KR100631844B1

KR100631844B1 - 탄소섬유웹구조를 갖는 전계방출형 에미터전극 및 그제조방법

Info

Publication number: KR100631844B1
Application number: KR1020040076836A
Authority: KR
Inventors: 나승현; 안계혁; 이영희; 이종면
Original assignee: 삼성전기주식회사
Priority date: 2004-09-24
Filing date: 2004-09-24
Publication date: 2006-10-09
Also published as: US7438622B2; US20060066201A1; US20100277052A1; KR20060027932A; US8058787B2

Abstract

본 발명은 전계방출형 에미터전극 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 탄화가능한 폴리머와 탄소나노튜브 및 용매를 혼합하여 탄소나노튜브 함유 폴리머용액을 마련하는 단계와, 상기 탄소나노튜브 함유 폴리머용액을 이용한 전기방사공정(또는 정전방사)을 실시함으로써 기판 상에 나노섬유웹층을 형성하는 단계와, 상기 나노섬유웹층에서 폴리머가 가교결합되도록 상기 나노섬유웹층을 안정화시키는 단계와, 상기 가교결합된 폴리머가 열처리하여 탄소섬유로 변환되도록 상기 나노섬유웹층를 탄화시키는 단계를 포함하는 탄소섬유웹구조의 에미터전극 제조방법을 제공한다.

전계방출장치(field emitting device), 전계방출 에미터(field emitter), 탄소나노튜브(carbon nanotube), 전기방사(electro-spinning) 또는 정전방사(electrostatic spinning)

Description

탄소섬유웹구조를 갖는 전계방출형 에미터전극 및 그 제조방법{CARBON-FIBER WEB STRUCTURE TYPE FIELD EMITTER ELECTRODE AND FABRICATION METHOD OF THE SAME}

도1은 종래의 전기영동방식을 이용한 전계방출 에미터전극 제조방법을 나타내는 개략도이다.

도2는 본 발명에 따른 전계방출 에미터전극 제조방법을 설명하기 위한 공정흐름도이다.

도3는 본 발명에 사용될 수 있는 전기방사장치의 개략도이다.

도4a 내지 도4e는 본 발명의 다양한 실시예에 따라 전기방사된 나노섬유웹구조를 쵤영한 SEM사진(×5,000)이다.

도5는 본 발명의 일 실시예에 따른 나노섬유웹구조를 촬영한 SEM사진(×80,000)이다.

도6a 내지 도6c는 본 발명의 일실시예에 따라 형성된 탄소섬유웹구조를 촬영한 사진이다.

도7는 본 발명의 일 실시예 탄소섬유웹구조의 에미터전극을 적용한 전계방출장치의 발광사진이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호설명>

11: 기판 14: 전해액

16; 음극 17: 양극

21: 피펫(pipette) 23: 고전압발생부

24:탄소나노튜브함유 폴리머용액 25: 방사구

26: 기판 27: 회전드럼

27: 나노섬유 28: 진동모터

본 발명은 탄소나노튜브 전계방출 에미터전극(field emitter electrode)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 탄소나노튜브의 낮은 부착강도를 개선할 뿐만 아니라, 접촉저항이 개선된 새로운 구조의 전계방출 에미터전극 및 그 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로, 전계방출장치는 진공 속에서 전자의 방출에 기반한 광원으로서, 강한 전기장에 의해 미세입자에서 방출된 전자를 가속시켜 형광물질과 충돌하는 원리로 발광하는 소자를 말한다. 상기 전계방출장치는 백열전구와 같은 일반 조명광원에 비해 발광효율이 우수하고 경박단소화가 가능할 뿐만 아니라, 형광등과 같이 중금속을 사용하지 않으므로 환경친화적이라는 장점을 갖고 있어, 각종의 조명분야 및 디스플레이장치의 차세대 광원으로 각광을 받고 있다.

이러한 전계방출장치의 성능은 전계를 방출할 수 있는 에미터 전극에 의해 크게 좌우된다. 최근에 우수한 전자방출특성을 갖는 에미터전극을 위한 전자방출재료로서 탄소나노튜브(carbon nanotube: CNT)가 적극적으로 사용되고 있다.

하지만, 탄소나노튜브는 대면적의 기판에서 균일한 성장이 어려우므로, 일반적으로, 별도의 공정으로 성장된 탄소나노튜브를 정제하여 기판에 부착시키는 공정이 사용된다. 대표적인 탄소나노튜브 에미터전극 제조방법으로는 통상의 프린팅방법과 전기영동방법이 있다.

종래의 프린팅방법에 의한 탄소나노튜브 에미터전극 제조방법은, 평탄한 표면을 갖는 기판 상에 전극층을 코팅한 후에, 그 전극층 상에 탄소나노튜브와 은 분말로 제조된 페이스트를 인쇄하는 방식을 이용한다. 이어, 소정의 열처리공정을 통해 상기 페이스트 중의 수지와 용매를 제거하고, 테이프법을 이용하여 탄소나노튜브가 부분적으로 표면으로부터 노출시키는 공정을 실시한다.

하지만, 공정이 복잡할 뿐만 아니라, 탄소나노튜브의 균일한 분산을 얻기가 어려우며, 이로 인해 전계방출 에미터전극의 특성이 저하될 수 있다. 또한, 공지된 페이스트의 도포공정으로는 하부의 전극물질과의 충분한 물리적 기계적 결합을 얻기 어렵다는 문제도 있다.

이와 달리, 전기영동(electrophoresis)에 의한 탄소나노튜브 에미터전극 제조방법에서는, 도1에 도시된 바와 같이, 전해액에 미리 정제된 탄소나노튜브와 분산제(예를 들어, 양극 분산제)를 혼합한 후에, 상기 전해액에 침지된 두 전극 사이에 전압을 인가하여, 음극에 마련된 기판에 탄소나노튜브를 부착시키는 방법이 사용된다.

이러한 전기영동에 의한 방법은 비교적 탄소나노튜브의 균일한 분산을 실현할 수 있으며, 전체 공정을 보다 간소화시킬 수 있으나, 탄소나노튜브의 부착력이 낮아 기계적 충격에 약하다는 문제가 있다.

또한, 에미터전극을 구성하는 전도성 폴리머에는 많은 양의 유기성분을 잔류하므로, 작동시에 그 유기성분이 산화되어 전극방출특성을 크게 저하시킬 수 있으며, 심한 경우에는 진공이 요구되는 전자방출공간에 원하지 않는 가스를 생성시켜 전계방출장치의 치명적인 불량원인이 될 수 있다.

본 발명은 상술된 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 그 목적은 탄소나노섬유(canbon nanofiber)에 탄소나노튜브를 포함시키고 이러한 탄소나노섬유로서 형성된 웹구조를 갖는 새로운 전계방출 에미터전극을 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 전기방사공정(electro-spinning)(또는 정전방사(electrostatic spinning)라고도 함)을 이용하여 탄소나노튜브를 포함한 탄소나노 섬유를 웹구조로 형성하는 새로운 전계방출 에미터전극의 제조방법을 제공하는데 있다.

상기한 기술적 과제를 달성하기 위해서, 본 발명은,

탄소로 이루어진 다수의 나노섬유가 웹구조로 형성된 탄소섬유웹층과, 상기 다수의 나노섬유에 부착되며 적어도 일부가 상기 나노섬유의 외부로 노출되는 다수의 탄소나노튜브를 포함하는 탄소섬유웹구조의 에미터전극을 제공한다.

이러한 탄소섬유웹층은 폴리아크릴로나이트릴(polyacrylonitrile), 셀룰로오스(celluose), 페놀수지 및, 폴리이미드(polyimide)로 구성된 그룹에서 선택된 적어도 하나의 물질로부터 얻어질 수 있다.

바람직하게는, 상기 탄소나노섬유는 적어도 상기 탄소나노튜브의 직경보다 큰 직경을 갖는다.

또한, 본 발명은 전기방사공정을 이용한 탄소나노섬유 웹구조를 갖는 에미터전극의 제조방법을 제공한다. 상기 방법은, 탄화가능한 폴리머와 탄소나노튜브 및 용매를 혼합하여 탄소나노튜브 함유 폴리머용액을 마련하는 단계와, 상기 탄소나노튜브 함유 폴리머용액을 이용한 전기방사공정을 실시함으로써 기판 상에 나노섬유웹층을 형성하는 단계와, 상기 나노섬유웹층에서 폴리머가 가교결합되도록 상기 나 노섬유웹층을 안정화시키는 단계와, 상기 가교결합된 폴리머가 탄소섬유로 변환되도록 상기 나노섬유웹층를 탄화시키는 단계를 포함한다.

상기 탄화가능한 폴리머는 폴리아크릴로나이트릴(polyacrylonitrile), 셀룰로오스(celluose), 페놀수지 및, 폴리이미드(polyimide)로 구성된 그룹에서 선택된 적어도 하나일 수 있다.

또한, 상기 나노섬유웹층을 형성하는 단계는, 적어도 탄소나노튜브의 직경보다는 큰 직경을 갖는 나노섬유로 이루어진 나노섬유 웹층을 형성하는 단계일 수 있다. 상기 기판은 알루미늄시트 또는 구리시트와 같은 도전성 기판일 수 있다.

상기 나노섬유웹층을 안정화시키는 단계는, 산화성 가스분위기에서 150∼350℃온도로 상기 나노섬유웹층의 폴리머를 산화시키는 단계일 수 있으며, 상기 나노섬유웹층을 탄화시키는 단계는, 불화성 분위기에서 600∼1300℃온도로 상기 나노섬유웹층의 폴리머를 탄화시키는 단계일 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명을 보다 상세히 설명하기로 한다.

도2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 에미터 제조방법은, 탄화가능한 폴리머와 용매 및 탄소나노튜브를 혼합하여 탄소나노튜브 함유 폴리머용액을 마련하는 단계(S13)로 시작된다.

본 발명에 채용된 폴리머는 탄화가능한 폴리머물질이면 적절히 사용될 수 있으며, 이에 한정되지 않으나 폴리아크릴로나이트릴(polyacrylonitrile), 셀룰로오스(celluose), 페놀수지 및, 폴리이미드(polyimide)로 구성된 그룹에서 선택된 적어도 하나일 수 있다. 본 발명에 사용되는 용매로는 선택된 폴리머물질에 적절하게 선택될 수 있으며, 예를 들어, 디메틸포름아미드(dimethylformamide: DMF), 톨루엔(toluene), 벤젠, 아세톤 또는 알콜이 있을 수 있따.

또한, 본 발명에서 사용되는 탄소나노튜브는 CVD법 또는 아크-방전(arc-discharge)법으로 제조된 다중벽(multi wall) 또는 단일벽(single wall) 탄소나노튜브를 분쇄한 후에, 필드 플럭스 플로우 분리법과 같은 공지된 공정을 통해 정제하여 얻어질 수 있으며, 바람직하게는 1∼2㎛의 길이를 가지며 수㎚ 내지 수십㎚의 직경을 갖는 탄소나노튜브를 사용할 수 있다.

이어, 단계(S15)에서는 전기방사공정을 이용하여 기판 상에 나노섬유웹(nano fiber web)층을 형성한다.

일반적으로, 전기방사공정은 통상의 섬유공업이나 연료전지 및 전지전극 제조분야에서 사용되던 기술로서, 정전압을 이용하여 폴리머 전구체물질로부터 수 ㎚ 내지 수백㎚의 직경을 갖는 나노섬유를 방사하여 불규칙한 웹구조로 제조하는 공정 을 말한다. 본 단계에서는 이와 유사하게 상술된 단계(S13)에서 마련된 탄소나노튜브 함유 폴리머용액과 기판 사이에 정전압을 인가하여 탄소나노튜브가 포함된 나노섬유를 기판 상에 방사함으로써 원하는 나노섬유웹층을 얻을 수 있다.

본 단계(S15)에 사용가능한 기판은 전기방사를 위한 정전압이 허용가능할 정도의 얇은 두께를 갖는 비전도성 막일 수 있으나, 바람직하게는 에미터전극의 기재로서 사용가능한 알루미늄시트 또는 구리시트와 같은 도전성 기판을 사용한다. 본 발명에서 채용되는 전기방사공정은 도3을 참조하여 보다 상세히 설명히기로 한다.

다음으로, 전기방사에 의해 기판 상에 형성된 나노섬유웹층을 안정화시키는 단계(S17)를 수행한다. 본 안정화단계(S17)는 산화성가스분위기에서 소정의 온도로 열처리함으로써 구현될 수 있으며, 산화공정이라고도 한다. 바람직한 열처리온도는 사용되는 폴리머의 종류에 따라 다소 차이가 있을 수 있으나, 약 150℃ 내지 약 350℃의 온도에서 2 내지 5시간 실시하는 것이 바람직하다. 본 단계에서, 상기 나노섬유웹층 중 폴리머성분은 산소에 의해 가교결합(cross linking)되어 안정화된다.

이어, 상기 안정화된 나노섬유웹층를 탄화시키는 단계(S19)를 실시한다. 본 공정(S19)은 불활성 분위기에서 소정의 온도로 열처리함으로써 구현될 수 있으며, 상기 탄화공정은 상기 가교결합된 폴리머로부터 육각형 흑연구조를 이루지 못하는 모든 유기성분을 제거하여 탄소섬유(carbon fiber)로 변환시키는 과정을 말한다. 바람직한 탄화공정조건은 질소(N₂)와 같은 불활성 가스분위기에서 약 600℃ 내지 약 1300℃의 온도로 약 0.5시간 내지 1시간정도 실시하는 것이 바람직하다. 본 탄화 단계(S19)와 같이, 폴리머로부터 육각형 흑연구조를 이루어진 못하는 모든 유기성분이 제거됨으로써, 전도성 폴리머를 이용하는 종래 기술에서 발생될 수 있는 잔류한 유기성분에 의한 문제를 해소할 수 있다. 또한, 탄소나노섬유가 활성화되도록 추가적인 열처리공정을 실시할 수 있다.

이와 같이, 본 발명에 따르면, 전기방사공정을 이용하여 탄소나노튜브가 포함된 탄소섬유웹구조의 에미터를 제조할 수 있다. 통상의 전기방사공정은 주로 연료전지 또는 전지전지로 사용되는 탄소섬유를 제조하는 방법으로만 제공되었으나, 본 발명은 탄소나노튜브를 함유한 폴리머용액을 이용하여 전기방사를 실시함으로써 각 탄소나노섬유에 탄소나노튜브가 부착된 탄소섬유웹구조의 에미터전극을 제조할 수 있다.

본 발명의 탄소섬유웹구조 에미터전극은 탄소나노튜브가 각 탄소나노섬유 또는 웹구조에 고정되어 있으므로, 강한 부착력을 가질 뿐만 아니라, 전도성을 갖고 비표면적인 큰 탄소나노섬유를 기본구조를 가지므로 접촉저항을 크게 낮출 수 있다.

도3는 본 발명에 사용될 수 있는 전기방사장치의 일형태를 나타내는 개략도이다. 본 장치는 도2에서 설명된 단계(S15)에 사용되는 장치로 이해될 수 있다.

도3에 도시된 바와 같이, 상기 전기방사장치는 피펫(pipette: 21)과 회전드럼(27) 및 상기 피펫(21)과 회전드럼(27)에 각각 연결된 고전압발생부(23)를 포함한다. 상기 피펫(21)에는 앞서 설명된 탄소나노튜브와 탄화가능한 폴리머 및 용매가 혼합된 탄소나노튜브 함유 폴리머용액(24)이 저장되며, 공정시에 사용되는 상기 폴리머용액(24)은 별도의 자동공급장치(미도시)에 의해 충전되어 일정한 양을 유지할 수 있다. 또한, 상기 회전드럼(27)은 그 표면에 에미터전극이 형성될 기판(26)이 장착되며, 전동모터(28)에 연결되어 일정한 속도로 회전되도록 구성될 수 있다.

상기 고전압발생부(23)에 의해 상기 피펫(21) 내의 폴리머용액(24)과 상기 회전드럼(또는 기판(26)) 사이에 전압이 인가되면, 상기 폴리머용액(24)은 상기 피펫(21)의 방사구(25)를 통해 수㎚ 내지 수백㎚의 직경으로 상기 기판(26) 상에 방사된다. 상기 기판(26) 상에 방사된 나노섬유(27)는 불규칙하게 얽혀 있는 웹구조를 형성하게 된다. 이와 같이 나노섬유웹을 구성하는 각 나노섬유(27)에는 수㎚ 내지 수십㎚의 탄소나노튜브를 포함하며, 현재 상태에서 또는 후속 안정화 또는 탄화공정 중에서 그 일부가 노출되어, 원하는 형태의 탄소나노튜브의 에미터구조를 얻을 수 있다.

이러한 전기방사공정에서 피펫(21)의 방사구(25) 직경, 피펫(21)과 회전드럼(22)(기판(26))의 간격, 인가전압 및 회전드럼(22)의 회전속도는 중요한 공정인자가 되며, 당업자에 의해 적절히 선택되어 사용될 수 있으나, 바람직하게는 방사된 나노섬유가 탄소나노튜브를 용이하게 포함하도록 그 직경이 적어도 탄소나노튜브의 직경보다 큰 것이 바람직하다.

상술된 전기방사장치는 본 발명에서 사용가능한 전기방사장치에 대한 일예에 불과하며, 폴리머용액을 이용하여 나노섬유를 방사할 수 있는 다른 형태의 전기방사장치도 유익하게 사용될 수 있다.

이하, 실시예를 통하여 본 발명을 보다 구체적으로 설명한다.

다만, 본 실시예는 본 발명의 용이한 설명을 위한 예시에 불과하며, 출발물질 및 다른 공정조건은 당업자에 의해 적절히 변형되어 사용될 수 있으므로, 이에 한정되는 것은 아니다.

(실시예)

우선, 폴리머로서 폴리아크릴로나이트릴(PAN) 약 70wt%를 DMF용매에 용해시켜 폴리머용액을 마련하였다. 이어, CVD법으로 제조된 다중벽(multi-wall) 탄소나노튜브를 각각 0.5wt%, 1wt%, 3wt%, 5wt% 및 10wt%를 첨가하고 균일하게 혼합하여 5종의 탄소나노튜브 함유 폴리머용액을 마련하였다.

이어, 도3에 도시된 전기방사장치와 유사한 장치(방사구 직경: 0.5㎜)를 이용하여 상기 5종의 탄소나노튜브 함유 폴리머용액을 Cu막 상에 방사하여 5종의 나노섬유웹층을 형성하였다. 본 실시예에서 채용된 전기방사조건으로는, 인가전압을 20㎸로 하고, 피펫의 방사구와 기판의 거리는 10㎝로 하였다.

다음으로, 각각 나노섬유웹층에 대해 산소를 블로잉하면서 약 250℃온도에서 3시간동안 산화공정을 실시하였다. 도4a 내지 도4e는 산화공정(또는 안정화공정)에 얻어진 나노섬유웹구조를 나타내며, 각각 5wt%, 1wt%, 3wt%, 5wt% 및 10wt%의 탄소나노튜브가 첨가된 폴리머용액으로부터 얻어진 나노섬유웹구조의 SEM사진(×5000)이다. 약 300∼500㎚의 직경을 갖는 나노섬유가 웹구조로 형성된 것을 확인할 수 있다.

여기서, 각 나노섬유구조에 탄소나노튜브가 적절하게 포함되어 있는지 여부를 확인하기 위해서, 보다 확대하여 나노섬유조직을 촬영하였다. 도5는 도4e의 나노섬유웹구조(탄소나노튜브 10wt%의 폴리머용액)을 확대 촬영한 사진이다. 도5와 같이, 중앙에 위치한 나노섬유의 끝단에 직경이 약 10㎚인 탄소나노튜브(CNT)가 2가닥 노출되어 있다. 이와 같이 탄소나노튜브가 나노섬유로부터 부분적으로 노출되어 전계방출용 에미터로서 작용할 수 있다는 것을 확인할 수 있다.

다음으로, 산화된(또는 안정화된) 나노섬유를 질소분위기에서 약 900℃의 온 도로 45분동안 열처리하는 공정을 실시하였다. 본 열처리공정을 통해 나노섬유로부터 육각형 흑연구조를 이루어진 못하는 모든 유기성분이 제거되어 상기 나노섬유웹층은 탄소섬유로 구성될 수 있다.

도6a 내지 도6c는 각각 다른 배율로 탄소섬유웹층(탄소나노튜브 10wt%의 예)을 촬영한 사진이다. 도6a 내지 도6b를 참조하면, 앞서 살펴본 도4d의 나노섬유구조에 비해 육각형 흑연구조를 이루어진 못하는 유기성분이 제거되면서 부분적으로 변형이 일어나지만, 기본적으로 웹구조를 유지하는 것을 확인할 수 있었다.

상기 탄소섬유웹층을 전계방출장치에 적용하여 발광상태를 도7에 나타난 바와 같이 촬영하였다. 도7와 같이, 육안을 관찰할 때에 전체면적에서 비교적 균일한 발광이 일어나는 것을 확인할 수 있었다. 이는 도5와 같이 나노섬유에 탄소나노튜브가 일부가 노출되도록 부착되고, 상기 탄소나노튜브에 전도성을 갖는 탄소나노섬유를 통해 전압이 제공되어 전계방출효과를 발생하기 때문이다.

이와 같이, 본 실시예를 통해, 전기방사공정을 이용하여 우수한 발광특성을 가지면서 부착강도가 우수한 탄소나노튜브 에미터전극을 제조할 수 있다는 것을 알 수 있다.

본 발명은 상술한 실시형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니며, 첨부된 청구범위에 의해 한정하고자 한다. 따라서, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이며, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.

상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 탄소나노튜브를 탄화가능한 폴리머와 용매를 혼합하여 탄소나노튜브 함유 폴리머용액을 마련하고, 상기 폴리머용액으로 전기방사공정을 실시함으로써 탄소나노튜브의 부착강도가 우수할 뿐만 아니라 접촉저항이 개선되어 우수한 발광특성을 나타내는 탄소섬유웹구조의 에미터전극을 제공할 수 있다.

Claims

탄소로 이루어진 다수의 나노섬유가 웹구조로 형성된 탄소섬유웹층; 및,

적어도 일부가 상기 나노섬유의 외부로 노출되도록 상기 다수의 나노섬유에 부착되며, 적어도 상기 탄소나노섬유의 직경보다 작은 다수의 탄소나노튜브를 포함하는 탄소섬유웹구조의 에미터전극.
제1항에 있어서,

상기 탄소섬유웹층은 폴리아크릴로나이트릴(polyacrylonitrile), 셀룰로오스(celluose), 페놀수지 및, 폴리이미드(polyimide)로 구성된 그룹에서 선택된 적어도 하나의 물질로부터 얻어진 것을 특징으로 하는 탄소섬유웹구조의 에미터전극.
삭제
탄화가능한 폴리머와 탄소나노튜브 및 용매를 혼합하여 탄소나노튜브 함유 폴리머용액을 마련하는 단계;

상기 탄소나노튜브 함유 폴리머용액을 이용한 전기방사공정을 실시함으로써 기판 상에 적어도 상기 탄소나노튜브보다 큰 직경을 갖는 나노섬유로 이루어진 나노섬유웹층을 형성하는 단계;

상기 나노섬유웹층에서 폴리머가 가교결합되도록 상기 나노섬유웹층을 안정화시키는 단계; 및

상기 가교결합된 폴리머가 상기 나노섬유웹층를 탄화시키는 단계를 포함하는 탄소섬유웹구조의 에미터전극 제조방법.
제4항에 있어서,

상기 탄화가능한 폴리머는 폴리아크릴로나이트릴(polyacrylonitrile), 셀룰로오스(celluose), 페놀수지 및, 폴리이미드(polyimide)로 구성된 그룹에서 선택된 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 탄소섬유웹구조의 에미터전극 제조방법.
삭제
제4항에 있어서,

상기 기판은 도전성 기판인 것을 특징으로 하는 탄소섬유웹구조의 에미터전극 제조방법.
제4항에 있어서,

상기 나노섬유웹층을 안정화시키는 단계는,

산화성 가스분위기에서 150∼350℃온도로 상기 나노섬유웹층의 폴리머를 산화시키는 단계인 것을 특징으로 하는 탄소섬유웹구조의 에미터전극 제조방법.
제4항에 있어서,

상기 나노섬유웹층을 탄화시키는 단계는,

불화성 분위기에서 600∼1300℃온도로 상기 나노섬유웹층의 폴리머를 탄화시키는 단계인 것을 특징으로 하는 탄소섬유웹구조의 에미터전극 제조방법.