attach a scotch tape with graphite to the substrate to which the graphite monolayer is to be transferred, and again to remove the graphite monolayer very slowly from the substrate.
그러나, 스카치 테이프를 이용하여 흑연 단일층은 만드는 모든 과정이 수작업에 의해서 이루어지기 때문에, 스카치 테이프를 기판으로부터 저속으로 분리시키는 것이 힘들며, 때로는 손 떨림이 발생하여, 균일한 힘을 가하여 일정한 속도로 떼어내는 것이 사실상 어려우며, 이에 흑연으로부터 흑연 단일층을 획득하는 수율이 떨어지는 것이 실정이다. However, since the entire process of making the graphite monolayer using Scotch tape is done by hand, it is difficult to separate the Scotch tape from the substrate at low speed, and sometimes hand shaking occurs, which is applied at a constant speed by applying a uniform force. It is virtually difficult to produce, and thus, the yield of obtaining a graphite monolayer from graphite is poor.
본 발명은 테이프에 붙어 있는 흑연을 기판에 부착하고, 이를 최대한 저속으로 분리시킴으로써, 테이프 상의 흑연으로부터 기판에 남는 흑연 단일층의 획득 수율을 높일 수 있는 흑연 단일층 제작장치를 제공한다. The present invention provides a graphite monolayer fabrication apparatus capable of increasing the yield of the graphite monolayer remaining on the substrate from graphite on the tape by attaching the graphite attached to the tape to the substrate and separating it at the lowest speed possible.
본 발명의 예시적인 일 실시예에 따르면, 테이프의 점착면에 부착되어 있는 흑연으로부터 대상 기판의 부착면으로 흑연 단일층을 전이시키기 위한 흑연 단일층 제작장치가 개시된다. 흑연 단일층 제작장치는 대상 기판을 고정하기 위한 기판부재, 기판부재로부터 테이프의 길이에 대응하여 이격되어 배치되며, 기판에 면접한 테이프의 가장자리로부터 점착면이 부착면으로부터 이격되도록 테이프를 들어올리되, 부착면에 흑연 단일층이 형성되도록, 기판에 면접한 테이프의 일단부에 대향하는 타단부를 저속으로 들어올리는 상승부재를 포함한다.According to one exemplary embodiment of the present invention, a graphite monolayer fabrication apparatus is disclosed for transferring a graphite monolayer from graphite adhered to an adhesive surface of a tape to an adhesion surface of a target substrate. The graphite monolayer fabrication apparatus is arranged to be spaced apart from the substrate member for fixing the target substrate, the substrate member corresponding to the length of the tape, and to lift the tape so that the adhesive surface is separated from the attachment surface from the edge of the tape interviewed with the substrate. And a rising member that lifts the other end opposite to one end of the tape interviewed with the substrate at a low speed so that a graphite monolayer is formed on the attachment surface.
흑연 단일층을 구성하는 탄소원자들은 서로 공유결합으로 연결되어 폴리시클릭 방향족 분자를 형성하여 강한 결합력을 가지는 반면에, 한 층이 대략 탄소원자 하나의 두께 약 0.3nm의 두께를 가지는 흑연 단일층 간에는 반데르발스 힘(van der Waals forces)으로 결합되어 있어, 대상 기판에 접촉되면 흑연 단일층의 전이가 비교적 쉽게 일어날 수 있다.The carbon atoms constituting the graphite monolayer are covalently bonded to each other to form polycyclic aromatic molecules, and have strong bonding strength, whereas one layer is half between graphite monolayers having a thickness of approximately 0.3 nm of one carbon atom. Coupled with van der Waals forces, the transition of the graphite monolayer can occur relatively easily when in contact with the target substrate.
이때, 흑연 단일층이 보다 넓은 면적으로 형성되도록 하기 위해서는 흑연이 붙어 있는 스카치 테이프를 기판에 붙이고, 다시 기판에서 균일한 힘으로 매우 천 천히 때어내야 하는데, 본 발명의 흑연 단일층 제작장치는 이를 가능하게 하여, 기판에 남는 흑연 단일층의 획득 수율을 높일 수 있다.In this case, in order to form the graphite monolayer in a larger area, the graphite-coated scotch tape needs to be attached to the substrate, and then squeezed out very slowly with a uniform force from the substrate, and the graphite monolayer manufacturing apparatus of the present invention can do this. In this way, the yield of the graphite monolayer remaining on the substrate can be increased.
본 발명의 흑연 단일층 제작장치는 흑연을 기판에 부착한 상태에서 저속으로 분리시켜 내기 용이하여, 손 떨림이 발생할 수 있거나 지속적인 저속을 유지하기 힘든 수작업과 비교할 경우, 흑연으로부터 흑연 단일층의 획득 수율을 높일 수 있다. The graphite monolayer fabrication apparatus of the present invention is easy to separate the graphite at a low speed in the state of attaching the graphite to the substrate, so that the yield of obtaining the graphite monolayer from the graphite can be high when compared to manual work that may cause hand shaking or difficult to maintain a continuous low speed. Can increase.
이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 대해 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략될 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited or limited by the embodiments. In describing the present invention, a detailed description of well-known functions or constructions may be omitted for clarity of the present invention.
실시예1Example 1
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 흑연 단일층 제작장치의 사시도이며, 도 2는 도 1의 측단면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 테이프의 사시도이다. 1 is a perspective view of a graphite monolayer manufacturing apparatus according to a first embodiment of the present invention, Figure 2 is a side cross-sectional view of Figure 1, Figure 3 is a perspective view of the tape shown in FIG.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 흑연으로부터 흑연 단일층을 획득하기 위한 흑연 단일층 제작장치(100)는 기판부재(120), 상승부재(130), 및 몸체부(110)를 포함한다. 1 to 3, the graphite
먼저, 테이프(101)의 일면에는 점착제가 도포되어 있어서 흑연이 부착될 수 있는 점착면(102)이 형성되어 있다. 이에, 본 실시예의 흑연 단일층 제작장 치(100)에 적용되는 테이프(101)는 점착면(102)에 흑연을 미량 붙여서 제공한다.First, an adhesive is applied to one surface of the
이때, 점착제를 매개로 테이프(101)상에 제공된 흑연으로부터 흑연 가루가 떨어져 나오지 않을 정도의 미량만을 테이프(101) 상에 제공해야 하며, 이를 위하여, 테이프(101)에 흑연 절편(103)을 묻혀 흑연 절편(103)이 묻은 부분에 다시 또 다른 테이프를 붙였다 때는 작용을 반복하여, 얇은 흑연 절편(103)이 붙어있는 테이프(101)를 마련할 수 있다. 이때, 흑연 절편(103)이 붙어 있는 테이프(101)의 일 단부의 한 쪽 단면이 기판(121)의 상면에 부착되므로, 도 3에 도시된 바와 같이, 테이프(101)의 일 단부의 한 쪽 단면에 일부 흑연 절편(103)을 부착시켜 제공하는 것이 바람직하며, 이 상태의 흑연 절편(103)에서는 적어도 수 내지 수십 층의 흑연 단일층이 상호 반데르발스 힘에 의해서 결합되어 있다. At this time, only a small amount of the graphite powder on the
기판부재(120) 및 상승부재(130)는 테이프(101)의 양 단부가 각각 배치될 수 있도록 테이프(101)의 길이에 대응하는 정도로 이격되어 몸체부(110)에 결합되어 있으며, 기판부재(120)는 기판 받침대(122) 및 기판 고정대(124)를 포함한다. The
먼저, 기판 받침대(122)에 배치되는 기판(121)은 합성수지, 금속, 세라믹 등 다양한 재질로 제조될 수 있으며, 본 실시예에서는 실리카(silicon dioxide)를 이용하여 제조되며, 기판(121) 상면에는 흑연 절편(103)이 붙어있는 테이프(101)의 점착면(102)이 밀착되는 부착면(125)이 형성되어 있다. First, the
또한, 기판 받침대(122)는 몸체부(110)의 상부에서 슬라이딩 이동할 수 있도록, 몸체부(110)에 결속된다. 구체적으로, 몸체부(110)의 상면에는 그 길이 방향을 따라서 홈 형태의 슬라이드 홈(113)이 형성되어 있으며, 기판 받침대(122)의 저 면에는 슬라이드 홈(113)에 대응하여 돌출된 돌기 형태의 슬라이드 돌기(123)가 형성되어 있다. 이에, 기판 받침대(122)는 몸체부(110)의 상면에 배치되되, 몸체부(110)의 상부에서 슬라이딩 이동할 수 있으며, 기판(121)은 상술한 기판 받침대(122)의 상부에 결합되어 기판 받침대(122)의 슬라이드 이동에 따라 몸체부(110)의 상부에서 기판 받침대(122)와 함께 슬라이딩 이동할 수 있고, 이에, 기판(121)과 상승부재(130)의 이격 간격을 조절할 수 있다. In addition, the
또한, 기판 고정대(124)는 기판 받침대(122) 상면에 배치된 기판(121)을 기판 받침대(122)에 고정시키는 동시에, 후술할 상승부재(130)에 의해서 기판(121)에 면접한 테이프(101)의 일단부에 대향한 테이프(101)의 타단부가 들어올려질 경우에, 테이프(101)의 점착면(102)이 부착면(125)으로부터 이격되기 시작하는 테이프(101)의 가장자리로부터 대향한 부분의 테이프(101)의 가장자리를 가압할 수 있다. 구체적으로, 기판 고정대(124)는 그 저면이 기판(121) 상면에 배치된 테이프(101)의 끝부분에 대응하도록 테이프(101)의 상부에 배치되며, 하방으로 이동하여, 테이프(101)가 기판(121) 상에 밀착되도록 한다. 특히, 기판 고정대(124)는 기판 고정대(124)를 상부에서부터 관통하여 기판 받침대(122)에 결합되는 나사(126)에 의해서 테이프(101)를 가압한 상태를 유지할 수 있다. In addition, the
한편, 상승부재(130)는 기판(121)의 부착면(125)에 흑연 단일층이 형성되도록, 테이프(101)를 단부에서부터 저속으로 들어올리도록 제공되며, 이때, 회전축(131)은 부착면(125) 보다 높은 곳에 배치되며, 상승부재(130)에 의해서 들어올려지는 테이프(101) 및 기판(121)과의 최초 셋팅 각도는 0초과 10도 이하인 것이 바람직하다. 이는 테이프(101) 및 기판(121)과의 각도가 0도를 이루거나 혹은 회전축(131)이 부착면(125)의 아래쪽에 배치될 경우에 테이프(101)의 타단이 회전축에 의해서 감겨지지 않아, 테이프(101)가 기판(121)으로부터 점차적으로 떨어져 나올 수 없으며, 그 이상일 경우에는 테이프(101)가 기판(121)으로부터 분리되는 속도가 증가하게 되어, 기판(121)의 표면에 남는 흑연 단일층의 획득율이 감소할 수 있기 때문이다. On the other hand, the
상승부재(130)는 기판 받침대(122)의 슬라이딩 이동 방향과 수직한 방향으로 몸체부(110)에 회전 가능하게 제공되는 회전축(131), 및 회전축(131)을 저속으로 회전시킬 수 있는 구동부재를 포함한다. The
본 실시예에서 구동부재는 회전축(131)의 단부에 일체로 형성된 대형 회전휠(132)을 포함한다. 이때, 사용자가 대형 회전휠(132)을 수동으로 회전시킬 수 있으며, 회전축(131)의 직경에 비해서 대형 회전휠(132)은 그 직경이 훨씬 크기 때문에, 회전축(131)의 회전 속도를 조절하기 용이하다. 이에, 대형 회전휠(132)을 이용하여 회전축(131)을 회전시킴으로써, 회전축(131)에 테이프(101)의 한 쪽 단부가 감기는 속도를 조절하는 것 특히 저속으로 유지하는 것이 용이하며, 기판(121) 상면에 부착된 테이프(101)의 다른 쪽 단부가 기판(121)으로부터 일정한 힘과 일정한 속도로 이격될 수 있다. 따라서, 종래에 수작업으로 흑연 단일층을 분리하는 과정과 비교할 때, 대략 수 내지 수백 ㎛2 이상의 면적을 갖는 흑연 단일층의 획득 율이 2배 이상 증가된다. In this embodiment, the driving member includes a large
실시예2Example 2
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 흑연 단일층 제작장치의 사시도이다. Figure 4 is a perspective view of a graphite monolayer manufacturing apparatus according to a second embodiment of the present invention.
본 실시예에 따른 흑연 단일층 제작장치의 구성요소들은 도 1 및 도 2에서 설명한 흑연 단일층 제작장치와 실질적으로 동일하며, 이에 본 실시예에서는 앞선 실시예와는 다르게 자동으로 회전축을 회전시킬 수 있는 구동장치를 중심으로 설명하며, 그 외의 흑연 단일층 제작장치의 구성요소들에 대한 설명은 앞선 실시예의 흑연 단일층 제작장치에 대한 설명 및 도면을 참조할 수 있으며, 반복되는 내용은 생략한다.The components of the graphite monolayer fabrication apparatus according to the present embodiment are substantially the same as those of the graphite monolayer fabrication apparatus described with reference to FIGS. 1 and 2, and thus, in this embodiment, the rotary shaft may be automatically rotated unlike the previous embodiment. A description will be given with respect to the driving device, and other components of the graphite monolayer fabrication apparatus may be referred to the description and drawings of the graphite monolayer fabrication apparatus of the previous embodiment, and repeated descriptions thereof will be omitted.
도 4를 참조하면, 흑연 단일층 제작장치(200)는 기판부재(220), 상승부재(230), 및 몸체부(210)를 포함한다. Referring to FIG. 4, the graphite
본 실시예에서 상승부재(230)는 회전축(231) 및 구동부재(232)를 포함하며, 본 실시예의 구동부재(232)는 구동모터(232) 및 구동모터(232)의 출력축의 회전 속도를 감속하기 위한 구동모터 기어박스(234)를 더 포함하여, 자동으로 회전축(231)을 회전시킬 수 있다.In this embodiment, the
이때, 앞선 실시예에서는 회전축(131)에 구동 부재에 해당하는 대형 회전휠(132)이 부착되어 있으나, 본 실시예에서는 대형 회전휠을 대신하여, 외주를 따라 치차가 형성된 피구동 기어(235)가 부착되며, 피구동 기어(235)는 다시 구동모터(232)의 출력축에 결합된 웜기어(236) 의해서 저속으로 회전축(131)을 회전시키되, 균일함 힘과 속도로 회전할 수 있다. In this embodiment, although the large
즉, 회전축(231)에 결합되는 피구동 기어(235) 및 구동모터(232)와 결합되어 있는 웜기어(236)를 포함하는 구동모터 기어박스(234)를 이용하여, 회전축(231)에 감겨진 테이프(201)의 한 쪽 단부를 감는 속도를 조절하기 용이하며, 이에 손 떨림 혹은 균일한 힘과 속도를 유지하여 테이프를 기판으로 분리시키기 어려운 수작업과 비교할 때, 기판(221) 상면에 부착된 테이프(201)의 다른 쪽 단부를 기판(221)으로부터 저속으로 일정한 힘과 일정한 속도로 이격시키는 것이 가능하다. That is, by using a drive
실시예3Example 3
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 흑연 단일층 제작장치의 사시도이다. 5 is a perspective view of a graphite monolayer manufacturing apparatus according to a third embodiment of the present invention.
본 실시예에 따른 흑연 단일층 제작장치의 구성요소들은 도 1 및 도 2에서 설명한 흑연 단일층 제작장치와 실질적으로 동일하며, 이에 본 실시예에서는 앞선 실시예와 상이한 상승부재를 중심으로 설명하며, 그 외의 흑연 단일층 제작장치의 구성요소들에 대한 설명은 앞선 실시예의 흑연 단일층 제작장치에 대한 설명 및 도면을 참조할 수 있으며, 반복되는 내용은 생략한다.The components of the graphite monolayer fabrication apparatus according to the present embodiment are substantially the same as those of the graphite monolayer fabrication apparatus described with reference to FIGS. 1 and 2, and thus, the present embodiment will be described based on a different lifting member from the previous embodiment. Other components of the graphite monolayer fabrication apparatus may be referred to the description and drawings of the graphite monolayer fabrication apparatus of the previous embodiment, and repeated descriptions thereof will be omitted.
도 5를 참조하면, 본 실시예에 따른 흑연 단일층 제작장치(300)는 기판부재(320), 상승부재(330), 및 몸체부(310)를 포함한다. Referring to FIG. 5, the graphite
본 실시예에서 상승부재(330)는 기판(321)에 대해 수직하게 이동 가능한 이동 홀더(331) 및 이동 홀더(331)를 저속으로 상승시키기 위한 구동부재를 포함한다. In this embodiment, the lifting
이동 홀더(331)의 상면에는 기판(321)의 상면에 부착되는 테이프(301)의 일 단부에 대향한 타측 단부가 부착된다. The other end of the
구동부재는 기판(321)과 소정 간격 이격되어 몸체부(310)의 상부에 장착되며, 이동 홀더(331)가 결합되어 상하로 슬라이딩 이동할 수 있도록 홈(333)이 수직으로 형성된 수직몸체(332)를 포함한다. The driving member is spaced apart from the
따라서, 이동 홀더(331)를 홈(333)을 따라서 상부 서서히 들어올려, 기판(321)에 부착된 테이프(301)의 일 단부에 대향한 테이프(302)의 타측 단부를 저속으로 들어올릴 수 있으며, 이에, 기판(321)에 부착된 테이프(302)의 가장자리에서부터 서서히 분리되도록 하여, 기판(321)의 표면에 남는 흑연 단일층의 획득율을 높일 수 있다. Accordingly, the upper portion of the tape 302 facing the one end of the
한편, 구동몸체는 수직몸체(332)외에 이동 홀더(331)를 자동으로 상승시킬 수 있는, 구동모터 및 구동모터의 출력축의 회전 속도를 감속하여, 이동 홀더(331)의 상승 및 하강을 구현하는 구동모터 기어박스를 더 제공할 수도 있다. On the other hand, the drive body to reduce the rotational speed of the output shaft of the drive motor and the drive motor, which can automatically raise the moving
예를 들면, 수직몸체의 상하부에 도르레를 설치하고, 도르레를 순환하는 순환벨트에 이동 홀더를 부착하고, 순환벨트를 구동모터를 이용하여 순환시켜, 적절한 속도와 힘으로 이동 홀더를 자동으로 상승 또는 하강시킴으로써, 기판에 부착된 테이프의 단부를 서서히 들어 올릴 수 있다. For example, a pulley is installed on the upper and lower parts of the vertical body, and a moving holder is attached to a circulation belt for circulating the pulley, and the circulation belt is circulated using a driving motor to automatically raise or lower the moving holder at an appropriate speed and force. By lowering | hanging, the edge part of the tape adhering to a board | substrate can be raised gradually.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.As described above, although described with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art will be variously modified and changed without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below I can understand that you can.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 흑연 단일층 제작장치의 사시도이다. 1 is a perspective view of a graphite monolayer manufacturing apparatus according to a first embodiment of the present invention.
도 2는 도 1의 측단면도이다. 2 is a side cross-sectional view of FIG. 1.
도 3은 도 1에 도시된 테이프의 사시도이다. 3 is a perspective view of the tape shown in FIG.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 흑연 단일층 제작장치의 사시도이다. Figure 4 is a perspective view of a graphite monolayer manufacturing apparatus according to a second embodiment of the present invention.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 흑연 단일층 제작장치의 사시도이다. 5 is a perspective view of a graphite monolayer manufacturing apparatus according to a third embodiment of the present invention.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
100:흑연 단일층 제작장치 110:몸체부100: graphite single layer production apparatus 110: body part
120:기판부재 121:기판120: substrate member 121: substrate
122:기판 받침대 124:기판 고정대122: substrate holder 124: substrate holder
130:상승부재 131:회전축130: lifting member 131: rotating shaft
132:대형 회전휠 232:구동부재132 : Large rotary wheel 232 : Drive member
Claims (10)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020090095353A KR101105628B1 (en) | 2009-10-07 | 2009-10-07 | Device for taking graphene from graphite |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020090095353A KR101105628B1 (en) | 2009-10-07 | 2009-10-07 | Device for taking graphene from graphite |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20110037785A KR20110037785A (en) | 2011-04-13 |
KR101105628B1 true KR101105628B1 (en) | 2012-01-18 |
Family
ID=44045209
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020090095353A KR101105628B1 (en) | 2009-10-07 | 2009-10-07 | Device for taking graphene from graphite |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101105628B1 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111302330B (en) * | 2020-04-10 | 2021-08-27 | 图木舒克市二维石墨烯有限公司 | Graphene material and preparation system and process thereof |
CN115818630B (en) * | 2022-11-21 | 2023-08-15 | 中国铝业股份有限公司 | Graphene stripping device and graphene production system |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4274904A (en) | 1979-07-20 | 1981-06-23 | Harrison Thomas F | Tape dispenser and applicator assembly |
US4396455A (en) | 1982-02-01 | 1983-08-02 | Hiromichi Uchida | Device for automatically transferring an adhesive tape to an article |
US7071258B1 (en) | 2002-10-21 | 2006-07-04 | Nanotek Instruments, Inc. | Nano-scaled graphene plates |
US20060289118A1 (en) | 2005-06-24 | 2006-12-28 | Jasdi Magnet Co., Ltd. | Magnetic tape dispenser |
-
2009
- 2009-10-07 KR KR1020090095353A patent/KR101105628B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4274904A (en) | 1979-07-20 | 1981-06-23 | Harrison Thomas F | Tape dispenser and applicator assembly |
US4396455A (en) | 1982-02-01 | 1983-08-02 | Hiromichi Uchida | Device for automatically transferring an adhesive tape to an article |
US7071258B1 (en) | 2002-10-21 | 2006-07-04 | Nanotek Instruments, Inc. | Nano-scaled graphene plates |
US20060289118A1 (en) | 2005-06-24 | 2006-12-28 | Jasdi Magnet Co., Ltd. | Magnetic tape dispenser |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20110037785A (en) | 2011-04-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Lei et al. | Highly ordered nanostructures with tunable size, shape and properties: A new way to surface nano-patterning using ultra-thin alumina masks | |
Liu et al. | Mechanical properties of two-dimensional materials and heterostructures | |
US7960251B2 (en) | Method for producing nanowires using a porous template | |
Cavallo et al. | Semiconductors turn soft: inorganic nanomembranes | |
US6872439B2 (en) | Adhesive microstructure and method of forming same | |
US8794582B2 (en) | Carbon nanotube film supporting structure and method for using same | |
Cheng et al. | High-quality ZnO nanowire arrays directly fabricated from photoresists | |
US20070158789A1 (en) | Material comprising predetermined number of atomic layers and method for manufacturing predetermined number of atomic layers | |
US20110311722A1 (en) | Method of and system for forming nanostructures and nanotubes | |
KR101105628B1 (en) | Device for taking graphene from graphite | |
Xi et al. | Crystalline silicon carbide nanoparticles encapsulated in branched wavelike carbon nanotubes: synthesis and optical properties | |
WO2017086254A1 (en) | Component gripping tool | |
JP5903465B2 (en) | Method for transferring carbon nanotube array and method for manufacturing carbon nanotube structure | |
TWI564242B (en) | Method for transferring nanostructure | |
EP1858084A3 (en) | Method of manufacturing quantum dots in a semiconductor device | |
KR100827649B1 (en) | Fabrication method of carbon nanotube thin film | |
Radha et al. | Giant single crystalline Au microplates | |
Li et al. | Oriented attachment in vapor: formation of ZnO three-dimensional structures by intergrowth of ZnO microcrystals | |
JP2005238388A5 (en) | ||
KR20170075522A (en) | Method for preparing graphene nanostructure | |
TWI555700B (en) | Method for transferring nanostructure | |
US20180298520A1 (en) | Self-limited organic molecular beam epitaxy for precisely growing ultrathin C8-BTBT, PTCDA and their heterojunctions on surface | |
Wu et al. | Toward 3D integration of 1D conductors: Junctions of InAs nanowires | |
Asgary et al. | Characterization of High Quality, Large-Scale Growth of Monolayer WS2 Domains via Chemical Vapor Deposition Technique | |
Fodeke | Mechanical behaviour of 2D materials on strained substrates: experimental investigation on MoS₂ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141223 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151229 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161228 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |