JP2017129417A - Strain sensor element - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、歪みセンサ素子に関する。 The present invention relates to a strain sensor element.
例えばゲーム等に利用される仮想現実(バーチャルリアリティ)技術において人体の動きを再現するために人体の動きを検出する動作検出デバイスが求められている。また、動作検出デバイスは、例えばスポーツ選手等の動きを科学的に解析するためにも利用が検討されている。 For example, there is a need for a motion detection device that detects the movement of a human body in order to reproduce the movement of the human body in virtual reality technology used in games and the like. In addition, the use of motion detection devices is also being considered for scientific analysis of movements of athletes, for example.
人体の動きを検出する動作検出デバイスとしては、一例として、伸縮性を有する布帛から形成され、肘等の関節の周囲にフィットするよう装着される筒状乃至サポーター状の支持体と、この支持体の関節曲げ伸ばし方向外側かつ関節の近位遠位方向の両側の2点間に架け渡すよう取り付けられ、伸縮可能かつ自身の伸縮量を検出可能な導電エラストマーを含む帯状の歪みセンサ素子とを備える関節折り曲げ角度検出装置が提案されている(特開平1−136632号公報参照)。 As an example of the motion detection device for detecting the movement of the human body, a cylindrical or supporter support body that is formed of a stretchable fabric and is fitted to fit around a joint such as an elbow, and the support body. And a belt-like strain sensor element including a conductive elastomer which is attached so as to be bridged between two points on both the outer side of the joint bending and extending direction and the proximal and distal directions of the joint, and which is extendable and capable of detecting the amount of expansion and contraction. A joint bending angle detection device has been proposed (see Japanese Patent Laid-Open No. 1-136632).
前記公報に記載の動作検出デバイスでは、布帛から形成される支持体に歪みセンサ素子又は歪みセンサ素子に取り付けた部材を縫い付けることによって、支持体に歪みセンサ素子を固定している。このように、布帛に歪みセンサ素子を縫い付ける場合、先ず、粘着性の接着剤等を用いて布帛に歪みセンサ素子を仮止めしなければ正確な位置に歪みセンサ素子を容易に取り付けることができない。しかしながら、歪みセンサ素子の取り付けにおいて、仮止めを行うことは煩雑である。 In the motion detection device described in the publication, the strain sensor element is fixed to the support body by sewing a strain sensor element or a member attached to the strain sensor element to the support body formed of a fabric. As described above, when the strain sensor element is sewn on the fabric, the strain sensor element cannot be easily attached to an accurate position unless the strain sensor element is temporarily fixed to the fabric using an adhesive or the like. . However, temporarily attaching the strain sensor element is troublesome.
前記不都合に鑑みて、本発明は、布帛への取り付けが比較的容易な歪みセンサ素子を提供することを課題とする。 In view of the above disadvantages, an object of the present invention is to provide a strain sensor element that is relatively easy to attach to a fabric.
前記課題を解決するためになされた発明は、長手方向の歪みに応じて電気抵抗が変化する帯状又は糸状の検出部と、前記検出部の長手方向両端にそれぞれ配設され、その幅が先端側に漸減する一対の針状部とを備える歪みセンサ素子である。 The invention made in order to solve the above-mentioned problems is provided with a strip-like or thread-like detecting portion whose electrical resistance changes according to the strain in the longitudinal direction, and arranged at both ends in the longitudinal direction of the detecting portion, the width of which is the tip side A strain sensor element comprising a pair of needle-like portions gradually decreasing.
当該歪みセンサ素子は、前記検出部の長手方向両端に、その幅が先端側に漸減する一対の針状部を備えることによって、この針状部を布帛に差し込むことで仮止めすることができるため、布帛の正確な位置への取り付けが比較的容易である。 Since the strain sensor element is provided with a pair of needle-like portions whose width gradually decreases toward the distal end at both ends in the longitudinal direction of the detection portion, the needle-like portions can be temporarily fixed by being inserted into the fabric. It is relatively easy to attach the fabric to the correct position.
前記一対の針状部が、前記検出部の両端に接続される一対の電極であるとよい。このように、前記一対の針状部が、前記検出部の両端に接続される一対の電極であることによって、針状部のために部品点数を増加させず、当該歪みセンサ素子の構成を比較的簡素にすることができる。 The pair of needle-like parts may be a pair of electrodes connected to both ends of the detection part. Thus, the pair of needle-like parts is a pair of electrodes connected to both ends of the detection part, so that the number of parts is not increased due to the needle-like part, and the configuration of the strain sensor element is compared. Can be simplified.
前記一対の針状部が、前記検出部の両端に接続される一対の電極に対向するよう配置される一対の挟持部材であるとよい。このように、前記一対の針状部が、前記検出部の両端に接続される一対の電極に対向するよう配置される一対の挟持部材であること、つまり検出部と電極との接続をより確実にするために設けられ得る一対の挟持部材を針状部とすることによって、針状部のために部品点数を増加させず、当該歪みセンサ素子の構成を比較的簡素にすることができる。 The pair of needle-like portions may be a pair of clamping members arranged to face a pair of electrodes connected to both ends of the detection portion. In this way, the pair of needle-like parts is a pair of clamping members disposed so as to face the pair of electrodes connected to both ends of the detection part, that is, the connection between the detection part and the electrode is more reliable. By making the pair of sandwiching members that can be provided to be needle-like portions, the number of parts for the needle-like portions is not increased, and the configuration of the strain sensor element can be made relatively simple.
前記針状部の側縁部に凹部を有するとよい。このように、前記針状部の側縁部に凹部を有することによって、この凹部に布帛の繊維が係合することで、当該歪みセンサの仮止めがより確実となり、布帛の取り付けがさらに容易となる。また、布帛に糸を縫い付けて当該歪みセンサ素子を固定する場合、縫い付けた糸が凹部に係合するので、当該歪みセンサ素子の固定がより確実となる。 It is good to have a recessed part in the side edge part of the said acicular part. Thus, by having a recess in the side edge portion of the needle-like portion, the fabric fiber is engaged with the recess, so that the temporary fixing of the strain sensor becomes more reliable, and the fabric can be attached more easily. Become. In addition, when the strain sensor element is fixed by sewing a thread on the fabric, since the sewn thread engages with the recess, the strain sensor element is more reliably fixed.
前記針状部が貫通孔を有するとよい。このように、前記針状部が貫通孔を有することによって、この貫通孔に糸を縫い付けて当該歪みセンサ素子をさらに確実に固定することができる。 The needle-like portion may have a through hole. Thus, since the needle-like portion has a through hole, the strain sensor element can be more reliably fixed by sewing a thread into the through hole.
上述のように、本発明の歪みセンサ素子は、布帛への取り付けが比較的容易である。 As described above, the strain sensor element of the present invention is relatively easy to attach to the fabric.
以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を詳説する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as appropriate.
[第一実施形態]
図1及び図2に示す本発明の第一実施形態の歪みセンサ素子は、長手方向の歪みに応じて電気抵抗が変化する帯状の検出部1と、この検出部1の長手方向両端にそれぞれ配設され、その幅が先端側に漸減する一対の針状部2とを備える。
[First embodiment]
The strain sensor elements of the first embodiment of the present invention shown in FIGS. 1 and 2 are arranged in strip-
本実施形態において、一対の針状部2は、検出部1の両端に電気的及び機械的に接続される一対の電極である。この一対の針状部2は、検出部1の表面の両端部分を覆うよう積層して固定するとよい。
In the present embodiment, the pair of needle-
<検出部>
検出部1は、伸縮に応じて電気抵抗が変化するものであればよいが、例えば一方向に引き揃えられる複数のCNT繊維を含む膜状検出体を用いることができる。
<Detector>
Although the
検出部1(膜状検出体)の平均幅の下限としては、0.3mmが好ましく、0.5mmがより好ましい。一方、検出部1の平均幅の上限としては、10mmが好ましく、5mmがより好ましく、2mmがさらに好ましい。検出部1の平均幅が前記下限に満たない場合、検出部1の強度が不十分となるおそれがある。逆に、検出部1の平均幅が前記上限を超える場合、当該歪みセンサ素子が大きくなり、適用可能な測定対象が過度に限定されるおそれがある。
As a minimum of average width of detection part 1 (film-like detection object), 0.3 mm is preferred and 0.5 mm is more preferred. On the other hand, the upper limit of the average width of the
検出部1の平均厚さの下限としては、10μmが好ましく、15μmがより好ましい。一方、検出部1の平均厚さの上限としては、3mmが好ましく、1mmがより好ましい。検出部1の平均厚さが前記下限に満たない場合、強度が不十分となるおそれがある。逆に、検出部1の平均厚さが前記上限を超える場合、針状部2を布帛へ差し込む際に検出部1が緩衝して当該歪みセンサ素子の固定を阻害するおそれがある。
As a minimum of average thickness of
検出部1の長手方向の平均長さとしては、特に限定されず、当該歪みセンサ素子を用いる測定対象に応じて自由に選択することができるが、例えば1cm以上20cm以下とすることができる。
The average length in the longitudinal direction of the
検出部1のうち、平面視で一対の針状部2間に挟まれ、実質的に伸縮して電気抵抗が変化する検出領域の長手方向の平均長さは、当該歪みセンサ素子を用いる測定対象に応じて自由に選択することができる。前記検出領域の平均長さとしては、例えば2mm以上18cm以下とすることができる。
The average length in the longitudinal direction of the detection region, which is sandwiched between the pair of needle-
検出部1のうち、平面視で一対の針状部2と重複し、実質的に歪みの検出に寄与しない固定領域の長手方向の平均長さは、針状部2の取り付け方法等に応じて適宜選択されるが、例えば3mm以上5cm以下とすることができる。
The average length in the longitudinal direction of the fixed region that overlaps with the pair of needle-
検出部1の歪みがない状態での電気抵抗(一対の針状部2間で測定される値)の下限としては、10Ωが好ましく、100Ωがより好ましい。一方、検出部1の歪みがない状態での電気抵抗の上限としては、100kΩが好ましく、10kΩがより好ましい。検出部1の歪みがない状態での電気抵抗が前記下限に満たない場合、伸び歪みを検出するための電流が大きくなり当該歪みセンサ素子の消費電力が大きくなるおそれがある。逆に、検出部1の歪みがない状態での電気抵抗が前記上限を超える場合、検出回路の電圧が高くなることで当該歪みセンサ素子の出力を処理する装置の小型化や省電力化が困難となるおそれがある。
The lower limit of the electrical resistance (a value measured between the pair of needle-like parts 2) in a state where the
〔膜状検出体〕
前記膜状検出体は、一方向に引き揃えられる複数のCNT繊維から形成される層を有し、CNT繊維の層の少なくとも表層(表面近傍領域)に後述の絶縁性エラストマーが含浸することにより膜状に形成されている。また、絶縁性エラストマーはCNT繊維間の電気的接触を阻害するため、CNT繊維の層の中心部には絶縁性エラストマーが含浸しない領域が残される。また、絶縁性エラストマーの含浸によってCNT繊維の層が絶縁性エラストマーによって被覆された状態となるため、膜状検出体の表層には絶縁性エラストマーからなる薄い層が形成されているとも考えられる。
[Membrane-shaped detector]
The film-like detector has a layer formed of a plurality of CNT fibers aligned in one direction, and the film is formed by impregnating an insulating elastomer described later at least on the surface layer (surface vicinity region) of the CNT fiber layer. It is formed in a shape. Further, since the insulating elastomer inhibits electrical contact between the CNT fibers, a region not impregnated with the insulating elastomer remains in the center of the CNT fiber layer. Further, since the CNT fiber layer is covered with the insulating elastomer by impregnation with the insulating elastomer, it is considered that a thin layer made of the insulating elastomer is formed on the surface layer of the film-like detection body.
このような膜状検出体は、前記絶縁性エラストマーの弾性力によって弾性を有し、少なくとも長手方向に伸縮可能である。この膜状検出体は、少なくとも長手方向に伸長することによってCNT繊維同士が離間して電気抵抗が増大し、弾性力により収縮することで、CNT繊維同士が再度接触して電気抵抗が減少する。なお、膜状検出体は、CNT繊維間の接触率を抑制して電気抵抗を調整するために、例えば合成樹脂等からなる絶縁性の繊維をCNT繊維の層内に含んでもよい。 Such a film-like detection body has elasticity due to the elastic force of the insulating elastomer, and can expand and contract at least in the longitudinal direction. By extending at least in the longitudinal direction, the CNT fibers are separated from each other to increase the electric resistance, and the film-like detection body contracts due to the elastic force, so that the CNT fibers are brought into contact again and the electric resistance is decreased. The film-like detector may include insulating fibers made of, for example, a synthetic resin in the CNT fiber layer in order to suppress the contact rate between the CNT fibers and adjust the electric resistance.
膜状検出体は、少なくとも表層に絶縁性エラストマーが含浸しているので、後述のCNT繊維束を絶縁性エラストマーが被覆するため、この絶縁性エラストマーが複数のCNT繊維束の伸縮方向をガイドするガイド部材としても機能する。その結果、当該歪みセンサ素子は、伸長時に離間されたCNT繊維同士を収縮時に再度同一部位で再接触させることが可能となり、繰り返し使用に基づく伸縮歪みの検出精度の低下を防止することができる。さらに、かかる構成によると、複数のCNT繊維間の当接関係が維持され易いと共に、複数のCNT繊維の伸縮性を調整し易い。従って、膜状検出体の伸縮歪みをさらに精度よく検出することができる。 Since at least the surface layer of the film-like detection body is impregnated with an insulating elastomer, the insulating elastomer covers a CNT fiber bundle described later. Therefore, the insulating elastomer guides the stretching direction of a plurality of CNT fiber bundles. It also functions as a member. As a result, the strain sensor element can re-contact the CNT fibers separated at the time of extension at the same site again at the time of contraction, and can prevent a reduction in the detection accuracy of the stretching strain due to repeated use. Furthermore, according to such a configuration, the contact relationship between the plurality of CNT fibers is easily maintained, and the stretchability of the plurality of CNT fibers is easily adjusted. Therefore, the expansion / contraction strain of the film-like detection body can be detected with higher accuracy.
また、このような当接関係の維持及び伸縮性の調整をさらに容易にするためには、CNT繊維の層の裏層(裏面近傍領域)にも絶縁性エラストマーが含浸していることが好ましい。この際、CNT繊維の層の表層の少なくとも一部に絶縁性エラストマーが含浸するので、CNT繊維の層と絶縁性エラストマーとの結合力も高まる。 In order to further maintain the contact relationship and adjust the stretchability, it is preferable that the insulating elastomer is also impregnated in the back layer (region near the back surface) of the CNT fiber layer. At this time, since at least a part of the surface layer of the CNT fiber layer is impregnated with the insulating elastomer, the bonding strength between the CNT fiber layer and the insulating elastomer is also increased.
(CNT繊維)
膜状検出体に用いられるCNT繊維は、それぞれ複数のCNT単繊維から形成することができる。ここで、CNT単繊維とは、1本の長尺のカーボンナノチューブをいう。また、CNT繊維は、CNT単繊維の端部同士が連結する連結部を有する。CNT単繊維同士は、これらのCNT単繊維の長手方向に連結している。このように、膜状検出体において、CNT単繊維同士がその長手方向に連結することでCNT繊維の配向長さの大きい層を形成することができ、当該歪みセンサ素子の長手方向の長さを大きくして感度を向上することができる。
(CNT fiber)
Each of the CNT fibers used for the film-like detector can be formed from a plurality of CNT single fibers. Here, the CNT single fiber means one long carbon nanotube. In addition, the CNT fiber has a connection portion where the ends of the CNT single fibers are connected to each other. The CNT single fibers are connected in the longitudinal direction of these CNT single fibers. In this way, in the film-like detector, the CNT single fibers are connected in the longitudinal direction to form a layer with a large orientation length of the CNT fibers, and the length of the strain sensor element in the longitudinal direction can be increased. The sensitivity can be improved by increasing the sensitivity.
また、膜状検出体のCNT繊維の層において、複数のCNT繊維は、網目構造を形成していてもよい。具体的には、複数のCNT繊維はCNT単繊維同士が連結する連結部等により網目状に連結又は接触していてもよい。この際、この連結部では3つ以上のCNT単繊維の端部が結合していてもよく、2つのCNT単繊維の端部と他の単繊維の中間部とが結合していてもよい。複数のCNT繊維がこのような網目構造を形成することで、CNT繊維同士が密接し、CNT繊維の層の抵抗を下げることができる。 Moreover, in the CNT fiber layer of the film-like detector, the plurality of CNT fibers may form a network structure. Specifically, the plurality of CNT fibers may be connected or contacted in a mesh shape by a connecting portion or the like where the CNT single fibers are connected to each other. At this time, the end portions of three or more CNT single fibers may be coupled to each other at this connection portion, and the end portions of the two CNT single fibers may be coupled to an intermediate portion of another single fiber. When a plurality of CNT fibers form such a network structure, the CNT fibers are in close contact with each other, and the resistance of the CNT fiber layer can be reduced.
さらに、膜状検出体は、長手方向に配向する複数のCNT繊維からなるCNT繊維束を有してもよい。膜状検出体が長手方向に配向する複数のCNT繊維束を有する場合、膜状検出体が伸縮方向に延伸されるよう歪みが加わった際にCNT繊維の切断、離間、CNT繊維束の切断空間(ギャップ)の伸縮等により膜状検出体の抵抗がより的確に変化する。 Furthermore, the film-like detector may have a CNT fiber bundle composed of a plurality of CNT fibers oriented in the longitudinal direction. When the film-shaped detector has a plurality of CNT fiber bundles oriented in the longitudinal direction, the CNT fibers are cut and separated when the film-shaped detector is stretched in the expansion / contraction direction, and the space for cutting the CNT fiber bundles. The resistance of the film-like detection body changes more accurately due to expansion and contraction of the (gap).
より具体的には、前記CNT繊維束は、複数のCNT繊維からなるバンドル構造となっており、このCNT繊維束の任意の横断面においては、切断されないCNT繊維と、CNT繊維が切断及び離間したギャップとの両方が存在することになる。また、複数のCNT繊維束は表層を絶縁性エラストマーで被覆されているので、このギャップ内の圧力は大気圧よりも低い(負圧である)と考えられるため、当該歪みセンサ素子の収縮時(歪の解放時)にはこのギャップの収縮力によって歪みセンサ素子の収縮が付勢される。さらに、このギャップ内ではCNT繊維同士の摩擦が低減されるため、CNT繊維の動きが制限され難い。 More specifically, the CNT fiber bundle has a bundle structure composed of a plurality of CNT fibers. In an arbitrary cross section of the CNT fiber bundle, the CNT fibers that are not cut and the CNT fibers are cut and separated. Both gaps will exist. Further, since the surface layer of the plurality of CNT fiber bundles is coated with an insulating elastomer, the pressure in the gap is considered to be lower than the atmospheric pressure (negative pressure), and therefore, when the strain sensor element contracts ( When the strain is released, the strain sensor element is contracted by the contraction force of the gap. Furthermore, since the friction between the CNT fibers is reduced in the gap, the movement of the CNT fibers is difficult to be limited.
なお、膜状検出体におけるCNT繊維の層は、複数のCNT繊維又は複数のCNT繊維束を平面状に略平行に配置した単層構造からなってもよいし、多層構造からなってもよい。但し、ある程度の導電性を確保するためには、多層構造とすることが好ましい。 In addition, the layer of the CNT fibers in the film-like detector may have a single-layer structure in which a plurality of CNT fibers or a plurality of CNT fiber bundles are arranged substantially in parallel in a planar shape, or may have a multilayer structure. However, in order to ensure a certain degree of conductivity, a multilayer structure is preferable.
CNT単繊維としては、単層のシングルウォールナノチューブ(SWNT)や、多層のマルチウォールナノチューブ(MWNT)のいずれも用いることができるが、導電性及び熱容量等の点から、MWNTが好ましく、直径1.5nm以上100nm以下のMWNTがさらに好ましい。 As the CNT single fiber, either single-wall single-wall nanotubes (SWNT) or multi-wall multi-wall nanotubes (MWNT) can be used, but MWNT is preferable from the viewpoint of conductivity and heat capacity, and a diameter of 1. MWNT of 5 nm or more and 100 nm or less is more preferable.
前記CNT単繊維は、公知の方法で製造することができ、例えばCVD(化学蒸着:chemical vapor deposition)法、アーク法、レーザーアブレーション法、DIPS(直噴熱分解合成:direct injection pyrolytic synthesis)法、CoMoCAT法(商標)等により製造することができる。これらの中でも、所望するサイズのカーボンナノチューブ(MWNT)を効率的に得ることができる点から、鉄を触媒とし、エチレンガスを用いたCVD法により製造することが好ましい。この場合、石英ガラス基材や酸化膜付きシリコン基材等の基材上に触媒となる鉄又はニッケル薄膜を成膜し、カーボンナノチューブを垂直配向成長させることによって所望の長さのカーボンナノチューブの結晶を得ることができる。 The CNT single fiber can be produced by a known method, for example, CVD (chemical vapor deposition) method, arc method, laser ablation method, DIPS (direct injection pyrolysis synthesis) method, It can be manufactured by the CoMoCAT method (trademark) or the like. Among these, it is preferable to produce by a CVD method using iron as a catalyst and ethylene gas from the viewpoint that carbon nanotubes (MWNT) having a desired size can be efficiently obtained. In this case, a carbon nanotube crystal having a desired length is obtained by forming a catalyst iron or nickel thin film on a substrate such as a quartz glass substrate or a silicon substrate with an oxide film and vertically growing the carbon nanotubes. Can be obtained.
(絶縁性エラストマー)
絶縁性エラストマーは、上述のように、CNT繊維の層に含浸されると共にCNT繊維の層表面を被覆する層を形成するものであって、歪みセンサ素子に弾性力を付与する機能を有する。膜状検出体の一方の面を被覆する絶縁性エラストマーの層を基板層と呼び、膜状検出体の他方の面を被覆する絶縁性エラストマーの層を保護層と呼んで区別することができる。膜状検出体のCNT繊維の層に含浸する絶縁性エラストマーとしては、例えばゴム、スチレン系エラストマー、オレフィン系エラストマー、塩ビ系エラストマー、ウレタン系エラストマー、アミド系エラストマー等を用いることができる。
(Insulating elastomer)
As described above, the insulating elastomer is impregnated in the CNT fiber layer and forms a layer covering the surface of the CNT fiber layer, and has a function of imparting elastic force to the strain sensor element. The insulating elastomer layer covering one surface of the film-like detector can be distinguished by being called a substrate layer, and the insulating elastomer layer covering the other surface of the film-like detector can be called a protective layer. As the insulating elastomer impregnated in the CNT fiber layer of the film-like detector, for example, rubber, styrene elastomer, olefin elastomer, vinyl chloride elastomer, urethane elastomer, amide elastomer and the like can be used.
前記ゴムとしては、例えば天然ゴム(NR)、ブチルゴム(IIR)、イソプレンゴム(IR)、エチレン・プロピレンゴム(EPDM)、ブタジエンゴム(BR)、ウレタンゴム(U)、スチレン・ブタジエンゴム(SBR)、シリコーンゴム(Q)、クロロプレンゴム(CR)、クロロスルフォン化ポリエチレンゴム(CSM)、アクリロニトリルブタジエンゴム(NBR)、塩素化ポリエチレン(CM)、アクリルゴム(ACM)、エピクロルヒドリンゴム(CO,ECO)、フッ素ゴム(FKM)、ポリジメチルシロキサン(PDMS)等が挙げられる。中でも、強度等の点から天然ゴムが好ましい。 Examples of the rubber include natural rubber (NR), butyl rubber (IIR), isoprene rubber (IR), ethylene / propylene rubber (EPDM), butadiene rubber (BR), urethane rubber (U), and styrene / butadiene rubber (SBR). , Silicone rubber (Q), chloroprene rubber (CR), chlorosulfonated polyethylene rubber (CSM), acrylonitrile butadiene rubber (NBR), chlorinated polyethylene (CM), acrylic rubber (ACM), epichlorohydrin rubber (CO, ECO), Examples thereof include fluororubber (FKM) and polydimethylsiloxane (PDMS). Among these, natural rubber is preferable from the viewpoint of strength and the like.
前記絶縁性エラストマーは、水性エマルジョンの塗工によりCNT繊維の層に含浸されているとよい。前記水性エマルジョンとは、分散媒の主成分が水であるエマルジョンをいう。カーボンナノチューブは疎水性が高いため、水性エマルジョンを用いた塗工により絶縁性エラストマーを被覆させると、この絶縁性エラストマーは複数のCNT繊維間に完全には入り込まない。つまり、複数のCNT繊維の間には部分的に絶縁性エラストマーが含浸するが、この絶縁性エラストマーは各CNT繊維の厚さ方向の断面における全領域には含浸しない。これにより、絶縁性エラストマーが複数のCNT繊維間に完全にしみ込んで、膜状検出体の抵抗変化に影響を及ぼすことを抑制し、絶縁性エラストマーの存在に起因する膜状検出体の歪みに対する感度の低下を抑えることができる。 The insulating elastomer may be impregnated in a layer of CNT fibers by application of an aqueous emulsion. The aqueous emulsion refers to an emulsion in which the main component of the dispersion medium is water. Since carbon nanotubes are highly hydrophobic, when an insulating elastomer is coated by application using an aqueous emulsion, the insulating elastomer does not completely enter between a plurality of CNT fibers. That is, the insulating elastomer is partially impregnated between the plurality of CNT fibers, but this insulating elastomer is not impregnated in the entire region in the cross section in the thickness direction of each CNT fiber. As a result, the insulating elastomer is completely infiltrated between the plurality of CNT fibers to suppress the change in resistance of the film-shaped detector, and the sensitivity to the distortion of the film-shaped detector due to the presence of the insulating elastomer is suppressed. Can be suppressed.
前記水性エマルジョンの分散媒の主成分は、水であるが、その他の例えばアルコール等の親水性分散媒が含有されていてもよい。 The main component of the dispersion medium of the aqueous emulsion is water, but other hydrophilic dispersion medium such as alcohol may be contained.
好ましいエマルジョンとしては、分散媒を水とし、ゴムを分散質とするいわゆるラテックスが挙げられ、天然ゴムラテックスが好ましい。天然ゴムラテックスを用いることで、薄くかつ強度のある被膜を形成することができる。 Preferred emulsions include so-called latexes in which the dispersion medium is water and rubber is a dispersoid, and natural rubber latex is preferred. By using natural rubber latex, a thin and strong film can be formed.
また、前記絶縁性エラストマーはカップリング剤を含有しているとよい。絶縁性エラストマーがカップリング剤を含有することで、絶縁性エラストマーとCNT繊維とを架橋し、絶縁性エラストマーとCNT繊維との接合力を向上させることができる。 The insulating elastomer may contain a coupling agent. When the insulating elastomer contains a coupling agent, the insulating elastomer and the CNT fiber can be cross-linked, and the bonding strength between the insulating elastomer and the CNT fiber can be improved.
前記カップリング剤としては、例えばアミノシランカップリング剤、アミノチタンカップリング剤、アミノアルミニウムカップリング剤等のアミノカップリング剤やシランカップリング剤などを用いることができる。 As said coupling agent, amino coupling agents, such as an aminosilane coupling agent, an amino titanium coupling agent, and an amino aluminum coupling agent, a silane coupling agent, etc. can be used, for example.
また、絶縁性エラストマーはCNT繊維に対する吸着性を有する分散剤を含有することが好ましい。このような吸着性を有する分散剤としては、例えば吸着基部分が塩構造になっているもの(例えばアルキルアンモニウム塩等)、CNT繊維の疎水性の基(例えばアルキル鎖や芳香族リング等)と相互作用できる親水性の基(例えばポリエーテル等)を分子中に有するもの等を用いることができる。 Moreover, it is preferable that the insulating elastomer contains a dispersant having an adsorptivity to the CNT fiber. Examples of such an adsorbent dispersant include those having an adsorption group portion having a salt structure (eg, alkylammonium salt), hydrophobic groups of CNT fibers (eg, alkyl chains and aromatic rings), and the like. The thing etc. which have the hydrophilic group (for example, polyether etc.) which can interact in a molecule | numerator can be used.
絶縁性エラストマーの層の表面には、さらに異なる樹脂材料からなるアシスト層が積層されてもよい。この絶縁性エラストマーと異なる材料として弾性力や耐久性に優れた樹脂材料を採用することで、当該歪みセンサ素子の伸縮性及び耐久性を高めることができる。この絶縁性エラストマーと異なる材料としては、具体的にはウレタン樹脂が好ましい。 An assist layer made of a different resin material may be further laminated on the surface of the insulating elastomer layer. By adopting a resin material having excellent elasticity and durability as a material different from the insulating elastomer, the stretchability and durability of the strain sensor element can be enhanced. Specifically, a urethane resin is preferable as a material different from the insulating elastomer.
<針状部>
一対の針状部2は、検出部1の電気抵抗を測定するための配線を接続する端子として使用されると共に、当該歪みセンサ素子を布帛に固定する際に布帛に差し込まれることで当該歪みセンサ素子を仮止めするために使用される。つまり、当該歪みセンサ素子は、針状部2を布帛に差し込むことによって正確な位置に仮止めしてから、例えば硬化性接着剤等を用いて布帛に対して恒久的に固定される。
<Needle part>
The pair of needle-
この針状部2と検出部1のCNT繊維の層との電気的接続方法としては、特に限定されないが、例えば保護層及びCNT繊維の層の表面の絶縁性エラストマーをレーザー照射等により除去して露出するカーボンナノチューブに直接接触させる方法、CNT繊維の層のカーボンナノチューブが露出する端面(例えばCNT繊維の層の側面、CNT繊維の層に形成した貫通穴の内周面等)と針状部2とに跨るよう導電性接着剤等を盛り付ける方法、検出部1に差し込まれてCNT繊維の層に達する突起を針状部2に設ける方法などが挙げられる。
The electrical connection method between the needle-
また、針状部2は、接着剤を用いて検出部1に固定することができる。またこの接着剤としては、例えば粘着剤、硬化性接着剤、熱可塑性接着剤等が使用できる。前記粘着剤としては、例えばアクリル系粘着剤等が挙げられる。前記硬化性接着剤としては、エポキシ系接着剤等が挙げられる。また、前記接着剤として、合成樹脂中に導電性フィラーを含有する導電性接着剤を用いれば、検出部1と針状部2との電気的固定と機械的固定とを同時に行うことができる。
Moreover, the needle-
また、接着剤を検出部1の長手方向の端面に盛り付けることによって、針状部2と検出部1との段差をなめらかにすることができ、これによって、針状部2に続いて検出部1の端部を布帛に差し込むことが容易となる。
Further, by placing the adhesive on the end face in the longitudinal direction of the
針状部2を構成する材料としては、十分な強度と導電性とを有するものであれば特に限定されないが、金属が好適に使用される。針状部2を構成する金属としては、例えば銅、アルミニウム、ニッケル、ステンレス鋼等が挙げられ、中でも剛性を有するニッケルやステンレス鋼が好適に用いられる。
The material constituting the needle-
針状部2の平均厚さの下限としては、0.2mmが好ましく、0.5mmがより好ましい。一方、針状部2の平均厚さの上限としては、3mmが好ましく、1mmがより好ましい。針状部2の平均厚さが前記下限に満たない場合、剛性が不足して布帛への差し込みが困難となるおそれがある。逆に、針状部2の平均厚さが前記上限を超える場合、検出部1の端部を布帛の繊維の間に差し込むことが困難となるおそれがある。
As a minimum of average thickness of
針状部2の検出部1に固定される部分の平均幅(通常、これが最大幅となる)は、検出部1の平均幅と略等しいことが好ましい。針状部2の検出部1に固定される部分の平均幅が検出部1の平均幅より小さい場合、検出部1を布帛に差し込むことが容易でなくなるおそれがある。針状部2の検出部1に固定される部分の平均幅が検出部1の平均幅より大きい場合、一旦布帛へ刺し込んだ後に当該歪みセンサ素子を引き戻すことが困難となるおそれがある。
It is preferable that the average width of the portion fixed to the
針状部2の検出部1に固定される部分の平均幅が検出部1の平均幅より大きい場合、針状部2の検出部1から延出する部分の平均幅の範囲としては、0mmより大きく、0.5mm以下が好ましい。上記範囲を超えた場合は上述のように、一旦布帛へ刺し込んだ後に当該歪みセンサ素子を引き戻すことが困難となるおそれがある。なお、針状部2の検出部1に固定される部分の平均幅が検出部1の平均幅より小さい場合は、針状部2から延出した検出部1を折り畳んだ状態で布帛に抜き差ししてもよい。
When the average width of the portion fixed to the
針状部2の平面形状としては、図示するように、長手方向の軸を中心に左右対称であってもよいが、左右非対称であってもよい。また、針状部2は、検出部1まで布帛に差し込まない場合には、検出部1から延出する部分の幅が検出部1に固定される部分の幅から不連続に小さくなるよう形成されてもよい。また、針状部2の先端形状としては、使用される布帛に差し込むことができる程度に細くなっていればよく、先端が丸く面取りされた形状であってもよい。また、針状部2は、その幅だけでなく厚さも先端側に漸減するよう形成されてもよいが、一定の厚さを有するものとすることで、板材からの打ち抜き加工等によって比較的容易に形成することができる。
As shown in the figure, the planar shape of the needle-
<利点>
当該歪みセンサ素子は、伸縮歪みを電気抵抗の変化に変換する検出部1の両端に、その幅が先端側に漸減する一対の針状部2を有するので、例えば図3に示すように、この針状部2を布帛Cに差し込むことで、比較的容易に布帛Cに対して仮止めすることができる。このように、当該歪みセンサ素子は、布帛への取り付けが比較的容易であるため、当該歪みセンサ素子を用いることで、人体の動きを検出するウェアラブルデバイスの製造が容易となる。
<Advantages>
Since the strain sensor element has a pair of needle-
また、当該歪みセンサ素子は、電極でもある針状部2を備えるので、布帛に予め形成した導電配線に針状部2を差し込むことによって、当該歪みセンサ素子を測定回路に接続することができる。
In addition, since the strain sensor element includes the needle-
[第二実施形態]
図4に示す本発明の第一実施形態の歪みセンサ素子は、長手方向の歪みに応じて電気抵抗が変化する帯状の検出部11と、この検出部11の長手方向両端にそれぞれ配設される一対の電極12と、検出部11を介して一対の電極12にそれぞれ対向するよう配設され、その幅が先端側に漸減する一対の針状部13とを備える。
[Second Embodiment]
The strain sensor element according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. 4 is disposed on a belt-
本実施形態において、一対の針状部13は、一対の電極12との間に検出部11を挟み込むことによって、検出部11と電極12との接続を確実にする一対の挟持部材である。
In the present embodiment, the pair of needle-
図4の歪みセンサ素子における検出部11は、図1の歪みセンサ素子における検出部1と同様とすることができる。このため、図4の歪みセンサ素子の検出部11についての重複する説明は省略する。
The
<電極>
一対の電極12は、検出部11の両端部の表面側に機械的に固定され、検出部11のCNT繊維の層に電気的に接続されている。この一対の電極12は、当該歪みセンサ素子の検出信号を電気的に取り出すための一対の端子として使用される。
<Electrode>
The pair of
この一対の電極12の材質としては、導電性を有し、かつ当該歪みセンサ素子の使用中に実質的に伸縮しないものとされる。なお、「実質的に伸縮しない」とは、検出部11の平面視で一対の電極12間の検出領域の当該歪みセンサ素子を用いた測定中における長手方向の伸縮率に対する電極12の長手方向の伸縮率の比が、1/100以下、好ましくは1/1000以下であることを意味する。また、当該歪みセンサ素子を用いた測定中における電極12の伸縮率に対する伸縮領域の伸縮率の比の桁数としては、測定における有効数値の桁数より大きいことが好ましく、2桁以上大きいことがより好ましい。
The material of the pair of
電極12を構成する材料としては、十分な非伸縮性(引張強度)と導電性とを有するものであれば特に限定されないが、例えば金属箔、導電性布等が使用される。また、電極12は、少なくとも外面に配置される導電層と、非伸縮性を付与する補強材層とを有する積層体であってもよい。前記金属箔の材質としては、例えば銅、アルミニウム、ニッケル、ステンレス鋼等が挙げられる。また、前記導電性布としては、少なくとも表面に導電性を有する繊維を含む織布や不織布が使用できる。さらに、電極12の表面を金等の腐食しにくい材料で被覆してもよい。また、セラミックスの表面を金等で被覆することで電極12を構成してもよい。
The material constituting the
電極12の平均厚さの下限としては、10μmが好ましく、50μmがより好ましい。一方、電極12の平均厚さの上限としては、1mmが好ましく、0.5mmがより好ましい。電極12の平均厚さが前記下限に満たない場合、曲げ等により電極12が破断するおそれがある。逆に、電極12の平均厚さが前記上限を超える場合、当該歪みセンサ素子が不必要に厚くなるおそれや、針状部13の布帛への差し込みを阻害するおそれがある。
As a minimum of average thickness of
図4の歪みセンサ素子における電極12の検出部11のCNT繊維の層への接続方法としては、図1の歪みセンサ素子における針状部2の検出部1のCNT繊維の層への接続方法と同様とすることができる。
As a method of connecting the
<針状部>
図4の歪みセンサ素子における針状部13は、電極12との間に検出部11の端部を挟み込むことによって、検出部11の電極12が積層される固定領域の変形を抑制する挟持部材である。このような構成により、当該歪みセンサ素子は、検出部11の検出領域だけを伸縮させることで、検出精度を向上する。
<Needle part>
The needle-
また、針状部13は、平面視で検出部11及び電極12から長手方向に突出し、この突出部分の少なくとも一部の幅が先端側に漸減している。これにより、当該歪みセンサ素子は、針状部13を布帛に差し込んで仮止めすることができるので、布帛に比較的容易かつ正確に取り付けることができる。
Moreover, the needle-
針状部13の材質としては、十分な剛性を有するものであればよく、導電性のものであっても絶縁性のものであってもよい。具体的には、針状部13としては、例えばポリイミド、ポリエチレンテレフタレート等を主成分とする樹脂組成物、ニッケル、ステンレス鋼、銅、アルミニウム等の金属などを使用することができる。
The material of the needle-
図4の歪みセンサ素子における針状部13の平均厚さ、検出部11に固定される部分の平均幅及び検出部11から延出する部分の平均幅としては、材質にもよるが、図1の歪みセンサ素子における針状部2の平均厚さ、検出部1に固定される部分の平均幅及び検出部1から延出する部分の平均幅と同様とすることができる。
The average thickness of the needle-
対向し合う電極12と針状部13とは、例えばボルト、リベット、クランプ等の締結部材(不図示)により挟持されてもよい。この締結部材は、検出部11、電極12及び針状部13を貫通してもよく、電極12を検出部11に電気的に接続するための部材を兼ねてもよい。
The opposing
針状部13は、例えば接着剤を用いて検出部11に積層することができる。この接着剤としては、電極12を積層するために使用されるものと同様のものを用いることができるが、導電性を有しないものを用いることが好ましい。
The
[第三実施形態]
図5に示す本発明の第一実施形態の歪みセンサ素子は、長手方向の歪みに応じて電気抵抗が変化する帯状の検出部21と、この検出部11の長手方向両端にそれぞれ配設される第1針状部22と、検出部21を介して一対の針状部22にそれぞれ対向するよう配設される第2針状部23とを備える。
[Third embodiment]
The strain sensor element according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. 5 is provided on a belt-
本実施形態において、一対の第1針状部22は、検出部21の電気抵抗を測定するための電極であり、一対の第2針状部23は、一対の第1針状部との間に検出部21を挟み込むことによって、検出部21の伸縮可能な領域を正確に確定し、当該歪みセンサ素子による伸縮歪みの検出精度を向上する挟持部材である。
In this embodiment, a pair of 1st
図5の歪みセンサ素子における検出部21及び第1針状部22は、図1の歪みセンサ素子における検出部1及び針状部2と同様とすることができる。また、図5の歪みセンサ素子における第2針状部23は、図5の歪みセンサ素子における針状部13と同様とすることができる。このため、図5の歪みセンサ素子についての重複する説明は省略する。
The
当該歪みセンサ素子において、対向し合う第1針状部22と第2針状部23とは、1本の針として機能する。検出部21の厚さが比較的大きい場合、第1針状部22と第2針状部23とは、屈曲することにより互いに密接するよう構成されたり、互いに撚り合わされたり、それぞれに形成した切欠きを咬合させたりすることによって、一体化されることが好ましい。
In the strain sensor element, the first needle-
このように、当該歪みセンサ素子は、電極である第1針状部22と、挟持部材である第2針状部23とを有することで表裏に急激に厚さを増大するような明確な段差が形成され難いことにより、第1針状部22及び第2針状部23を布帛に差し込んだとき、検出部21が布帛に引っかかり難いので、布帛への取り付けがより簡単である。
As described above, the strain sensor element has the first needle-
[第四実施形態]
図6に示す本発明の第四実施形態の歪みセンサ素子は、長手方向の歪みに応じて電気抵抗が変化する帯状の検出部1と、この検出部1の長手方向両端にそれぞれ配設される針状部2aとを備える。
[Fourth embodiment]
The strain sensor element according to the fourth embodiment of the present invention shown in FIG. 6 is disposed on each of the strip-shaped
図6の歪みセンサ素子の構成は、針状部2aの平面形状が図1の歪みセンサ素子の針状部2と異なる点を除いて、図1の歪みセンサ素子の構成と同様である。このため、図6の歪みセンサ素子について、重複する説明は省略する。
The configuration of the strain sensor element of FIG. 6 is the same as the configuration of the strain sensor element of FIG. 1 except that the planar shape of the needle-
当該歪みセンサ素子の針状部2aは、平面視で、検出部1と重複する領域の側縁部に固定用凹部(切欠き)4を有し、検出部1から延出する部分の側縁部に切断用凹部(切欠き)5を有し、検出部1と重複する領域内部に固定用貫通孔6を有し、切断用凹部5と針状部2aの幅方向に並ぶ位置に切断用貫通孔7を有する。
The needle-
当該歪みセンサ素子は、布帛に針状部2aを突き刺して仮止めした状態で、固定用凹部4及び固定用貫通孔6を通して布帛に糸を縫い付けることによって、布帛に対して堅固に固定することができる。
The strain sensor element is firmly fixed to the fabric by sewing a thread to the fabric through the fixing
また、当該歪みセンサ素子は、布帛に針状部2aを差し込んだときに、布帛の繊維が固定用凹部4に係合することにより、より確実に仮止めすることができる。
In addition, the strain sensor element can be temporarily fixed more securely by engaging the fibers of the fabric with the fixing
さらに、当該歪みセンサ素子は、切断用凹部5及び切断用貫通孔7が幅方向に列をなして設けられていることにより、切断用凹部5及び切断用貫通孔7の列に沿って比較的容易に針状部2aを切断することができる。このため、当該歪みセンサ素子は、布帛に固定した後、針状部2aの鋭利な先端部を比較的容易に切除することができるので、当該歪みセンサ素子を用いた動作検出デバイスの安全性を向上できる。
Furthermore, the strain sensor element is provided with the cutting recesses 5 and the cutting through-
固定用凹部4の開口幅及び固定用貫通孔6の平均径の下限としては、0.5mmが好ましく、0.7mmがより好ましい。一方、固定用凹部4の開口幅及び固定用貫通孔6の平均径の上限としては、2mmが好ましく、1.5mmがより好ましい。固定用凹部4の開口幅及び固定用貫通孔6の平均径が前記下限に満たない場合、固定用凹部4及び固定用貫通孔6の中に縫い糸を通すことが困難となるおそれがある。逆に、固定用凹部4及び固定用貫通孔6の平均径が前記上限を超える場合、針状部2の幅が不必要に大きくなるおそれや、針状部2の強度が不十分となるおそれがある。
The lower limit of the opening width of the fixing
一方、切断用凹部5及び切断用貫通孔7の大きさとしては、特に限定されず、加工性及び針状部2aの切断し易さを考慮して適宜設定すればよい。また、切断用凹部5及び切断用貫通孔7を利用して針状部2aの先端部を切断せずに折り曲げてもよい。つまり、切断用凹部5及び切断用貫通孔7によって、針状部2aを曲げる位置を特定すると共に、針状部2aの折り曲げを容易にすることができる。
On the other hand, the sizes of the
[その他の実施形態]
前記実施形態は、本発明の構成を限定するものではない。従って、前記実施形態は、本明細書の記載及び技術常識に基づいて前記実施形態各部の構成要素の省略、置換又は追加が可能であり、それらは全て本発明の範囲に属するものと解釈されるべきである。
[Other Embodiments]
The said embodiment does not limit the structure of this invention. Therefore, in the above-described embodiment, components of each part of the above-described embodiment can be omitted, replaced, or added based on the description and common general knowledge of the present specification, and they are all interpreted as belonging to the scope of the present invention. Should.
当該歪みセンサ素子の針状部は、布帛からの抜けを防止するよう、例えば鈎状、鏃状等の外形形状を有してもよい。また、当該歪みセンサ素子の針状部は、複数の当該歪みセンサ素子を連結できるよう、他の針状部と係合できるフック状に形成されてもよい。 The needle-like portion of the strain sensor element may have an outer shape such as a hook shape or a hook shape, for example, so as to prevent the strain sensor element from coming off. Further, the needle-like portion of the strain sensor element may be formed in a hook shape that can be engaged with another needle-like portion so that a plurality of the strain sensor elements can be connected.
当該歪みセンサ素子において、針状部の固定用凹部、固定用貫通孔、切断用凹部及び切断用貫通孔は、個々に省略可能である。また、切断用凹部及び切断用貫通孔に替えて、針状部の厚さを減じて切断容易としてもよい。また、これらの凹部や貫通孔は、挟持部材として設けられる針状部に設けてもよい。 In the strain sensor element, the fixing concave portion, the fixing through hole, the cutting concave portion, and the cutting through hole of the needle-like portion can be individually omitted. Further, instead of the cutting recess and the cutting through hole, the thickness of the needle-like portion may be reduced to facilitate cutting. Moreover, you may provide these recessed parts and through-holes in the acicular part provided as a clamping member.
当該歪みセンサ素子の検出部は、伸縮歪みの変化を電気抵抗の変化として出力可能なものであればよく、カーボンナノチューブを用いたものに限定されない。 The detection part of the said strain sensor element should just be what can output the change of expansion-contraction distortion as a change of electrical resistance, and is not limited to the thing using a carbon nanotube.
当該歪みセンサ素子は、検出部として糸状(直径を限定しない)のものを備えてもよい。このような糸状の検出部としては、例えばカーボンナノチューブ束の周面を樹脂組成物で被覆した糸状の抵抗体等を用いることができる。 The strain sensor element may include a thread-like (a diameter is not limited) as a detection unit. As such a thread-shaped detection unit, for example, a thread-shaped resistor in which the peripheral surface of a carbon nanotube bundle is coated with a resin composition can be used.
また、当該歪みセンサ素子の針状部は、より複雑な三次元形状を有してもよい。例として、検出部が糸状である場合、針状部の検出部との接合面が検出部に合わせて例えば円筒面であってもよい。また、針状部が検出部との接続のために、例えばかしめ構造等を有してもよい。 Further, the needle-like portion of the strain sensor element may have a more complicated three-dimensional shape. As an example, when the detection unit is thread-like, the joint surface of the needle-like part with the detection unit may be, for example, a cylindrical surface in accordance with the detection unit. Further, the needle-like portion may have a caulking structure or the like, for example, for connection with the detection portion.
当該歪みセンサ素子は、人体の動きを検出する動作検出デバイスに特に好適に利用することができる。 The strain sensor element can be particularly suitably used for a motion detection device that detects the movement of a human body.
1,11,21 検出部
2,22,2a 針状部(電極)
4 固定用凹部
5 切断用凹部
6 固定用貫通孔
7 切断用貫通孔
12 電極
13,23 針状部(挟持部材)
C 布帛
1,11,21 Detecting
4 Fixing
C fabric
Claims (5)
前記検出部の長手方向両端にそれぞれ配設され、その幅が先端側に漸減する一対の針状部と
を備える歪みセンサ素子。 A strip-shaped or thread-shaped detection unit whose electrical resistance changes according to the strain in the longitudinal direction;
A strain sensor element comprising: a pair of needle-like parts disposed at both ends in the longitudinal direction of the detection part, the width of which gradually decreases toward the tip side.
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019065841A1 (en) * | 2017-09-29 | 2019-04-04 | ミネベアミツミ株式会社 | Strain gauge |
JP2019066453A (en) * | 2017-09-29 | 2019-04-25 | ミネベアミツミ株式会社 | Strain gauge |
US11087905B2 (en) | 2017-10-31 | 2021-08-10 | Minebea Mitsumi Inc. | Strain gauge |
US11454488B2 (en) | 2017-09-29 | 2022-09-27 | Minebea Mitsumi Inc. | Strain gauge with improved stability |
US11542590B2 (en) | 2017-09-29 | 2023-01-03 | Minebea Mitsumi Inc. | Strain gauge |
US11543309B2 (en) | 2017-12-22 | 2023-01-03 | Minebea Mitsumi Inc. | Strain gauge and sensor module |
US11692806B2 (en) | 2017-09-29 | 2023-07-04 | Minebea Mitsumi Inc. | Strain gauge with improved stability |
US11747225B2 (en) | 2018-04-05 | 2023-09-05 | Minebea Mitsumi Inc. | Strain gauge with improved stability and stress reduction |
US11774303B2 (en) | 2018-10-23 | 2023-10-03 | Minebea Mitsumi Inc. | Accelerator, steering wheel, six-axis sensor, engine, bumper and the like |
WO2023223732A1 (en) * | 2022-05-17 | 2023-11-23 | 株式会社村田製作所 | Deformation detection sensor and electronic device |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02120655A (en) * | 1988-10-31 | 1990-05-08 | Nok Corp | Glucose sensor |
JP2003042861A (en) * | 2001-07-27 | 2003-02-13 | Japan Science & Technology Corp | Solid type strain sensor |
US20090007685A1 (en) * | 2007-07-02 | 2009-01-08 | The Hong Kong Polytechnic University | Piezoresistive strain gauge using doped polymeric fluid |
JP2012187306A (en) * | 2011-03-11 | 2012-10-04 | Olympus Corp | Sensor insertion apparatus and sensor inserting system |
JP2014228507A (en) * | 2013-05-27 | 2014-12-08 | 日本電信電話株式会社 | Extension sensor and measuring apparatus |
-
2016
- 2016-01-19 JP JP2016008145A patent/JP6701748B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02120655A (en) * | 1988-10-31 | 1990-05-08 | Nok Corp | Glucose sensor |
JP2003042861A (en) * | 2001-07-27 | 2003-02-13 | Japan Science & Technology Corp | Solid type strain sensor |
US20090007685A1 (en) * | 2007-07-02 | 2009-01-08 | The Hong Kong Polytechnic University | Piezoresistive strain gauge using doped polymeric fluid |
JP2012187306A (en) * | 2011-03-11 | 2012-10-04 | Olympus Corp | Sensor insertion apparatus and sensor inserting system |
JP2014228507A (en) * | 2013-05-27 | 2014-12-08 | 日本電信電話株式会社 | Extension sensor and measuring apparatus |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019065841A1 (en) * | 2017-09-29 | 2019-04-04 | ミネベアミツミ株式会社 | Strain gauge |
JP2019066453A (en) * | 2017-09-29 | 2019-04-25 | ミネベアミツミ株式会社 | Strain gauge |
US11454488B2 (en) | 2017-09-29 | 2022-09-27 | Minebea Mitsumi Inc. | Strain gauge with improved stability |
US11542590B2 (en) | 2017-09-29 | 2023-01-03 | Minebea Mitsumi Inc. | Strain gauge |
US11543308B2 (en) | 2017-09-29 | 2023-01-03 | Minebea Mitsumi Inc. | Strain gauge |
US11692806B2 (en) | 2017-09-29 | 2023-07-04 | Minebea Mitsumi Inc. | Strain gauge with improved stability |
US11702730B2 (en) | 2017-09-29 | 2023-07-18 | Minebea Mitsumi Inc. | Strain gauge |
US11087905B2 (en) | 2017-10-31 | 2021-08-10 | Minebea Mitsumi Inc. | Strain gauge |
US11543309B2 (en) | 2017-12-22 | 2023-01-03 | Minebea Mitsumi Inc. | Strain gauge and sensor module |
US11747225B2 (en) | 2018-04-05 | 2023-09-05 | Minebea Mitsumi Inc. | Strain gauge with improved stability and stress reduction |
US11774303B2 (en) | 2018-10-23 | 2023-10-03 | Minebea Mitsumi Inc. | Accelerator, steering wheel, six-axis sensor, engine, bumper and the like |
WO2023223732A1 (en) * | 2022-05-17 | 2023-11-23 | 株式会社村田製作所 | Deformation detection sensor and electronic device |
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