WO2019026737A1 - Sensor sheet - Google Patents
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Abstract
A sensor sheet according to the present invention is provided with: a film base material; a plurality of first electrodes which are provided on the film base material and have linear shapes extending in parallel; a plurality of second electrodes which are provided on the film base material, cross the plurality of first electrodes, and have linear shapes extending in parallel; a detection material, which is a conductive detection material that is disposed between the first electrode and the second electrode in at least an intersection of the first electrode and the second electrode, and that has electromagnetic characteristics varying with the temperature or humidity, wherein the intersection constitutes a temperature detection part for detecting temperature or a humidity detection part for detecting humidity; and a cover member which seals at least the temperature detection part together with the film base material.
Description
本発明は、センサシートに関する。
The present invention relates to a sensor sheet.
特許文献１には、可撓性を有する基材と、基材上に形成された平行な電極群と、電極群を被覆する感熱性材料とによって構成された温度検出用のシート状のセンサが開示されている。特許文献１に記載の技術によると、電極の交点付近における温度に応じた感熱性材料の電気抵抗値の変化を検出することが可能である。
Patent Document 1 discloses a sheet-like sensor for temperature detection, which is configured of a flexible base material, parallel electrode groups formed on the base material, and a heat-sensitive material covering the electrode groups. It is disclosed. According to the technology described in Patent Document 1, it is possible to detect a change in the electrical resistance value of the heat-sensitive material in accordance with the temperature in the vicinity of the intersection of the electrodes.
ところで、近年は、温度のみならず、湿度を同時に測定できるセンサが要望されているが、現在のところ、温度と湿度を同時に測定できるシート状にセンサは、実現されていなかった。そこで、本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、温度と湿度を同時に測定することが可能なセンサシートを提供することを目的とする。
By the way, although the sensor which can measure not only temperature but humidity simultaneously is demanded in recent years, a sheet-like sensor which can measure temperature and humidity simultaneously has not been realized at present. Then, this invention is made in order to solve the said problem, and it aims at providing the sensor sheet which can measure temperature and humidity simultaneously.
本発明者らは、前記課題を解決すべく鋭意検討を行った。その結果、下記に掲げる態様の発明を提供する。
The present inventors diligently studied to solve the above-mentioned problems. As a result, the invention of the aspect listed below is provided.
項１．フィルム基材と、
前記フィルム基材上に設けられ、平行に延びる線状の複数の第１電極と、
前記フィルム基材上に設けられ、前記複数の第１電極と交差し、平行に延びる線状の複数の第２電極と、
少なくとも前記第１電極と第２電極との交差箇所において、前記第１電極と第２電極との間に配置され、温度または湿度の高低に応じて電磁気特性が変化する導電性の検出材料であって、前記交差箇所が温度を検出する温度検出部または湿度を検出する湿度検出部を構成する、検出材料と、
少なくとも、前記温度検出部を、前記フィルム基材との間で密閉するカバー部材と、
を備えている、センサシート。Item 1. Film substrate,
A plurality of linear first electrodes provided on the film substrate and extending in parallel;
A plurality of linear second electrodes provided on the film substrate and extending in parallel with the plurality of first electrodes;
It is a conductive detection material which is disposed between the first electrode and the second electrode at least at the intersection between the first electrode and the second electrode, and whose electromagnetic characteristics change according to the level of temperature or humidity. A detection material that constitutes a temperature detection unit that detects the temperature or a humidity detection unit that detects the humidity;
A cover member for sealing at least the temperature detection unit with the film substrate;
It has a sensor sheet.
前記フィルム基材上に設けられ、平行に延びる線状の複数の第１電極と、
前記フィルム基材上に設けられ、前記複数の第１電極と交差し、平行に延びる線状の複数の第２電極と、
少なくとも前記第１電極と第２電極との交差箇所において、前記第１電極と第２電極との間に配置され、温度または湿度の高低に応じて電磁気特性が変化する導電性の検出材料であって、前記交差箇所が温度を検出する温度検出部または湿度を検出する湿度検出部を構成する、検出材料と、
少なくとも、前記温度検出部を、前記フィルム基材との間で密閉するカバー部材と、
を備えている、センサシート。
A plurality of linear first electrodes provided on the film substrate and extending in parallel;
A plurality of linear second electrodes provided on the film substrate and extending in parallel with the plurality of first electrodes;
It is a conductive detection material which is disposed between the first electrode and the second electrode at least at the intersection between the first electrode and the second electrode, and whose electromagnetic characteristics change according to the level of temperature or humidity. A detection material that constitutes a temperature detection unit that detects the temperature or a humidity detection unit that detects the humidity;
A cover member for sealing at least the temperature detection unit with the film substrate;
It has a sensor sheet.
項２．前記カバー部材には、複数の開口が形成され、
前記各開口から、前記湿度検出部が外部に露出するように構成されている、項１に記載のセンサシート。Item 2. A plurality of openings are formed in the cover member,
The sensor sheet according toitem 1, wherein the humidity detection unit is configured to be exposed to the outside from each of the openings.
前記各開口から、前記湿度検出部が外部に露出するように構成されている、項１に記載のセンサシート。
The sensor sheet according to
項３．前記湿度検出部と前記温度検出部とが隣接するように配置されている、項１または２に記載のセンサシート。
Item 3. The sensor sheet | seat of Claim 1 arrange | positioned so that the said humidity detection part and the said temperature detection part may adjoin.
項４．隣接する前記第１電極上または前記第２電極上に、前記温度検出部及び湿度検出部がそれぞれ配置されている、請求項３に記載のセンサシート。
Item 4. The sensor sheet according to claim 3, wherein the temperature detection unit and the humidity detection unit are respectively disposed on the adjacent first electrode or the second electrode.
項５．前記各湿度検出部により測定される湿度は、当該湿度検出部に隣接する前記温度検出部によって測定される温度に基づいて、補正が行われる、項３または４に記載のセンサシート。
Item 5. The sensor sheet according to Item 3 or 4, wherein the humidity measured by each of the humidity detection units is corrected based on the temperature measured by the temperature detection unit adjacent to the humidity detection unit.
項６．前記カバー部材は、防湿性材料により形成されている、項１から５のいずれかに記載のセンサシート。
Item 6. The sensor sheet according to any one of Items 1 to 5, wherein the cover member is formed of a moisture-proof material.
以下、本発明に係るセンサシートの一実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
Hereinafter, an embodiment of a sensor sheet according to the present invention will be described with reference to the drawings.
＜１．センサシートの概要＞
本実施形態によるセンサシートは、温度または湿度の高低に応じて抵抗値などの電磁気的特性が変化する複数の検出部が二次元的に格子状に配列されたものである。具体的には、以下のように構成されている。 <1. Outline of sensor sheet>
The sensor sheet according to the present embodiment is a sensor sheet in which a plurality of detection units whose electromagnetic characteristics such as resistance value change according to the level of temperature or humidity are two-dimensionally arranged in a grid. Specifically, it is configured as follows.
本実施形態によるセンサシートは、温度または湿度の高低に応じて抵抗値などの電磁気的特性が変化する複数の検出部が二次元的に格子状に配列されたものである。具体的には、以下のように構成されている。 <1. Outline of sensor sheet>
The sensor sheet according to the present embodiment is a sensor sheet in which a plurality of detection units whose electromagnetic characteristics such as resistance value change according to the level of temperature or humidity are two-dimensionally arranged in a grid. Specifically, it is configured as follows.
図１はセンサシートの分解斜視図、図２はセンサシートの平面図、図３は図２のＡ－Ａ線断面図である。図１～図３に示すように、このセンサシート１００は、フィルム基材１と、このフィルム基材１の上に設けられる複数の線状の第１電極２と、各第１電極上にそれぞれ配置された複数の検出部材３と、この検出部材３上に配置され、且つ第１電極２と直交するように配置された複数の線状の第２電極４と、を備えている。さらに、このセンサシート１００は、これら両電極２，４及び検出部材３の一部を覆うカバー部材５を備えている。以下、これらの部材について、詳細に説明する。
FIG. 1 is an exploded perspective view of a sensor sheet, FIG. 2 is a plan view of the sensor sheet, and FIG. 3 is a sectional view taken along line AA of FIG. As shown in FIGS. 1 to 3, the sensor sheet 100 includes a film substrate 1, a plurality of linear first electrodes 2 provided on the film substrate 1, and respective first electrodes. A plurality of detection members 3 disposed, and a plurality of linear second electrodes 4 disposed on the detection member 3 and disposed orthogonal to the first electrode 2 are provided. Further, the sensor sheet 100 is provided with a cover member 5 which covers both the electrodes 2 and 4 and a part of the detection member 3. Hereinafter, these members will be described in detail.
上述した複数の第１電極２は線状に形成されており、これらがＸ方向に平行に、フィルム基材１上に配置されている。また、上述した複数の検出部材３も線状に形成されており、これら検出部材３は、各第１電極２を覆うように配置されている。すなわち、各検出部材３は、第１電極２と同様に、Ｘ方向に平行に配置されている。また、複数の第２電極４も線状に形成されており、これらはＹ方向に平行に、第１電極２及び検出部材３と直交するように配置されている。
The plurality of first electrodes 2 described above are formed in a linear shape, and these are disposed on the film substrate 1 in parallel to the X direction. Further, the plurality of detection members 3 described above are also formed in a linear shape, and these detection members 3 are disposed so as to cover the respective first electrodes 2. That is, as in the case of the first electrode 2, each detection member 3 is disposed in parallel to the X direction. Further, the plurality of second electrodes 4 are also formed in a linear shape, and these are disposed in parallel to the Y direction so as to be orthogonal to the first electrode 2 and the detection member 3.
そして、第１電極２と第２電極４とが交差する複数の箇所において、これらの間に配置されている検出部材３が、温度検出部３１または湿度検出部３２を構成する。すなわち、これら温度検出部３１及び湿度検出部３２の一つ一つが、それぞれ温度または湿度を検出するセンサとして機能する。本実施形態においては、第１電極２上及び第２電極４上に温度検出部３１及び湿度検出部３２が交互に配置されている。これにより、Ｘ方向及びＹ方向において、温度検出部３１と、湿度検出部３２が交互に配置されている。
Then, at a plurality of points where the first electrode 2 and the second electrode 4 intersect, the detection members 3 disposed between them constitute the temperature detection unit 31 or the humidity detection unit 32. That is, each one of the temperature detection unit 31 and the humidity detection unit 32 functions as a sensor that detects the temperature or the humidity. In the present embodiment, the temperature detection units 31 and the humidity detection units 32 are alternately arranged on the first electrode 2 and the second electrode 4. Thus, the temperature detection units 31 and the humidity detection units 32 are alternately arranged in the X direction and the Y direction.
上述したカバー部材５は、フィルム基材１全体を覆うように配置されている。但し、このカバー部材５には、複数の開口５１が形成されており、これら開口５１は、湿度検出部３２と対応する部分に形成されている。したがって、カバー部材５の開口５１からは、湿度検出部３２が外部に露出し、温度検出部３１は、フィルム基材１とカバー部材５との間で外部に露出しないように、密閉されている。
The cover member 5 described above is disposed so as to cover the entire film substrate 1. However, a plurality of openings 51 are formed in the cover member 5, and the openings 51 are formed in a portion corresponding to the humidity detection unit 32. Therefore, the humidity detection unit 32 is exposed to the outside from the opening 51 of the cover member 5, and the temperature detection unit 31 is sealed so as not to be exposed to the outside between the film substrate 1 and the cover member 5. .
＜２．センサシートを構成する材料の例＞
フィルム基材１を形成する材料は、特には限定されないが、例えば、ポリイミド、ＰＥＴなどの可撓性を有する透明又は不透明の材料によって形成することができる。さらに、湿度の影響を低減するため、フィルム基材１に金属を蒸着させてもよい。 <2. Example of material constituting sensor sheet>
The material for forming thefilm substrate 1 is not particularly limited, but can be formed of, for example, a flexible transparent or opaque material such as polyimide and PET. Furthermore, in order to reduce the influence of humidity, metal may be deposited on the film substrate 1.
フィルム基材１を形成する材料は、特には限定されないが、例えば、ポリイミド、ＰＥＴなどの可撓性を有する透明又は不透明の材料によって形成することができる。さらに、湿度の影響を低減するため、フィルム基材１に金属を蒸着させてもよい。 <2. Example of material constituting sensor sheet>
The material for forming the
各電極２，４を構成する材料としては、例えば、銀箔、銅箔、アルミ箔等の金属箔や、導電性ポリマー等を用いることができるが、これに限定されず、導電率の高い材料を適宜採用することができる。
As a material which comprises each electrode 2 and 4, metal foils, such as silver foil, copper foil, aluminum foil, and a conductive polymer etc. can be used, for example, It is not limited to this but a material with high conductivity It can be adopted appropriately.
検出部材３は、導電性粒子と樹脂とを含み、温度の上昇と共に、電気抵抗値が上昇する特性を有している。すなわち、温度に応じて樹脂が膨張または収縮することによって、導電性粒子間の距離が変化し、抵抗値が変化する。例えば、少なくとも３０℃～２００℃の範囲においては、温度が上昇すると電気抵抗値が高くなり、温度が低下すると電気抵抗値が低くなる特性を備えるものとすることができる。
The detection member 3 includes conductive particles and a resin, and has a characteristic that the electric resistance value increases with an increase in temperature. That is, as the resin expands or contracts in accordance with the temperature, the distance between the conductive particles changes, and the resistance value changes. For example, at least in the range of 30 ° C. to 200 ° C., the electric resistance value may increase as the temperature increases, and the electric resistance value may decrease as the temperature decreases.
また、この検出部材３は、温度のみならず、湿度の変化によっても電気抵抗値が上昇する特定を有している。すなわち、湿度に応じて樹脂が吸水し、膨張または収縮することによって、導電性粒子間の距離が変化し、抵抗値が変化する。例えば、おおよそ３０～９０％の範囲においては、湿度が上昇すると電気抵抗値が高くなり、湿度が低下すると電気抵抗値が低くなる特性を備えるものとすることができる。
Further, the detection member 3 has a specification that the electric resistance value is increased not only by the temperature but also by the change of the humidity. That is, depending on the humidity, the resin absorbs water and expands or contracts, whereby the distance between the conductive particles changes, and the resistance value changes. For example, in the range of approximately 30 to 90%, it can be provided with a characteristic that the electric resistance value increases when the humidity rises, and the electric resistance value decreases when the humidity decreases.
検出部材３に含まれる導電性粒子としては、導電性を備える粒子であれば特に制限されず、公知の導電性の感温材料に含まれる導電性粒子を用いることができる。導電性粒子の具体例としては、カーボンブラック、グラファイト、カーボンナノチューブ、カーボンナノホーン、カーボンナノファイバー、カーボンナノコイルなどの炭素系粒子（繊維状物も含む）；鉄、ニッケル、銅、アルミニウム、マグネシウム、プラチナ、銀、金、及びこれらの金属のうち少なくとも１種を含む合金などの金属粒子；酸化スズ、酸化亜鉛、ヨウ化銀、ヨウ化銅、チタン酸バリウム、酸化インジウム錫、チタン酸ストロンチウムなどの導電性無機材料粒子などが挙げられる。これらの中でも、広い温度範囲にわたって被検体の温度を精度高く測定できる感温素子とする観点からは、導電性カーボンブラックが特に好ましい。導電性粒子は、１種類単独で使用してもよいし、２種類以上を組み合わせて使用してもよい。なお、このような導電性粒子は、湿度の測定にも同様に用いることができる。
The conductive particles contained in the detection member 3 are not particularly limited as long as they are particles having conductivity, and conductive particles contained in known conductive temperature sensitive materials can be used. Specific examples of the conductive particles include carbon-based particles such as carbon black, graphite, carbon nanotubes, carbon nanohorns, carbon nanofibers, carbon nanocoils (including fibrous materials); iron, nickel, copper, aluminum, magnesium, Metal particles such as platinum, silver, gold, and an alloy containing at least one of these metals; tin oxide, zinc oxide, silver iodide, copper iodide, barium titanate, indium tin oxide, strontium titanate, etc. Conductive inorganic material particles and the like can be mentioned. Among these, conductive carbon black is particularly preferable from the viewpoint of providing a thermosensitive element capable of measuring the temperature of the subject with high accuracy over a wide temperature range. The conductive particles may be used alone or in combination of two or more. Such conductive particles can be used similarly for the measurement of humidity.
導電性粒子の粒子径としては、特に制限されないが、好ましくは１μｍ以下、より好ましくは１００ｎｍ以下、さらに好ましくは５０ｎｍ以下が挙げられる。
The particle diameter of the conductive particles is not particularly limited, but preferably 1 μm or less, more preferably 100 nm or less, and still more preferably 50 nm or less.
検出部材３に含まれる導電性粒子の含有量としては、特に制限されず、所望の電気抵抗値や体積抵抗値となるように設定すればよいが、広い温度範囲または湿度範囲にわたって被検体の温度または湿度を精度高く測定できるように、好ましくは１５質量％未満、より好ましくは２～９質量％程度が挙げられる。例えば、導電性粒子として、オイルファーネス法で製造された導電性カーボンブラックを用いる場合、同様の観点から、好ましくは１０質量％未満、より好ましくは１～８質量％程度、さらに好ましくは２～６質量％程度が挙げられる。また、アセチレン分解法で作製された導電性カーボンブラックを用いる場合であれば、同様の観点から、好ましくは１５質量％未満、より好ましくは４～１２質量％程度、さらに好ましくは６～９質量％程度が挙げられる。
The content of the conductive particles contained in the detection member 3 is not particularly limited and may be set so as to achieve a desired electrical resistance value or volume resistance value, but the temperature of the subject over a wide temperature range or humidity range Alternatively, the amount is preferably less than 15% by mass, and more preferably about 2 to 9% by mass so that the humidity can be measured with high accuracy. For example, when using conductive carbon black produced by an oil furnace method as the conductive particles, from the same viewpoint, preferably less than 10% by mass, more preferably about 1 to 8% by mass, and still more preferably 2 to 6 About mass% is mentioned. In the case of using conductive carbon black produced by acetylene decomposition method, from the same viewpoint, preferably less than 15% by mass, more preferably about 4 to 12% by mass, and still more preferably 6 to 9% by mass The degree is mentioned.
検出部材３に含まれる樹脂としては、特に制限されず、公知の導電性の感温材料に含まれる樹脂を用いることができる。樹脂のガラス転移温度は、検出部材３の使用態様に応じて適宜選択することができる。広い温度範囲にわたって被検体の温度を精度高く測定できる感温素子とする観点からは、樹脂のガラス転移温度は、温度検出部３１の温度測定範囲の上限値以上であることが好ましい。すなわち、例えば、温度検出部３１の温度測定範囲の上限値が２００℃である場合には、樹脂のガラス転移温度は、２００℃以上であることが好ましく、温度検出部３１の温度測定範囲の上限値が１００℃である場合には、樹脂のガラス転移温度は、１００℃以上であることが好ましい。樹脂のガラス転移温度の調整法としては、例えば、樹脂の分子量や分子骨格などを調整する方法が挙げられる。樹脂のガラス転移温度としては、好ましくは８０～４００℃程度が挙げられる。なお、導電性感温材料に複数種類の樹脂が含まれる場合には、樹脂のガラス転移温度は、導電性感温材料に含まれる樹脂全体としてのガラス転移温度を意味する。このようなガラス転移温度を有する樹脂は、例えば、上述した範囲の湿度の検出にも同様に用いることができる。
The resin contained in the detection member 3 is not particularly limited, and a resin contained in a known electrically conductive temperature sensitive material can be used. The glass transition temperature of the resin can be appropriately selected according to the use mode of the detection member 3. It is preferable that the glass transition temperature of the resin is equal to or higher than the upper limit value of the temperature measurement range of the temperature detection unit 31 from the viewpoint of setting the temperature sensitive element capable of measuring the temperature of the subject with high accuracy over a wide temperature range. That is, for example, when the upper limit value of the temperature measurement range of the temperature detection unit 31 is 200 ° C., the glass transition temperature of the resin is preferably 200 ° C. or higher, and the upper limit of the temperature measurement range of the temperature detection unit 31 When the value is 100 ° C., the glass transition temperature of the resin is preferably 100 ° C. or more. Examples of the method of adjusting the glass transition temperature of the resin include a method of adjusting the molecular weight, molecular skeleton, and the like of the resin. The glass transition temperature of the resin is preferably about 80 to 400 ° C. In addition, when multiple types of resin is contained in an electroconductive temperature-sensitive material, the glass transition temperature of resin means the glass transition temperature as the whole resin contained in an electroconductive temperature-sensitive material. A resin having such a glass transition temperature can be used similarly, for example, to detect humidity in the above-mentioned range.
樹脂の具体例としては、シリコーン樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂；ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、フッ素樹脂、ポリエステル樹脂などの熱可塑性樹脂が挙げられる。これらの中でも、広い温度範囲にわたって被検体の温度を精度高く測定できる感温素子とする観点からは、シリコーン樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリエーテルイミド樹脂が好ましく、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂が特に好ましい。ガラス転移温度が２００℃以上の樹脂は、１種類単独で使用してもよいし、２種類以上を組み合わせて使用してもよい。
Specific examples of the resin include thermosetting resins such as silicone resin, polyimide resin and epoxy resin; polyamide imide resin, polyether imide resin, polyethylene terephthalate resin, polybutylene terephthalate resin, polyamide resin, polyacetal resin, polyphenylene sulfide resin, Thermoplastic resins such as polyetheretherketone resin, fluorine resin, and polyester resin can be mentioned. Among them, silicone resin, polyimide resin, epoxy resin, polyamide imide resin, polyethylene terephthalate resin, and polyether imide resin are preferable from the viewpoint of making the temperature sensitive device capable of measuring the temperature of the subject with high accuracy over a wide temperature range. Polyimide resins and epoxy resins are particularly preferred. Resin whose glass transition temperature is 200 degreeC or more may be used individually by 1 type, and may be used combining 2 or more types.
本実施形態において、樹脂のガラス転移温度（Ｔｇ（℃））は、示差走査熱量測定（ＤＳＣ）によって測定された値である。
In the present embodiment, the glass transition temperature (Tg (° C.)) of the resin is a value measured by differential scanning calorimetry (DSC).
検出部材３に含まれる樹脂の含有量としては、導電性粒子の種類などに応じて設定することができ、特に制限されないが、広い温度範囲または湿度範囲にわたって被検体の温度または湿度を精度高く測定するためには、好ましくは８５質量％以上、より好ましくは９１～９８質量％程度が挙げられる。例えば、導電性粒子として、オイルファーネス法で製造された導電性カーボンブラックを用いる場合、同様の観点から、好ましくは９０質量％以上、より好ましくは９２～９９質量％程度、さらに好ましくは９４～９８質量％程度が挙げられる。また、アセチレン分解法で製造された導電性カーボンブラックを用いる場合であれば、同様の観点から、好ましくは８５質量％以上、より好ましくは８８～９６質量％程度、さらに好ましくは９１～９４質量％程度が挙げられる。
The content of the resin contained in the detection member 3 can be set according to the type of the conductive particles and the like, and is not particularly limited, but the temperature or humidity of the subject is accurately measured over a wide temperature range or humidity range In order to achieve this, the content is preferably 85% by mass or more, more preferably about 91 to 98% by mass. For example, when using conductive carbon black produced by an oil furnace method as the conductive particles, from the same viewpoint, preferably 90% by mass or more, more preferably about 92 to 99% by mass, and still more preferably 94 to 98. About mass% is mentioned. In the case of using conductive carbon black produced by acetylene decomposition method, from the same viewpoint, preferably 85% by mass or more, more preferably about 88 to 96% by mass, and still more preferably 91 to 94% by mass The degree is mentioned.
検出部材３には、前述の導電性粒子及び樹脂に加えて、さらに添加剤を含んでいてもよい。添加剤としては、特に制限されず、酸化チタン、アルミナ、マイカなどのＰＴＣ特性を備える導電性の感温材料に含まれる公知の添加剤を使用することができる。
The detection member 3 may further contain an additive in addition to the above-described conductive particles and resin. The additive is not particularly limited, and any known additive contained in a conductive temperature-sensitive material having PTC characteristics such as titanium oxide, alumina or mica can be used.
カバー部材５は、温度検出部３１をフィルム基材１との間で密閉できるものであれば、特には限定されず、例えば、フィルムを接着剤で貼り付けるなどを用いることができる。また、フッ素系、アクリル系、ウレタン系などの防湿性材料で表面を被覆することもできる。
The cover member 5 is not particularly limited as long as it can seal the temperature detection unit 31 with the film substrate 1, and for example, a film may be attached with an adhesive. Moreover, the surface can also be coated with a moisture-proof material such as fluorine, acrylic, or urethane.
＜３．センサシートの製造方法の例＞
次に、センサシートの製造方法について図４を参照しつつ説明する。センサシート１００は、例えば、以下のようにして製造される。まず、図４（ａ）に示すように、フィルム基材１の上に複数の第１電極２をスクリーン印刷により形成する。次に、図４（ｂ）に示すように、各第１電極２の上に検出部材３をスクリーン印刷により形成する。 <3. Example of manufacturing method of sensor sheet>
Next, a method of manufacturing a sensor sheet will be described with reference to FIG. Thesensor sheet 100 is manufactured, for example, as follows. First, as shown in FIG. 4A, a plurality of first electrodes 2 are formed on the film substrate 1 by screen printing. Next, as shown in FIG. 4B, the detection member 3 is formed on each of the first electrodes 2 by screen printing.
次に、センサシートの製造方法について図４を参照しつつ説明する。センサシート１００は、例えば、以下のようにして製造される。まず、図４（ａ）に示すように、フィルム基材１の上に複数の第１電極２をスクリーン印刷により形成する。次に、図４（ｂ）に示すように、各第１電極２の上に検出部材３をスクリーン印刷により形成する。 <3. Example of manufacturing method of sensor sheet>
Next, a method of manufacturing a sensor sheet will be described with reference to FIG. The
続いて、図４（ｃ）に示すように、検出部材３と直交するように、複数の第２電極４をスクリーン印刷により形成する。続いて、湿度検出部３２に対応する部分をマスクした上で、フィルム基材１上にカバー部材５をスクリーン印刷により形成する。その後、マスクを取り外せば、複数の開口５１を有するカバー部材５が形成される。そして、各開口５１からは湿度検出部３２が露出する。こうして、センサシート１００が完成する。
Subsequently, as shown in FIG. 4C, a plurality of second electrodes 4 are formed by screen printing so as to be orthogonal to the detection member 3. Then, after masking the part corresponding to the humidity detection part 32, the cover member 5 is formed on the film base 1 by screen printing. Thereafter, when the mask is removed, a cover member 5 having a plurality of openings 51 is formed. Then, the humidity detection unit 32 is exposed from each of the openings 51. Thus, the sensor sheet 100 is completed.
＜４．センサシステムの概要＞
次に、本実施形態のセンサシステム２００について説明する。このセンサシステム２００は、上述したセンサシート１００、測定装置３００、ディスプレイ４００、センサシート１００と測定装置３００とを接続するコネクタ５００、及び入力装置６００、を有している。 <4. Overview of Sensor System>
Next, thesensor system 200 of the present embodiment will be described. The sensor system 200 includes the above-described sensor sheet 100, a measuring device 300, a display 400, a connector 500 for connecting the sensor sheet 100 and the measuring device 300, and an input device 600.
次に、本実施形態のセンサシステム２００について説明する。このセンサシステム２００は、上述したセンサシート１００、測定装置３００、ディスプレイ４００、センサシート１００と測定装置３００とを接続するコネクタ５００、及び入力装置６００、を有している。 <4. Overview of Sensor System>
Next, the
＜４－１．コネクタ＞
コネクタ５０は、センサシート１００に取り付けられている。センサシート１００の端部領域には、図示しない複数の端子が設けられており、各端子がコネクタ５０に設けられた複数の接点のいずれかと電気的に接続される。センサシート１００に設けられた複数の温度検出部３１及び湿度検出部３２の各々は、対応する端子と第１及び第２電極２，４を介して接続されている。 <4-1. Connector>
The connector 50 is attached to thesensor sheet 100. The end region of the sensor sheet 100 is provided with a plurality of terminals (not shown), and each terminal is electrically connected to any one of a plurality of contacts provided in the connector 50. Each of the plurality of temperature detection units 31 and humidity detection units 32 provided in the sensor sheet 100 is connected to the corresponding terminal via the first and second electrodes 2 and 4.
コネクタ５０は、センサシート１００に取り付けられている。センサシート１００の端部領域には、図示しない複数の端子が設けられており、各端子がコネクタ５０に設けられた複数の接点のいずれかと電気的に接続される。センサシート１００に設けられた複数の温度検出部３１及び湿度検出部３２の各々は、対応する端子と第１及び第２電極２，４を介して接続されている。 <4-1. Connector>
The connector 50 is attached to the
コネクタ５０は、温度検出部３１及び湿度検出部３２における電磁気的特性の変化を出力値として取得する。コネクタ５０には、複数の温度検出部３１及び湿度検出部３２に順番に電圧の印加等を行うために、マルチプレクサという電子素子が組み込まれている。
The connector 50 acquires the change of the electromagnetic characteristic in the temperature detection unit 31 and the humidity detection unit 32 as an output value. The connector 50 incorporates an electronic element called a multiplexer in order to apply a voltage to the plurality of temperature detection units 31 and humidity detection units 32 in order.
コネクタ５０は、複数の温度検出部３１及び湿度検出部３２に順番に電圧を印加することで、複数の温度検出部３１及び湿度検出部３２の各々から順番に出力を得る。具体的には、第１電極２と第２電極４のうち、一方をドライブ電極、他方をレシーブ電極とすると、コネクタ５０は、複数のドライブ電極に順番に電圧を印加し、印加された状態で複数のレシーブ電極の抵抗値を順番に測定することにより、それぞれの温度検出部３１及び湿度検出部３２の出力を得る。レシーブ電極の抵抗値は、オペアンプで反転増幅し、電圧値として取得する。印加電圧や出力の増幅率を設定することで、出力を任意に増幅することができる。
The connector 50 sequentially applies voltages to the plurality of temperature detection units 31 and humidity detection units 32 to obtain outputs from the plurality of temperature detection units 31 and humidity detection units 32 in order. Specifically, when one of the first electrode 2 and the second electrode 4 is a drive electrode and the other is a receive electrode, the connector 50 applies a voltage to the plurality of drive electrodes in order, and in the applied state Outputs of the temperature detection unit 31 and the humidity detection unit 32 are obtained by sequentially measuring the resistance values of the plurality of receive electrodes. The resistance value of the receive electrode is inverted and amplified by an operational amplifier and acquired as a voltage value. The output can be arbitrarily amplified by setting the amplification factor of the applied voltage or the output.
コネクタ５０は、センサシート１００の各温度検出部３１及び湿度検出部３２からそれぞれ出力された出力値（温度値または湿度値）を示すアナログ信号をデジタル信号に変換して測定装置３００へと出力する。
The connector 50 converts an analog signal indicating an output value (a temperature value or a humidity value) output from each of the temperature detection units 31 and the humidity detection unit 32 of the sensor sheet 100 into a digital signal and outputs the digital signal to the measuring device 300. .
＜４－２．測定装置＞
図６は、本実施形態に係る測定装置を示すブロック図である。図６に示すように、本実施形態に係る測定装置３００は、制御部３０１、記憶部３０２、外部インターフェース３０３、及びドライブ３０４が電気的に接続されたコンピュータである。なお、図６では、外部インターフェース３０３をそれぞれ、「外部Ｉ／Ｆ」と記載している。 <4-2. Measurement device>
FIG. 6 is a block diagram showing a measuring apparatus according to the present embodiment. As shown in FIG. 6, the measuringapparatus 300 according to the present embodiment is a computer to which a control unit 301, a storage unit 302, an external interface 303, and a drive 304 are electrically connected. Note that in FIG. 6, the external interfaces 303 are each described as "external I / F".
図６は、本実施形態に係る測定装置を示すブロック図である。図６に示すように、本実施形態に係る測定装置３００は、制御部３０１、記憶部３０２、外部インターフェース３０３、及びドライブ３０４が電気的に接続されたコンピュータである。なお、図６では、外部インターフェース３０３をそれぞれ、「外部Ｉ／Ｆ」と記載している。 <4-2. Measurement device>
FIG. 6 is a block diagram showing a measuring apparatus according to the present embodiment. As shown in FIG. 6, the measuring
制御部３０１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）等を含み、情報処理に応じて各構成要素の制御を行う。記憶部３０２は、例えば、ハードディスクドライブ、ソリッドステートドライブ等の補助記憶装置であり、制御部３０１で実行される測定プログラム３２１、検出した温度、湿度などに関するデータ３２２等を記憶する。
The control unit 301 includes a central processing unit (CPU), a random access memory (RAM), a read only memory (ROM), and the like, and controls each component according to information processing. The storage unit 302 is, for example, an auxiliary storage device such as a hard disk drive or a solid state drive, and stores a measurement program 321 executed by the control unit 301, data 322 related to detected temperature, humidity, and the like.
外部インターフェース３０３は、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）ポート等であり、外部装置と接続するためのインタフェースである。この外部インターフェース３０３を介して、上述したコネクタ５００、入力装置６００、及びディスプレイ４００が接続されている。入力装置６００は、例えば、マウス、キーボード等の入力を行うための装置である。なお、プリンタ、スピーカなど、上記以外の外部装置を接続することもできる。また、この測定装置３００をネットワークを介して外部と接続するための通信インタフェースを設けることもできる。この通信インターフェースは、例えば、有線ＬＡＮ（Local Area Network）モジュール、無線ＬＡＮモジュール等であり、ネットワークを介した有線又は無線通信を行うためのインタフェースである。
The external interface 303 is a USB (Universal Serial Bus) port or the like, and is an interface for connecting to an external device. The connector 500, the input device 600, and the display 400 described above are connected via the external interface 303. The input device 600 is, for example, a device for performing input such as a mouse and a keyboard. Note that external devices other than the above, such as a printer and a speaker, can also be connected. Also, a communication interface can be provided to connect the measuring device 300 to the outside via a network. The communication interface is, for example, a wired LAN (Local Area Network) module, a wireless LAN module, or the like, and is an interface for performing wired or wireless communication via a network.
ドライブ３０４は、例えば、ＣＤ（Compact Disk）ドライブ、ＤＶＤ（Digital Versatile Disk）ドライブ等であり、記憶媒体３４１に記憶されたプログラムを読み込むための装置である。ドライブ３０４の種類は、記憶媒体３４１の種類に応じて適宜選択されてよい。上記測定プログラム３２１は、この記憶媒体３４１に記憶されていてもよい。
The drive 304 is, for example, a CD (Compact Disk) drive, a DVD (Digital Versatile Disk) drive, or the like, and is a device for reading a program stored in the storage medium 341. The type of drive 304 may be appropriately selected according to the type of storage medium 341. The measurement program 321 may be stored in the storage medium 341.
記憶媒体３４１は、コンピュータその他装置、機械等が記録されたプログラム等の情報を読み取り可能なように、このプログラム等の情報を、電気的、磁気的、光学的、機械的又は化学的作用によって蓄積する媒体である。
A storage medium 341 stores information such as a computer, an apparatus, a machine, etc. by an electric, magnetic, optical, mechanical or chemical action so that the information such as a program recorded can be read. Media.
なお、測定装置３００は、提供されるサービス専用に設計された情報処理装置の他、汎用のデスクトップＰＣ（Personal Computer）、タブレットＰＣ等が用いられてもよい。
Note that, as the measuring device 300, a general-purpose desktop PC (Personal Computer), a tablet PC or the like may be used other than the information processing device designed specifically for the service to be provided.
また、センサシステム２００は、センサシート１００と同じ雰囲気の温度を測定する図示しない熱電対（計測器）を有している。熱電対は、コネクタ５００に設置されているが、これに限定されず、センサシート１００の近傍に設置されてもよい。熱電対から出力された測定信号は、デジタル信号に変換されて測定装置３００に入力される。なお、センサシート１００と同じ雰囲気の温度を測定する手段は熱電対に限定されない。また、温度のみならず、センサシート１００と同じ雰囲気の湿度を測定する計測器を設けることもでき、この計測器を温度を計測する装置と一体化することもできる。
Further, the sensor system 200 includes a not-shown thermocouple (measuring device) that measures the temperature of the same atmosphere as the sensor sheet 100. The thermocouple is installed in the connector 500, but is not limited to this, and may be installed in the vicinity of the sensor sheet 100. The measurement signal output from the thermocouple is converted into a digital signal and input to the measuring device 300. The means for measuring the temperature of the same atmosphere as the sensor sheet 100 is not limited to the thermocouple. Further, not only the temperature but also a measuring instrument for measuring the humidity of the same atmosphere as the sensor sheet 100 can be provided, and this measuring instrument can be integrated with an apparatus for measuring the temperature.
＜５．センサシステムの動作＞
<5. Sensor system operation>
次に、上記のように構成されたセンサシステムの動作について説明する。まず、測定装置３００は、複数の温度検出部３１の各々で得られた出力値から温度分布を算出するとともに、複数の湿度検出部３２の各々で得られた出力値から圧力分布を算出する算出部として機能する。複数の温度検出部２１の各々で得られた出力値から温度分布を算出することで、被検体の温度分布を測定することができる。また、複数の湿度検出部３２の各々で得られた出力値から湿度分布を算出することで、被検体の湿度分布を測定することができる。
Next, the operation of the sensor system configured as described above will be described. First, the measuring device 300 calculates the temperature distribution from the output values obtained by each of the plurality of temperature detection units 31 and calculates the pressure distribution from the output values obtained by each of the plurality of humidity detection units 32. Act as a department. The temperature distribution of the subject can be measured by calculating the temperature distribution from the output values obtained by each of the plurality of temperature detection units 21. Further, by calculating the humidity distribution from the output value obtained by each of the plurality of humidity detection units 32, it is possible to measure the humidity distribution of the subject.
また、測定装置３００は、温度検出部３１および湿度検出部３２の一方で得られた出力値に基づいて、他方で得られた出力値を補正する補正部として機能する。温度検出部３１で得られた出力値に基づいて、湿度検出部３２で得られた出力値を補正することで、湿度検出部３２の温度依存性を排除することができる。一方、温度検出部３１は、フィルム基材１とカバー部材５との間で密閉されているため、湿度０％の状態にすることができ、湿度の変化による影響を防止することができる。したがって、以下では、湿度検出部３２の補正について説明する。
In addition, the measuring apparatus 300 functions as a correction unit that corrects the output value obtained by the other based on the output value obtained by one of the temperature detection unit 31 and the humidity detection unit 32. By correcting the output value obtained by the humidity detection unit 32 based on the output value obtained by the temperature detection unit 31, the temperature dependency of the humidity detection unit 32 can be eliminated. On the other hand, since the temperature detection part 31 is sealed between the film base 1 and the cover member 5, the humidity can be 0%, and the influence of the change of the humidity can be prevented. Therefore, the correction of the humidity detection unit 32 will be described below.
湿度検出部３２の温度依存性は、具体的には以下の方法で排除することができる。まず、一定の湿度で温度を変化させたときの出力曲線より、湿度検出部３２の温度依存性を求める。これは、センサシート１００の工場出荷時に行ってもよいし、各ユーザーにより行ってもよい。また、すべての湿度検出部３２に対して実施してもよいし、代表値をすべての湿度検出部３２に適用してもよい。次に、温度検出部３１を用いて各温度点における出力を測定することで、温度検出部３１の校正を行う。このときの温度は、各湿度検出部３２に隣接する温度検出部３１の温度を用いる。これは、センサシート１００の工場出荷時に行ってもよいし、各ユーザーにより行ってもよい。また、すべての温度検出部３１に対して実施してもよいし、代表値をすべての温度検出部３１に適用してもよい。
Specifically, the temperature dependency of the humidity detection unit 32 can be eliminated by the following method. First, the temperature dependency of the humidity detection unit 32 is obtained from an output curve when the temperature is changed at a constant humidity. This may be performed at the time of factory shipment of the sensor sheet 100, or may be performed by each user. Further, the present invention may be performed for all the humidity detection units 32, or a representative value may be applied to all the humidity detection units 32. Next, the temperature detection unit 31 is calibrated by measuring the output at each temperature point using the temperature detection unit 31. As the temperature at this time, the temperature of the temperature detection unit 31 adjacent to each humidity detection unit 32 is used. This may be performed at the time of factory shipment of the sensor sheet 100, or may be performed by each user. Further, it may be performed for all the temperature detection units 31 or a representative value may be applied to all the temperature detection units 31.
そして、湿度検出部３２による湿度分布の測定時に、校正された温度検出部３１によって正確な温度値を取得し、先に求めた湿度検出部３２の温度依存曲線を用いて湿力分布を補正する。これにより、湿度検出部３２の温度依存性を排除することができる。この方法では、温度変化率と、湿度検出部３２の温度依存性による変化率とが一致していなくても、湿度検出部３２の補正が可能である。
Then, at the time of measurement of the humidity distribution by the humidity detection unit 32, an accurate temperature value is acquired by the calibrated temperature detection unit 31, and the humidity distribution is corrected using the temperature dependence curve of the humidity detection unit 32 previously obtained. . Thereby, the temperature dependency of the humidity detection unit 32 can be eliminated. In this method, even if the temperature change rate does not coincide with the change rate due to the temperature dependency of the humidity detection unit 32, the humidity detection unit 32 can be corrected.
＜５．特徴＞
以上のように、本実施形態によれば、一枚のセンサシートにより、温度と湿度の分布を測定することができる。特に、温度の検出と湿度の検出を同じ材料である検出部材３により行っているため、低コストで温度と湿度の両方を測定可能なセンサシートを構成することができる。 <5. Feature>
As described above, according to the present embodiment, the distribution of temperature and humidity can be measured by a single sensor sheet. In particular, since the temperature detection and the humidity detection are performed by thedetection member 3 which is the same material, a sensor sheet capable of measuring both the temperature and the humidity can be configured at low cost.
以上のように、本実施形態によれば、一枚のセンサシートにより、温度と湿度の分布を測定することができる。特に、温度の検出と湿度の検出を同じ材料である検出部材３により行っているため、低コストで温度と湿度の両方を測定可能なセンサシートを構成することができる。 <5. Feature>
As described above, according to the present embodiment, the distribution of temperature and humidity can be measured by a single sensor sheet. In particular, since the temperature detection and the humidity detection are performed by the
また、温度検出部３１はフィルム基材１とカバー部材５との間に密閉されているため、温度測定時の湿度の影響を抑制することができる。一方、湿度検出部３２は、湿度の検出をしやすくするため、カバー部材５の開口５１から外部に露出している。但し、湿度検出部３２は、温度検出部３１と隣接させているため、隣接する温度検出部３１によって測定された温度を用い、湿度検出部３２の温度依存性を正確に排除することができる。
Moreover, since the temperature detection part 31 is sealed between the film base 1 and the cover member 5, the influence of the humidity at the time of temperature measurement can be suppressed. On the other hand, the humidity detection unit 32 is exposed to the outside from the opening 51 of the cover member 5 in order to facilitate detection of the humidity. However, since the humidity detection unit 32 is adjacent to the temperature detection unit 31, the temperature dependency of the humidity detection unit 32 can be accurately eliminated using the temperature measured by the adjacent temperature detection unit 31.
＜６．変形例＞
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、種々の変更が可能である。なお、以下の変形例は、適宜組合せが可能である。 <6. Modified example>
As mentioned above, although one Embodiment of this invention was described, this invention is not limited to the said embodiment, A various change is possible unless it deviates from the meaning. The following modifications can be combined as appropriate.
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、種々の変更が可能である。なお、以下の変形例は、適宜組合せが可能である。 <6. Modified example>
As mentioned above, although one Embodiment of this invention was described, this invention is not limited to the said embodiment, A various change is possible unless it deviates from the meaning. The following modifications can be combined as appropriate.
＜６－１＞
第１電極２と第２電極４とは必ずしも直交していなくてもよく、少なくとも４５度以上で交差していればよい。 <6-1>
Thefirst electrode 2 and the second electrode 4 may not necessarily be orthogonal to each other, as long as they intersect at least 45 degrees or more.
第１電極２と第２電極４とは必ずしも直交していなくてもよく、少なくとも４５度以上で交差していればよい。 <6-1>
The
＜６－２＞
温度検出部３１と湿度検出部３２とは、第１及び第２電極１，４上で交互に配置しているが、温度検出部３１と湿度検出部３２とが隣接するように配置されていればよい。したがって、例えば、図７に示すように、隣接する第１電極１上に温度検出部３１と湿度検出部３２とを交互に配置することができる。そして、カバー部材５には、湿度検出部３２が外部に露出するように、開口５１を形成する。 <6-2>
Although thetemperature detection unit 31 and the humidity detection unit 32 are alternately arranged on the first and second electrodes 1 and 4, the temperature detection unit 31 and the humidity detection unit 32 are arranged so as to be adjacent to each other. Just do it. Therefore, for example, as shown in FIG. 7, the temperature detection units 31 and the humidity detection units 32 can be alternately arranged on the adjacent first electrodes 1. And the opening 51 is formed in the cover member 5 so that the humidity detection part 32 may be exposed outside.
温度検出部３１と湿度検出部３２とは、第１及び第２電極１，４上で交互に配置しているが、温度検出部３１と湿度検出部３２とが隣接するように配置されていればよい。したがって、例えば、図７に示すように、隣接する第１電極１上に温度検出部３１と湿度検出部３２とを交互に配置することができる。そして、カバー部材５には、湿度検出部３２が外部に露出するように、開口５１を形成する。 <6-2>
Although the
また、温度検出部３１と湿度検出部３２とは、必ずしも隣接していなくてもよく、センサシート１００上のいずれかの位置に温度検出部３１と及び湿度検出部３２が配置されていればよい。
Further, the temperature detection unit 31 and the humidity detection unit 32 may not necessarily be adjacent to each other, as long as the temperature detection unit 31 and the humidity detection unit 32 are disposed at any position on the sensor sheet 100. .
＜６－３＞
カバー部材５は、少なくとも温度検出部３１を覆っていればよいため、上記実施形態のようにフィルム基材１全体に配置した上で、湿度検出部３２の対応する位置に開口５１を形成するのではなく、少なくとも温度検出部３１の設けられた箇所を覆うように配置することもできる。 <6-3>
Since thecover member 5 only needs to cover at least the temperature detection unit 31, the opening 51 is formed at a position corresponding to the humidity detection unit 32 after being disposed over the entire film substrate 1 as in the above embodiment. Instead, it may be disposed so as to cover at least a portion where the temperature detection unit 31 is provided.
カバー部材５は、少なくとも温度検出部３１を覆っていればよいため、上記実施形態のようにフィルム基材１全体に配置した上で、湿度検出部３２の対応する位置に開口５１を形成するのではなく、少なくとも温度検出部３１の設けられた箇所を覆うように配置することもできる。 <6-3>
Since the
１ フィルム基材
２ 第１電極
３ 検出部材（検出材料）
３１ 温度検出部
３２ 圧力検出部
４ 第２電極
５ カバー部材 1film substrate 2 first electrode 3 detection member (detection material)
31temperature detection unit 32 pressure detection unit 4 second electrode 5 cover member
２ 第１電極
３ 検出部材（検出材料）
３１ 温度検出部
３２ 圧力検出部
４ 第２電極
５ カバー部材 1
31
Claims (6)
- フィルム基材と、
前記フィルム基材上に設けられ、平行に延びる線状の複数の第１電極と、
前記フィルム基材上に設けられ、前記複数の第１電極と交差し、平行に延びる線状の複数の第２電極と、
少なくとも前記第１電極と第２電極との交差箇所において、前記第１電極と第２電極との間に配置され、温度または湿度の高低に応じて電磁気特性が変化する導電性の検出材料であって、前記交差箇所が温度を検出する温度検出部または湿度を検出する湿度検出部を構成する、検出材料と、
少なくとも、前記温度検出部を、前記フィルム基材との間で密閉するカバー部材と、
を備えている、センサシート。 Film substrate,
A plurality of linear first electrodes provided on the film substrate and extending in parallel;
A plurality of linear second electrodes provided on the film substrate and extending in parallel with the plurality of first electrodes;
It is a conductive detection material which is disposed between the first electrode and the second electrode at least at the intersection between the first electrode and the second electrode, and whose electromagnetic characteristics change according to the level of temperature or humidity. A detection material that constitutes a temperature detection unit that detects the temperature or a humidity detection unit that detects the humidity;
A cover member for sealing at least the temperature detection unit with the film substrate;
It has a sensor sheet. - 前記カバー部材には、複数の開口が形成され、
前記各開口から、前記湿度検出部が外部に露出するように構成されている、請求項１に記載のセンサシート。 A plurality of openings are formed in the cover member,
The sensor sheet according to claim 1, wherein the humidity detection unit is configured to be exposed to the outside from each of the openings. - 前記湿度検出部と前記温度検出部とが隣接するように配置されている、請求項１または２に記載のセンサシート。 The sensor sheet according to claim 1, wherein the humidity detection unit and the temperature detection unit are disposed adjacent to each other.
- 隣接する前記第１電極上または前記第２電極上に、前記温度検出部及び湿度検出部がそれぞれ配置されている、請求項３に記載のセンサシート。 The sensor sheet according to claim 3, wherein the temperature detection unit and the humidity detection unit are respectively disposed on the adjacent first electrode or the second electrode.
- 前記各湿度検出部により測定される湿度は、当該湿度検出部に隣接する前記温度検出部によって測定される温度に基づいて、補正が行われる、請求項３または４に記載のセンサシート。 The sensor sheet according to claim 3 or 4, wherein the humidity measured by each of the humidity detection units is corrected based on the temperature measured by the temperature detection unit adjacent to the humidity detection unit.
- 前記カバー部材は、防湿性材料により形成されている、請求項１から５のいずれかに記載のセンサシート。 The sensor sheet according to any one of claims 1 to 5, wherein the cover member is formed of a moisture-proof material.
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