RU2780650C2 - Method for production of perfluoroalkadiene compound - Google Patents
Method for production of perfluoroalkadiene compound Download PDFInfo
- Publication number
- RU2780650C2 RU2780650C2 RU2021100592A RU2021100592A RU2780650C2 RU 2780650 C2 RU2780650 C2 RU 2780650C2 RU 2021100592 A RU2021100592 A RU 2021100592A RU 2021100592 A RU2021100592 A RU 2021100592A RU 2780650 C2 RU2780650 C2 RU 2780650C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- zinc
- mol
- formula
- iodine
- nitrogen
- Prior art date
Links
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 title claims abstract description 93
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 39
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims abstract description 69
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims abstract description 69
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 claims abstract description 68
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 65
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 61
- PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N iodine Chemical compound II PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 57
- 239000011630 iodine Substances 0.000 claims abstract description 57
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims abstract description 53
- 229910001297 Zn alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 52
- -1 nitrogen containing compound Chemical class 0.000 claims abstract description 51
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 claims abstract description 50
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims abstract description 43
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims abstract description 24
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims abstract description 24
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 43
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 claims description 40
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 claims description 25
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 20
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 claims description 19
- 238000007792 addition Methods 0.000 claims description 17
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 238000009835 boiling Methods 0.000 claims description 7
- 229910001511 metal iodide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims description 2
- 230000000996 additive Effects 0.000 claims description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 26
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N fluorine atom Chemical group [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 230000003993 interaction Effects 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- JGZVUTYDEVUNMK-UHFFFAOYSA-N 5-carboxy-2',7'-dichlorofluorescein Chemical compound C12=CC(Cl)=C(O)C=C2OC2=CC(O)=C(Cl)C=C2C21OC(=O)C1=CC(C(=O)O)=CC=C21 JGZVUTYDEVUNMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 47
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 29
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N bromine atom Chemical group [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 16
- FVAUCKIRQBBSSJ-UHFFFAOYSA-M Sodium iodide Chemical compound [Na+].[I-] FVAUCKIRQBBSSJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 15
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 14
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 238000004166 bioassay Methods 0.000 description 11
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 11
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N iodine atom Chemical group [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 11
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 7
- 235000009518 sodium iodide Nutrition 0.000 description 7
- LGPPATCNSOSOQH-UHFFFAOYSA-N 1,1,2,3,4,4-hexafluorobuta-1,3-diene Chemical compound FC(F)=C(F)C(F)=C(F)F LGPPATCNSOSOQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002609 media Substances 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- YIFLMZOLKQBEBO-UPHRSURJSA-N (Z)-1,1,1,2,4,4,4-heptafluorobut-2-ene Chemical compound FC(F)(F)C(/F)=C/C(F)(F)F YIFLMZOLKQBEBO-UPHRSURJSA-N 0.000 description 3
- NLKNQRATVPKPDG-UHFFFAOYSA-M Potassium iodide Chemical compound [K+].[I-] NLKNQRATVPKPDG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 3
- 239000004088 foaming agent Substances 0.000 description 3
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- JIAARYAFYJHUJI-UHFFFAOYSA-L Zinc chloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Zn+2] JIAARYAFYJHUJI-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- BHHYHSUAOQUXJK-UHFFFAOYSA-L Zinc fluoride Chemical compound F[Zn]F BHHYHSUAOQUXJK-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- UAYWVJHJZHQCIE-UHFFFAOYSA-L Zinc iodide Chemical compound I[Zn]I UAYWVJHJZHQCIE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004432 carbon atoms Chemical group C* 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 150000002830 nitrogen compounds Chemical class 0.000 description 2
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N o-xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 2
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 2
- 239000011592 zinc chloride Substances 0.000 description 2
- 235000005074 zinc chloride Nutrition 0.000 description 2
- BSKHPKMHTQYZBB-UHFFFAOYSA-N 2-Methylpyridine Chemical compound CC1=CC=CC=N1 BSKHPKMHTQYZBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004604 Blowing Agent Substances 0.000 description 1
- UNMYWSMUMWPJLR-UHFFFAOYSA-L Calcium iodide Chemical compound [Ca+2].[I-].[I-] UNMYWSMUMWPJLR-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229940046413 Calcium iodide Drugs 0.000 description 1
- BLQJIBCZHWBKSL-UHFFFAOYSA-L Magnesium iodide Chemical compound [Mg+2].[I-].[I-] BLQJIBCZHWBKSL-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- UNBDDZDKBWPHAX-UHFFFAOYSA-N N,N-di(propan-2-yl)formamide Chemical compound CC(C)N(C=O)C(C)C UNBDDZDKBWPHAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMUQFGGVLNAIOZ-UHFFFAOYSA-N Quinaldine Chemical compound C1=CC=CC2=NC(C)=CC=C21 SMUQFGGVLNAIOZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940083599 Sodium Iodide Drugs 0.000 description 1
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910001640 calcium iodide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- CHDFNIZLAAFFPX-UHFFFAOYSA-N ethoxyethane;oxolane Chemical compound CCOCC.C1CCOC1 CHDFNIZLAAFFPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 239000008079 hexane Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001641 magnesium iodide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N n-heptane Chemical compound CCCCCCC IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N n-methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002829 nitrogen Chemical group 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000003495 polar organic solvent Substances 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 150000003222 pyridines Chemical class 0.000 description 1
- SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N quinoline Chemical compound N1=CC=CC2=CC=CC=C21 SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003248 quinolines Chemical class 0.000 description 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
Abstract
Description
Область техникиTechnical field
[0001][0001]
Настоящее изобретение относится к способу производства перфторалкадиенового соединения.The present invention relates to a process for the production of a perfluoroalkadiene compound.
Уровень техникиState of the art
[0002][0002]
Перфторалкадиеновые соединения полезны в качестве газов для сухого травления полупроводников, а также в качестве хладагентов, пенообразователей, теплопередающих сред и т.п., и имеют две двойные связи между атомами углерода. В частности, гексафторбутадиен, который имеет четыре атома углерода и двойную связь на каждом окончании, находит применение в различных областях.The perfluoroalkadiene compounds are useful as semiconductor dry etch gases, as well as coolants, foaming agents, heat transfer media, and the like, and have two double bonds between carbon atoms. In particular, hexafluorobutadiene, which has four carbon atoms and a double bond at each end, finds use in various fields.
[0003][0003]
Существует известный способ производства перфторалкадиенового соединения, в котором дейодофторирование соединения, такого как ICF2CF2CF2CF2I, проводят с использованием органического соединения металла, такого как Mg, Zn, Cd или Li, в качестве реакционного агента при желаемой температуре в присутствии органического растворителя (см., например, ПД 1). Есть другой известный способ производства перфторалкадиенового соединения, в котором дейодофторирование соединения, такого как, ICF2CF2CF2CF2I, проводят в присутствии металлического цинка и азотсодержащего соединения (см., например, ПД 2).There is a known method for the production of a perfluoroalkadiene compound in which deiodofluorination of a compound such as ICF 2 CF 2 CF 2 CF 2 I is carried out using an organic metal compound such as Mg, Zn, Cd or Li as a reaction agent at a desired temperature in the presence of organic solvent (see, for example, PD 1). There is another known method for the production of a perfluoroalkadiene compound in which deiodofluorination of a compound such as ICF 2 CF 2 CF 2 CF 2 I is carried out in the presence of zinc metal and a nitrogen compound (see eg PD 2).
Список цитированияCitation list
Патентная литератураPatent Literature
[0004][0004]
ПД 1: JPS62-26240APD 1: JPS62-26240A
ПД 2: JP2001-192345APD 2: JP2001-192345A
Сущность изобретенияThe essence of the invention
Техническая задачаTechnical task
[0005][0005]
Цель настоящего изобретения состоит в разработке способа производства перфторалкадиенового соединения с более высоким выходом при одновременном снижении количества трудноотделяемых примесей.The purpose of the present invention is to provide a process for the production of a perfluoroalkadiene compound with a higher yield while reducing the amount of hard-to-separate impurities.
Решение задачиThe solution of the problem
[0006][0006]
Настоящее изобретение включает представленный ниже объект изобретения.The present invention includes the following subject matter.
Пункт 1.Paragraph 1.
Способ производства перфторалкадиенового соединения, представленного формулой (1):Production method of the perfluoroalkadiene compound represented by the formula (1):
CF2=CF-(CF2)n-4-CF=CF2 (1),CF 2 =CF-(CF 2 ) n-4 -CF=CF 2 (1),
где n представляет собой целое число от 4 до 20,where n is an integer from 4 to 20,
и этот способ включает реакционную стадию взаимодействия соединения, представленного формулой (2):and this method includes the reaction step of reacting the compound represented by the formula (2):
CF2X1-CFX2-(CF2)n-4-CFX3-CF2X4 (2),CF 2 X 1 -CFX 2 -(CF 2 ) n-4 -CFX 3 -CF 2 X 4 (2),
где n имеет значения, определенные выше, заместители X1, X2, X3 и X4 являются одинаковыми или разными и означают атом галогена, при условии, что X1 и X2 не являются атомом фтора одновременно, и X3 и X4 не являются атомом фтора одновременно,where n has the meanings defined above, the substituents X 1 , X 2 , X 3 and X 4 are the same or different and mean a halogen atom, provided that X 1 and X 2 are not simultaneously a fluorine atom, and X 3 and X 4 are not a fluorine atom at the same time,
в органическом растворителе в присутствии азотсодержащего соединения, йодсодержащего неорганического материала и цинка или цинкового сплава.in an organic solvent in the presence of a nitrogen-containing compound, an iodine-containing inorganic material, and zinc or a zinc alloy.
Пункт 2.Point 2.
Способ производства в соответствии с пунктом 1, в котором количество используемого йодсодержащего неорганического материала составляет 0,0005 моль или больше на моль цинка или цинкового сплава и равно растворимости или ниже чем растворимость в органическом растворителе.The production method according to item 1, wherein the amount of the iodine-containing inorganic material used is 0.0005 mol or more per mol of zinc or zinc alloy and is equal to or lower than the solubility in the organic solvent.
Пункт 3.Point 3.
Способ производства в соответствии с пунктом 1 или 2, в котором йодсодержащий неорганический материал представляет собой йод и/или йодид металла.The production method according to claim 1 or 2, wherein the iodine-containing inorganic material is iodine and/or metal iodide.
Пункт 4.Item 4.
Способ производства в соответствии с любым из пунктов 1-3, в котором реакционная стадия включает первую стадию смешения для смешения раствора, содержащего йодсодержащий неорганический материал, цинк или цинковый сплав и органический растворитель, с азотсодержащим соединением.The production method according to any one of 1 to 3, wherein the reaction step includes a first mixing step for mixing a solution containing an iodine-containing inorganic material, zinc or zinc alloy and an organic solvent with a nitrogen-containing compound.
Пункт 5.Item 5.
Способ производства в соответствии с пунктом 4, в котором на первой стадии смешения азотсодержащее соединение добавляют к раствору, содержащему цинк или цинковый сплав, при скорости добавления от 0,1 до 600 моль/час на моль цинка или цинкового сплава.The production method according to item 4, wherein in the first mixing step, the nitrogen-containing compound is added to the solution containing zinc or zinc alloy at an addition rate of 0.1 to 600 mol/hour per mol of zinc or zinc alloy.
Пункт 6.Item 6.
Способ производства в соответствии с пунктом 4 или 5, в котором реакционная стадия включает после первой стадии смешения вторую стадию смешения для смешения полученной смеси с соединением, представленным формулой (2).The production method according to item 4 or 5, wherein the reaction step includes, after the first mixing step, a second mixing step for mixing the obtained mixture with the compound represented by the formula (2).
Пункт 7.Item 7.
Способ производства в соответствии с пунктом 6, в котором на второй стадии смешения соединение, представленное формулой (2), добавляют к смеси, полученной на первой стадии смешения, при скорости добавления от 0,05 до 30 моль/час на моль цинка или цинкового сплава.The production method according to item 6, wherein in the second mixing step, the compound represented by the formula (2) is added to the mixture obtained in the first mixing step at an addition rate of 0.05 to 30 mol/hour per mol of zinc or zinc alloy .
Пункт 8.Item 8.
Способ производства в соответствии с любым из пунктов 4-7, в котором на первой стадии смешения, когда раствор, содержащий йодсодержащий неорганический материал, цинк или цинковый сплав и органический растворитель, смешивают с азотсодержащим соединением, температура раствора составляет от 50 до 200°C.The production method according to any one of 4 to 7, wherein in the first mixing step, when a solution containing an iodine-containing inorganic material, zinc or zinc alloy and an organic solvent is mixed with a nitrogen-containing compound, the temperature of the solution is 50 to 200°C.
Пункт 9.Item 9.
Способ производства в соответствии с любым из пунктов 1-8, в котором азотсодержащее соединение представляет собой N, N-диметилформамид.The production method according to any one of items 1 to 8, wherein the nitrogen compound is N,N-dimethylformamide.
Пункт 10.Item 10.
Способ производства в соответствии с любым из пунктов 1-9, в котором органический растворитель имеет температуру кипения, равную или ниже чем температура кипения азотсодержащего соединения.The production method according to any one of items 1 to 9, wherein the organic solvent has a boiling point equal to or lower than the boiling point of the nitrogen-containing compound.
Пункт 11.Item 11.
Перфторалкадиеновая композиция, содержащаяPerfluoroalkadiene composition containing
- перфторалкадиеновое соединение, представленное формулой (1):- perfluoroalkadiene compound represented by the formula (1):
CF2=CF-(CF2)n-4-CF=CF2 (1),CF 2 =CF-(CF 2 ) n-4 -CF=CF 2 (1),
где n представляет собой целое число от 4 до 20;where n is an integer from 4 to 20;
- соединение, представленное формулой (3):- compound represented by formula (3):
CF2=CF-(CF2)n-4-CFX3-CF2H (3)CF 2 =CF-(CF 2 ) n-4 -CFX 3 -CF 2 H (3)
где n имеет значения, определенные выше, и X3 означает атом галогена;where n is as defined above and X 3 is a halogen atom;
- соединение, представленное формулой (4A):- the compound represented by the formula (4A):
CF2X1-CFX2-(CF2)n-4-CF=CF2 (4A),CF 2 X 1 -CFX 2 -(CF 2 ) n-4 -CF=CF 2 (4A),
где n имеет значения, определенные выше, X1 и X2 являются одинаковыми или разными и означают атом галогена, при условии, что X1 и X2 не являются атомом фтора одновременно,where n has the meanings defined above, X 1 and X 2 are the same or different and mean a halogen atom, provided that X 1 and X 2 are not simultaneously a fluorine atom,
и/илиand/or
- соединение, представленное формулой (4B):- the compound represented by the formula (4B):
CF2H-CFX2-(CF2)n-4-CFX3-CF2H (4B),CF 2 H-CFX 2 -(CF 2 ) n-4 -CFX 3 -CF 2 H (4B),
где n имеет значения, определенные выше, X2 и X3 являются одинаковыми или разными и означают атом галогена;where n has the meanings defined above, X 2 and X 3 are the same or different and represent a halogen atom;
иand
- соединение, представленное формулой (5):- compound represented by formula (5):
CF2X1-CFX2-(CF2)n-4-CFX3-CF2H (5),CF 2 X 1 -CFX 2 -(CF 2 ) n-4 -CFX 3 -CF 2 H (5),
где n имеет значения, определенные выше, X1, X2 и X3 являются одинаковыми или разными и означают атом галогена, при условии, что X1 и X2 не являются атомом фтора одновременно.where n has the meanings defined above, X 1 , X 2 and X 3 are the same or different and represent a halogen atom, provided that X 1 and X 2 are not simultaneously a fluorine atom.
Пункт 12.Item 12.
Перфторалкадиеновая композиция в соответствии с пунктом 11, в котором соединение, представленное формулой (1), присутствует в количестве от 80 до 99,8% мол. из расчета на общее количество перфторалкадиеновой композиции, принимаемой за 100% мол.Perfluoroalkadiene composition according to paragraph 11, in which the compound represented by formula (1) is present in an amount of from 80 to 99.8 mol%. based on the total amount of perfluoroalkadiene composition taken as 100 mol%.
Пункт 13.Item 13.
Перфторалкадиеновая композиция в соответствии с пунктом 11 или 12, в котором перфторалкадиеновое соединение представляет собой гексафторбутадиен.The perfluoroalkadiene composition according to 11 or 12, wherein the perfluoroalkadiene compound is hexafluorobutadiene.
Пункт 14.Item 14.
Газ для травления, хладагент, теплопередающая среда, пенообразователь или смоляной мономер, причем каждый содержит перфторалкадиеновую композицию по любому из пунктов 11-13.An etchant gas, a coolant, a heat transfer medium, a blowing agent, or a resin monomer, each containing the perfluoroalkadiene composition of any one of 11-13.
Положительные эффекты изобретенияPositive effects of the invention
[0007][0007]
Настоящее изобретение предлагает перфторалкадиеновое соединение, получаемое с высоким выходом при одновременном уменьшении также количества трудноотделяемых примесей.The present invention provides a perfluoroalkadiene compound obtainable in high yield while also reducing the amount of stubborn impurities.
Описание вариантов осуществленияDescription of Embodiments
[0008][0008]
В настоящем описании термины «содержит», «состоит» и «включает» охватывают понятия «содержащий», «состоящий в основном из» и «состоящий из». В настоящем описании интервал числовых значений, обозначенный «от A до B», означает «A или больше» и «B или меньше».In the present description, the terms "comprises", "consists" and "includes" encompass the concepts of "comprising", "consisting mainly of" and "consisting of". In the present description, the range of numerical values indicated "from A to B" means "A or more" and "B or less".
[0009][0009]
Способ производства перфторалкадиенового соединения в соответствии с настоящим изобретением означает способ производства перфторалкадиенового соединения, представленного формулой (1):The production method of the perfluoroalkadiene compound according to the present invention means the production method of the perfluoroalkadiene compound represented by the formula (1):
CF2=CF-(CF2)n-4-CF=CF2 (1),CF 2 =CF-(CF 2 ) n-4 -CF=CF 2 (1),
где n представляет собой целое число от 4 до 20,where n is an integer from 4 to 20,
причем способ включает реакционную стадию взаимодействия соединения формулы (2):wherein the method includes the reaction step of reacting a compound of formula (2):
CF2X1-CFX2-(CF2)n-4-CFX3-CF2X4 (2),CF 2 X 1 -CFX 2 -(CF 2 ) n-4 -CFX 3 -CF 2 X 4 (2),
где n имеет значения, определенные выше, X1, X2, X3 и X4 являются одинаковыми или разными и означают атом галогена, при условии, что X1 и X2 не являются атомом фтора одновременно, и X3 и X4 не являются атомом фтора одновременно,where n has the meanings defined above, X 1 , X 2 , X 3 and X 4 are the same or different and represent a halogen atom, provided that X 1 and X 2 are not simultaneously a fluorine atom, and X 3 and X 4 are not are a fluorine atom at the same time,
в органическом растворителе в присутствии азотсодержащего соединения, йодсодержащего неорганического материала и цинка или цинкового сплава.in an organic solvent in the presence of a nitrogen-containing compound, an iodine-containing inorganic material, and zinc or a zinc alloy.
[0010][0010]
Настоящее изобретение позволяет производить целевое соединение с более высоким выходом, чем способы, раскрытые в ПД 1 и ПД 2, при меньшем производстве трудноотделяемых примесей, таких как 1,1,1,2,4,4,4-гептафтор-2-бутен, чем в способе, раскрытом в ПД 2.The present invention allows the target compound to be produced in a higher yield than the methods disclosed in PD 1 and PD 2, with less production of difficult-to-separate impurities such as 1,1,1,2,4,4,4-heptafluoro-2-butene, than in the method disclosed in PD 2.
[0011][0011]
В формулах (1) и (2) n означает целое число от 4 до 20, более предпочтительно целое число от 4 до 10. За счет n в пределах таких интервалов способ в соответствии с настоящим изобретением может обеспечить перфторалкадиеновое соединение с более высоким выходом при одновременном уменьшении также количества трудноотделяемых примесей.In formulas (1) and (2), n is an integer from 4 to 20, more preferably an integer from 4 to 10. By providing n within such ranges, the method of the present invention can provide a perfluoroalkadiene compound in higher yield while also reducing the amount of hard-to-separate impurities.
[0012][0012]
Говоря конкретнее, примеры производимых перфторалкадиеновых соединений, представленных формулой (1), включают гексафтор-бутадиен (CF2=CF-CF=CF2), октафторпентадиен (CF2=CF-CF2-CF=CF2) и декафторгексадиен (CF2=CF-CF2-CF2-CF=CF2).More specifically, examples of the perfluoroalkadiene compounds represented by formula (1) that can be produced include hexafluorobutadiene (CF 2 =CF-CF=CF 2 ), octafluoropentadiene (CF 2 =CF-CF 2 -CF=CF 2 ), and decafluorohexadiene (CF 2 =CF-CF 2 -CF 2 -CF=CF 2 ).
[0013][0013]
В формуле (2) заместители X1, X2, X3 и X4 каждый представляют собой атом галогена, и примеры включают атом фтора, атом хлора, атом брома и атом йода. Заместители X1, X2, X3 и X4 могут быть одинаковыми или разными. Однако, когда оба заместителя X1 и X2 представляют собой атом фтора, или оба заместителя X3 и X4 представляют собой атом фтора, реакция не протекает, что приводит к невозможности получения перфторалкадиенового соединения. Следовательно, заместители X1 и X2 не являются атомом фтора одновременно, и заместители X3 и X4 не являются атомом фтора одновременно. В частности, с точки зрения получения перфторалкадиенового соединения с более высоким выходом при одновременно уменьшении также количества трудноотделяемых примесей заместитель X1 предпочтительно представляет собой атом хлора, атом брома, атом йода и т.д. (в частности, атом хлора, атом брома и т.д.), заместитель X2 предпочтительно представляет собой атом фтора, атом хлора, атом брома и т.д. (в частности, атом фтора, атом хлора и т.д.), заместитель X3 предпочтительно представляет собой атом фтора, атом хлора и т.д. (в частности, атом фтора), и заместитель X4 предпочтительно представляет собой атом хлора, атом брома, атом йода и т.д. (в частности, атом брома, атом йода и т.д.).In the formula (2), the substituents X 1 , X 2 , X 3 and X 4 each represent a halogen atom, and examples include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom. Substituents X 1 , X 2 , X 3 and X 4 may be the same or different. However, when both X 1 and X 2 are fluorine atom, or both X 3 and X 4 are fluorine atom, the reaction does not proceed, resulting in the impossibility of obtaining a perfluoroalkadiene compound. Therefore, the substituents X 1 and X 2 are not simultaneously fluorine, and the substituents X 3 and X 4 are not simultaneously fluorine. Particularly, from the viewpoint of obtaining the perfluoroalkadiene compound in a higher yield while also reducing the amount of hard-to-separate impurities, the substituent X 1 is preferably a chlorine atom, a bromine atom, an iodine atom, etc. (in particular, a chlorine atom, a bromine atom, etc.), the X 2 substituent is preferably a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, etc. (in particular, a fluorine atom, a chlorine atom, etc.), the X 3 substituent is preferably a fluorine atom, a chlorine atom, etc. (in particular, a fluorine atom), and the substituent X 4 is preferably a chlorine atom, a bromine atom, an iodine atom, etc. (in particular, a bromine atom, an iodine atom, etc.).
[0014][0014]
Примеры соединений, представленных формулой (2), которые соответствуют таким требованиям, включают ClCF2-CFCl-CF2-CF2I, ClCF2-CFCl-CF2-CF2-CF2I, ClCF2-CFCl-CF2-CF2-CF2-CF2I, ICF2-CF2-CF2-CF2I, ICF2-CF2-CF2-CF2-CF2I, ICF2-CF2-CF2-CF2-CF2-CF2I, BrCF2-CF2-CF2-CF2Br, BrCF2-CF2-CF2-CF2-CF2Br и BrCF2-CF2-CF2-CF2-CF2-CF2Br. С точки зрения получения перфторалкадиенового соединения с более высоким выходом при одновременном уменьшении также количества трудноотделяемых примесей соединения, представленные формулой (2), которые соответствуют таким требованиям, предпочтительно включают ClCF2-CFCl-CF2-CF2I, ClCF2-CFCl-CF2-CF2-CF2I, ClCF2-CFCl-CF2-CF2-CF2-CF2I, BrCF2-CF2-CF2-CF2Br, BrCF2-CF2-CF2-CF2-CF2Br, BrCF2-CF2-CF2-CF2-CF2-CF2Br или им подобные, и более предпочтительно BrCF2-CF2-CF2-CF2Br, BrCF2-CF2-CF2-CF2-CF2Br, BrCF2-CF2-CF2-CF2-CF2-CF2Br или им подобные.Examples of the compounds represented by formula (2) that meet such requirements include ClCF 2 -CFCl-CF 2 -CF 2 I, ClCF 2 -CFCl-CF 2 -CF 2 -CF 2 I, ClCF 2 -CFCl-CF 2 - CF 2 -CF 2 -CF 2 I, ICF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 I, ICF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 I, ICF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 I, BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 Br, BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 Br and BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 Br. From the viewpoint of obtaining the perfluoroalkadiene compound with a higher yield while also reducing the amount of hard-to-separate impurities, the compounds represented by the formula (2) that meet such requirements preferably include ClCF 2 -CFCl-CF 2 -CF 2 I, ClCF 2 -CFCl-CF 2 -CF 2 -CF 2 I, ClCF 2 -CFCl-CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 I, BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 Br, BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 Br, BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 Br or the like, and more preferably BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 Br, BrCF 2 -CF 2 - CF 2 -CF 2 -CF 2 Br, BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 Br or the like.
[0015][0015]
Количество такого соединения, представленного формулой (2), предпочтительно составляет от 0,05 до 30 моль, более предпочтительно от 0,1 до 10 моль и еще более предпочтительно от 0,2 до 5 моль на моль цинка или цинкового сплава, описанных ниже, с точки зрения получения перфторалкадиенового соединения с более высоким выходом при одновременном уменьшении также количества трудноотделяемых примесей.The amount of such a compound represented by formula (2) is preferably 0.05 to 30 mol, more preferably 0.1 to 10 mol, and even more preferably 0.2 to 5 mol per mol of zinc or zinc alloy described below, from the point of view of obtaining a perfluoroalkadiene compound with a higher yield while also reducing the amount of hard-to-separate impurities.
[0016][0016]
Азотсодержащее соединение может представлять собой любое соединение, которое содержит атом азота. Примеры азотсодержащих соединений включают амидные соединения (например, N, N-диметилформамид и N, N-диизопропилформамид), аминные соединения (например, триэтиламин), пиридиновые соединения (например, пиридин, метилпиридин и N-метил-2-пирролидон) и соединения хинолина (например, хинолин и метилхинолин). Такие азотсодержащие соединения могут быть использованы по отдельности или в комбинации из двух или более соединений. Из них с точки зрения получения перфторалкадиенового соединения с более высоким выходом при одновременном уменьшении также количества трудноотделяемых примесей предпочтительны амидные соединения, а N, N-диметилформамид является более предпочтительным.The nitrogen-containing compound may be any compound that contains a nitrogen atom. Examples of nitrogen-containing compounds include amide compounds (for example, N,N-dimethylformamide and N,N-diisopropylformamide), amine compounds (for example, triethylamine), pyridine compounds (for example, pyridine, methylpyridine, and N-methyl-2-pyrrolidone), and quinoline compounds. (eg quinoline and methylquinoline). Such nitrogen-containing compounds may be used singly or in combination of two or more compounds. Of these, from the viewpoint of obtaining the perfluoroalkadiene compound in a higher yield while also reducing the amount of hard-to-separate impurities, amide compounds are preferable, and N,N-dimethylformamide is more preferable.
[0017][0017]
Азотсодержащее соединение включает соединения, которые находятся в жидкой форме при комнатной температуре. Однако с точки зрения получения перфторалкадиенового соединения с более высоким выходом при одновременном уменьшении также количества трудноотделяемых примесей предпочтительно использовать азотсодержащее соединение в качестве добавки (в небольшом количестве), а не в качестве растворителя. Количество используемого азотсодержащего соединения предпочтительно составляет от 0,25 до 4 моль и более предпочтительно от 0,5 до 2 моль на моль цинка или цинкового сплава, описанных ниже.The nitrogen-containing compound includes compounds that are in liquid form at room temperature. However, from the point of view of obtaining the perfluoroalkadiene compound in a higher yield while also reducing the amount of difficult-to-separate impurities, it is preferable to use the nitrogen-containing compound as an additive (in a small amount) rather than as a solvent. The amount of nitrogen-containing compound used is preferably 0.25 to 4 mol and more preferably 0.5 to 2 mol per mol of zinc or zinc alloy described below.
[0018][0018]
Йодсодержащий неорганический материал может представлять собой любой неорганический материал, который содержит атом йода. Примеры йодсодержащих неорганических материалов включают йод и йодид металла, такой как типичный йодид металла (например, йодид натрия, йодид калия, йодид магния и йодид кальция), и йодид переходного металла (например, йодид цинка). Способ производства в соответствии с настоящим изобретением может давать галогенид цинка (смесь фторида цинка, хлорида цинка и йодида цинка) в виде примесей в продукте. Галогенид цинка, находящийся в продукте в качестве примесей, может быть использован в качестве йодсодержащего неорганического материала и может быть рециркулирован в способ производства в соответствии с настоящим изобретением. Такие йодсодержащие неорганические материалы могут быть использованы по отдельности или в комбинации из двух или более. В частности, с точки зрения получения перфторалкадиенового соединения с более высоким выходом при одновременном уменьшении также количества трудноотделяемых примесей, йодсодержащий неорганический материал предпочтительно представляет собой йод, йодид переходного металла, галогенид цинка, находящийся в продукте в виде примесей при способе производства в соответствии с настоящим изобретением, или т.п., и более предпочтительно йод. Использование не содержащего йод материала, такого как фторид цинка или хлорид цинка, в качестве галогенсодержащего материала вместо йодсодержащего неорганического соединения, не обеспечивает эффект увеличения выхода перфторалкадиенового соединения.The iodine-containing inorganic material may be any inorganic material that contains an iodine atom. Examples of iodine-containing inorganic materials include iodine and metal iodide, such as typical metal iodide (eg sodium iodide, potassium iodide, magnesium iodide and calcium iodide), and transition metal iodide (eg zinc iodide). The production method according to the present invention may produce zinc halide (a mixture of zinc fluoride, zinc chloride and zinc iodide) as impurities in the product. The zinc halide found as impurities in the product can be used as an iodine-containing inorganic material and can be recycled to the production process according to the present invention. Such iodine-containing inorganic materials may be used alone or in combination of two or more. In particular, from the point of view of obtaining the perfluoroalkadiene compound with a higher yield while also reducing the amount of difficult-to-separate impurities, the iodine-containing inorganic material is preferably iodine, transition metal iodide, zinc halide, found as impurities in the product in the production method of the present invention. , or the like, and more preferably iodine. The use of an iodine-free material such as zinc fluoride or zinc chloride as a halogen-containing material instead of an iodine-containing inorganic compound does not provide the effect of increasing the yield of the perfluoroalkadiene compound.
[0019][0019]
Количество йодсодержащего неорганического соединения предпочтительно составляет 0,0005 моль или больше на моль цинка или цинкового сплава и равно растворимости или меньше чем растворимость йодсодержащего неорганического соединения в органическом растворителе, и более предпочтительно от 0,001 до 0,1 моль на моль цинка или цинкового сплава с точки зрения получения перфторалкадиенового соединения с более высоким выходом при одновременном уменьшении также количества трудноотделяемых примесей.The amount of the iodine-containing inorganic compound is preferably 0.0005 mol or more per mol of zinc or zinc alloy and is equal to or less than the solubility of the iodine-containing inorganic compound in an organic solvent, and more preferably 0.001 to 0.1 mol per mol of zinc or zinc alloy from the point in terms of obtaining a perfluoroalkadiene compound with a higher yield while also reducing the amount of hard-to-separate impurities.
[0020][0020]
Примеры элементов, находящих применение в цинковом сплаве в случае «цинка или цинкового сплава» включают свинец, кадмий и железо. Коммерчески доступный цинк может содержать примеси, такие как свинец, кадмий и железо. Настоящее изобретение включает цинковый сплав, который содержит такие примеси.Examples of elements that find use in zinc alloy in the case of "zinc or zinc alloy" include lead, cadmium and iron. Commercially available zinc may contain impurities such as lead, cadmium, and iron. The present invention includes a zinc alloy that contains such impurities.
[0021][0021]
Органический растворитель предпочтительно представляет собой неполярный органический растворитель особенно с точки зрения растворения соединения, представленного формулой (1), йодсодержащего неорганического материала и т.п. Органический растворитель предпочтительно имеет температуру кипения, равную или ниже чем температура кипения азотсодержащего соединения. Примеры таких органических растворителей включают ароматические углеводородные соединения, такие как гептан, гексан, бензол, толуол и ксилол; и простые эфирные соединения, такие как тетрагидрофуран и диэтиловый эфир.The organic solvent is preferably a non-polar organic solvent, especially from the viewpoint of dissolving the compound represented by the formula (1), an iodine-containing inorganic material, and the like. The organic solvent preferably has a boiling point equal to or lower than the boiling point of the nitrogen-containing compound. Examples of such organic solvents include aromatic hydrocarbon compounds such as heptane, hexane, benzene, toluene and xylene; and ether compounds such as tetrahydrofuran and diethyl ether.
[0022][0022]
Количество используемого органического растворителя может представлять собой любое количество, которое является растворяющим количеством, и предпочтительно составляет от 0,01 до 10 моль и более предпочтительно от 0,1 до 5 моль на моль цинка или цинкового сплава.The amount of organic solvent used may be any amount which is a solvent amount, and is preferably 0.01 to 10 mol and more preferably 0.1 to 5 mol per mol of zinc or zinc alloy.
[0023][0023]
Способ производства в соответствии с настоящим изобретением включает взаимодействие соединения, представленного формулой (2), в органическом растворителе в присутствии азотсодержащего соединения, йодсодержащего неорганического материала и цинка или цинкового сплава. Порядок добавления каждого компонента не ограничен. Компоненты могут быть добавлены одновременно или последовательно. В частности, с точки зрения получения перфторалкадиенового соединения с более высоким выходом при одновременном уменьшении также количества трудноотделяемых примесей предпочтительно смешивать раствор, который содержит йодсодержащий неорганический материал, цинк или цинковый сплав и органический растворитель, с азотсодержащим соединением (в частности, добавлять азотсодержащее соединение к раствору, который содержит йодсодержащий неорганический материал, цинк или цинковый сплав и органический растворитель).The production method according to the present invention includes reacting the compound represented by the formula (2) in an organic solvent in the presence of a nitrogen-containing compound, an iodine-containing inorganic material, and zinc or a zinc alloy. The order in which each component is added is not limited. The components may be added simultaneously or sequentially. Particularly, from the point of view of obtaining the perfluoroalkadiene compound with a higher yield while also reducing the amount of hard-to-separate impurities, it is preferable to mix a solution that contains an iodine-containing inorganic material, zinc or zinc alloy and an organic solvent with a nitrogen-containing compound (in particular, to add a nitrogen-containing compound to a solution which contains an iodine-containing inorganic material, zinc or zinc alloy and an organic solvent).
[0024][0024]
Предпочтительно корректировать количество каждого компонента в растворе, который содержит йодсодержащий неорганический материал, цинк или цинковый сплав и органический растворитель, так чтобы количество каждого компонента попадало в пределы интервалов, описанных выше. Когда соединение, представленное формулой (2), смешивают на последней стадии (в частности, при добавлении), предпочтительно корректировать количество каждого компонента с учетом смешиваемого количества соединения, представленного формулой (2) (в частности, добавляемого количества).It is preferable to adjust the amount of each component in a solution that contains an iodine-containing inorganic material, zinc or zinc alloy and an organic solvent so that the amount of each component falls within the ranges described above. When the compound represented by formula (2) is mixed in the last step (particularly when adding), it is preferable to adjust the amount of each component based on the blending amount of the compound represented by formula (2) (particularly the amount to be added).
[0025][0025]
Когда раствор, который содержит йодсодержащий неорганический материал, цинк или цинковый сплав и органический растворитель, смешивают с азотсодержащим соединением (при добавлении азотсодержащего соединения к раствору, который содержит йодсодержащий неорганический материал, цинк или цинковый сплав и органический растворитель), предпочтительно, чтобы при смешении раствора, содержащего йодсодержащий неорганический материал, цинк или цинковый сплав и органический растворитель, с азотсодержащим соединением температура раствора составляла предпочтительно от 50 до 200°C, более предпочтительно от 100 до 150°C. В частности, предпочтительно, чтобы при добавлении азотсодержащего соединения к раствору, который содержит йодсодержащий неорганический материал, цинк или цинковый сплав и органический растворитель, температура раствора составляла предпочтительно от 50 до 200°C и более предпочтительно от 100 до 150°C. Когда азотсодержащее соединение добавляют к раствору, который содержит йодсодержащий неорганический материал, цинк или цинковый сплав и органический растворитель, при одновременно кипячении раствора с обратным холодильником растворитель вследствие того, что его температура кипения ниже, чем реакционная температура, испаряется при реакционной температуре; испаренный растворитель, следовательно, может быть охлажден и возвращен в реактор. При добавлении азотсодержащего соединения к раствору, который содержит йодсодержащий неорганический материал, цинк или цинковый сплав и органический растворитель, при одновременном кипячении раствора с обратным холодильником наиболее предпочтительно нагревать раствор до температуры кипения с обратным холодильником.When a solution that contains an iodine-containing inorganic material, zinc or zinc alloy and an organic solvent is mixed with a nitrogen-containing compound (when adding a nitrogen-containing compound to a solution that contains an iodine-containing inorganic material, zinc or zinc alloy and an organic solvent), it is preferable that when mixing the solution containing an iodine-containing inorganic material, zinc or zinc alloy and an organic solvent, with a nitrogen-containing compound, the solution temperature was preferably 50 to 200°C, more preferably 100 to 150°C. In particular, it is preferable that when adding a nitrogen-containing compound to a solution that contains an iodine-containing inorganic material, zinc or zinc alloy and an organic solvent, the temperature of the solution is preferably 50 to 200°C, and more preferably 100 to 150°C. When a nitrogen-containing compound is added to a solution that contains an iodine-containing inorganic material, zinc or zinc alloy and an organic solvent, while the solution is refluxed at the same time, the solvent due to its boiling point being lower than the reaction temperature evaporates at the reaction temperature; the evaporated solvent can therefore be cooled and returned to the reactor. When adding a nitrogen-containing compound to a solution that contains an iodine-containing inorganic material, zinc or zinc alloy and an organic solvent, while refluxing the solution, it is most preferable to heat the solution to the reflux temperature.
[0026][0026]
После нагревания (в частности, нагревания при температуре кипения с обратным холодильником) раствор, который содержит йодсодержащий неорганический материал, цинк или цинковый сплав и органический растворитель, смешивают с азотсодержащим соединением. Например, когда азотсодержащее соединение добавляют к раствору, который содержит йодсодержащий неорганический материал, цинк или цинковый сплав и органический растворитель, азотсодержащее соединение добавляют при скорости добавления (скорости добавления по каплям) предпочтительно от 0,1 до 600 моль/час и более предпочтительно от 0,33 до 60 моль/час на моль цинка или цинкового сплава с точки зрения получения перфторалкадиенового соединения, представленного формулой (1), с более высоким выходом при одновременном уменьшении также количества трудноотделяемых примесей. Время добавления предпочтительно представляет собой такой период времени, за который реакция протекает достаточно эффективно, и особенно предпочтительно корректировать временной период так, чтобы общее количество добавленного азотсодержащего соединения попадало в пределы интервалов, описанных выше. Говоря точнее, время добавления предпочтительно составляет от 0,002 до 10 час и более предпочтительно от 0,02 до 3 час. After heating (in particular, heating at reflux temperature), a solution that contains an iodine-containing inorganic material, zinc or zinc alloy and an organic solvent is mixed with a nitrogen-containing compound. For example, when a nitrogen-containing compound is added to a solution that contains an iodine-containing inorganic material, zinc or zinc alloy, and an organic solvent, the nitrogen-containing compound is added at an addition rate (dropwise addition rate) preferably from 0.1 to 600 mol/hour, and more preferably from 0 ,33 to 60 mol/hour per mol of zinc or zinc alloy in terms of obtaining the perfluoroalkadiene compound represented by formula (1) in a higher yield while also reducing the amount of hard-to-separate impurities. The time of addition is preferably such a period of time for which the reaction proceeds efficiently enough, and it is particularly preferable to adjust the time period so that the total amount of added nitrogen-containing compound falls within the ranges described above. More specifically, the addition time is preferably 0.002 to 10 hours, and more preferably 0.02 to 3 hours.
[0027][0027]
В способе производства в соответствии с настоящим изобретением, описанном выше, при смешении раствора, который содержит йодсодержащий неорганический материал, цинк или цинковый сплав и органический растворитель, с азотсодержащим соединением (в частности, при добавлении азотсодержащего соединения к раствору, который содержит йодсодержащий неорганический материал, цинк или цинковый сплав и органический растворитель), соединение, представленное формулой (2), которое является субстратом, может находиться в растворе, который содержит йодсодержащий неорганический материал, цинк или цинковый сплав и органический растворитель (ниже «предварительное добавление субстрата»); или после смешения раствора, который содержит йодсодержащий неорганический материал, цинк или цинковый сплав и органический растворитель, с азотсодержащим соединением (в частности, при добавлении азотсодержащего соединения к раствору, который содержит йодсодержащий неорганический материал, цинк или цинковый сплав и органический растворитель), полученный таким образом раствор может быть смешан с соединением, представленным формулой (2) (субстрат) (в частности, соединение, представленное формулой (2) (субстрат) может быть добавлено к полученному таким образом раствору) (ниже «последующее добавление субстрата»). Из них последующее добавление субстрата особенно предпочтительно, так как обеспечение возможности цинку или цинковому сплаву заранее реагировать с азотсодержащим соединением, предупреждает или уменьшает взаимодействие соединения, представленного формулой (2), с азотсодержащим соединением, что снижает образование трудноотделяемых примесей, увеличивая в результате выход перфторалкадиенового соединения.In the production method according to the present invention described above, when mixing a solution that contains an iodine-containing inorganic material, zinc or zinc alloy and an organic solvent with a nitrogen-containing compound (in particular, when adding a nitrogen-containing compound to a solution that contains an iodine-containing inorganic material, zinc or zinc alloy and an organic solvent), the compound represented by the formula (2) which is a substrate may be in a solution that contains an iodine-containing inorganic material, zinc or zinc alloy and an organic solvent (hereinafter "substrate pre-addition"); or after mixing a solution that contains an iodine-containing inorganic material, zinc or zinc alloy and an organic solvent with a nitrogen-containing compound (in particular, when adding a nitrogen-containing compound to a solution that contains an iodine-containing inorganic material, zinc or zinc alloy and an organic solvent), obtained by such thus, the solution can be mixed with the compound represented by the formula (2) (substrate) (in particular, the compound represented by the formula (2) (substrate) can be added to the solution thus obtained) (hereinafter "substrate addition"). Of these, the subsequent addition of the substrate is particularly preferable because allowing the zinc or zinc alloy to react with the nitrogen-containing compound in advance prevents or reduces the reaction of the compound represented by the formula (2) with the nitrogen-containing compound, which reduces the formation of difficult-to-separate impurities, thereby increasing the yield of the perfluoroalkadiene compound. .
[0028][0028]
При использовании предварительного добавления субстрата, предпочтительно корректировать количество соединения, представленного формулой (2), присутствующего в растворе, который содержит йодсодержащий неорганический материал, цинк или цинковый сплав и органический растворитель, так, чтобы количество каждого компонента попадало в пределы интервалов, описанных выше.When using the preliminary addition of the substrate, it is preferable to adjust the amount of the compound represented by the formula (2) present in the solution which contains the iodine-containing inorganic material, zinc or zinc alloy and an organic solvent so that the amount of each component falls within the ranges described above.
[0029][0029]
При использовании последующего добавления субстрата после добавления азотсодержащего соединения к раствору, который содержит йодсодержащий неорганический материал, цинк или цинковый сплав и органический растворитель, соединение, представленное формулой (2) (субстрат), добавляют к полученному таким образом раствору при скорости добавления (скорость добавления по каплям) предпочтительно от 0,05 до 30 моль/час и более предпочтительно от 0,17 до 6 моль/час на моль цинка или цинкового сплава с точки зрения получения перфторалкадиенового соединения, представленного формулой (1), с более высоким выходом при одновременном уменьшении также количества трудноотделяемых примесей. Время добавления предпочтительно представляет собой такой период времени, при котором реакция протекает в достаточной степени, и предпочтительно корректировать временной период так, чтобы общее количество добавленного соединения, представленного формулой (2), попадало в пределы интервалов, описанных выше. Более конкретно, время добавления предпочтительно составляет от 0,02 до 10 час и более предпочтительно от 0,08 до 3 час.When using post-substrate addition after adding a nitrogen-containing compound to a solution that contains an iodine-containing inorganic material, zinc or zinc alloy and an organic solvent, the compound represented by formula (2) (substrate) is added to the thus obtained solution at an addition rate (addition rate according to drops) preferably 0.05 to 30 mol/hour and more preferably 0.17 to 6 mol/hour per mol of zinc or zinc alloy, from the viewpoint of obtaining the perfluoroalkadiene compound represented by the formula (1) with a higher yield while reducing as well as the amount of hard-to-separate impurities. The addition time is preferably such a period of time that the reaction proceeds sufficiently, and it is preferable to adjust the time period so that the total amount of added compound represented by formula (2) falls within the ranges described above. More specifically, the addition time is preferably 0.02 to 10 hours, and more preferably 0.08 to 3 hours.
[0030][0030]
Условия реакции, отличные от описанных выше условий, не ограничены. Например, реакционная атмосфера предпочтительно представляет собой атмосферу инертного газа (например, атмосферу азота или атмосферу аргона), а время реакции (время пребывания при наиболее высокой достигнутой температуре) может представлять собой такой период времени, при котором реакция протекает в достаточной степени. По окончании реакции очистку проводят обычными способами с получением перфторалкадиенового соединения, представленного формулой (1).Reaction conditions other than those described above are not limited. For example, the reaction atmosphere is preferably an inert gas atmosphere (eg, a nitrogen atmosphere or an argon atmosphere), and the reaction time (residence time at the highest temperature reached) may be a time period in which the reaction proceeds sufficiently. After completion of the reaction, purification is carried out by conventional methods to obtain a perfluoroalkadiene compound represented by formula (1).
[0031][0031]
Способ производства в соответствии с настоящим изобретением, описанный выше, отличается повышенным выходом перфторалкадиенового соединения, представленного формулой (1), при этом также дополнительно снижается количество трудноотделяемых примесей, и способ может эффективно давать перфторалкадиеновое соединение, представленное формулой (1), при одновременном уменьшении работы по выделению трудноотделяемых примесей. Трудноотделяемые примеси представляют собой, например, 1,1,1,2,4,4,4-гептафтор-2-бутен (CF3CF=CHCF3), когда получаемым перфторалкадиеновым соединением, представленным формулой (1), является гексафторбутадиен.The production method of the present invention described above is characterized by an increased yield of the perfluoroalkadiene compound represented by formula (1), while also further reducing the amount of hard-to-separate impurities, and the method can effectively produce the perfluoroalkadiene compound represented by formula (1) while reducing work for the separation of hard-to-separate impurities. Hard-to-separate impurities are, for example, 1,1,1,2,4,4,4-heptafluoro-2-butene (CF 3 CF=CHCF 3 ) when the resulting perfluoroalkadiene compound represented by formula (1) is hexafluorobutadiene.
[0032][0032]
Полученное таким образом перфторалкадиеновое соединение, представленное формулой (1), может быть эффективно использовано для разных целей, включая газы для травления для формирования современных микроструктур, таких как полупроводники и жидкие кристаллы, хладагенты, теплопроводящие среды, пенообразователи, и смоляные мономеры.The perfluoroalkadiene compound thus obtained represented by formula (1) can be effectively used for various purposes, including etch gases to form advanced microstructures such as semiconductors and liquid crystals, coolants, heat transfer media, foaming agents, and resin monomers.
[0033][0033]
Как описано выше, настоящее изобретение предлагает перфторалкадиеновое соединение, представленное формулой (1). Кроме того, настоящее изобретение также предлагает перфторалкадиеновое соединение, представленное формулой (1), в виде перфторалкадиеновой композиции, причемAs described above, the present invention provides a perfluoroalkadiene compound represented by formula (1). In addition, the present invention also provides a perfluoroalkadiene compound represented by formula (1) as a perfluoroalkadiene composition, wherein
перфторалкадиеновая композиция содержит:perfluoroalkadiene composition contains:
- перфторалкадиеновое соединение, представленное формулой (1),- perfluoroalkadiene compound represented by the formula (1),
- соединение, представленное формулой (3):- compound represented by formula (3):
CF2=CF-(CF2)n-4-CFX3-CF2H (3),CF 2 =CF-(CF 2 ) n-4 -CFX 3 -CF 2 H (3),
где n имеет значения, определенные выше, X3 означает атом галогена;where n has the meanings defined above, X 3 means a halogen atom;
- соединение, представленное формулой (4A):- the compound represented by the formula (4A):
CF2X1-CFX2-(CF2)n-4-CF=CF2 (4A),CF 2 X 1 -CFX 2 -(CF 2 ) n-4 -CF=CF 2 (4A),
где n имеет значения, определенные выше, X1 и X2 являются одинаковыми или разными и означают атом галогена, при условии, что X1 и X2 не являются атомом фтора одновременно,where n has the meanings defined above, X 1 and X 2 are the same or different and mean a halogen atom, provided that X 1 and X 2 are not simultaneously a fluorine atom,
и/илиand/or
- соединение, представленное формулой (4B):- the compound represented by the formula (4B):
CF2H-CFX2-(CF2)n-4-CFX3-CF2H (4B),CF 2 H-CFX 2 -(CF 2 ) n-4 -CFX 3 -CF 2 H (4B),
где n имеет значения, определенные выше, X2 и X3 являются одинаковыми или разными и означают атом галогена;where n has the meanings defined above, X 2 and X 3 are the same or different and represent a halogen atom;
иand
- соединение, представленное формулой (5):- compound represented by formula (5):
CF2X1-CFX2-(CF2)n-4-CFX3-CF2H (5),CF 2 X 1 -CFX 2 -(CF 2 ) n-4 -CFX 3 -CF 2 H (5),
где n имеет значения, определенные выше, и X1, X2 и X3 являются одинаковыми или разными и означают атом галогена, при условии, что X1 и X2 не являются атомом фтора одновременно.where n has the meanings defined above, and X 1 , X 2 and X 3 are the same or different and represent a halogen atom, provided that X 1 and X 2 are not simultaneously a fluorine atom.
[0034][0034]
В формуле (3) заместитель X3 означает атом галогена, и примеры атомов галогена включают атом фтора, атом хлора, атом брома и атом йода. Как и в формуле (2), X3 предпочтительно представляет собой атом фтора, атом хлора и т.д. (особенно предпочтительно атом фтора). Примеры соединений, представленных формулой (3), которые соответствуют этим требованиям, включают CF2=CF-CF2-CF2H, CF2=CF-CF2-CF2-CF2H и CF2=CF-CF2-CF2-CF2-CF2H.In the formula (3), the substituent X 3 is a halogen atom, and examples of the halogen atoms include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom. As in formula (2), X 3 is preferably a fluorine atom, a chlorine atom, etc. (particularly preferably a fluorine atom). Examples of compounds represented by formula (3) that meet these requirements include CF 2 =CF-CF 2 -CF 2 H, CF 2 =CF-CF 2 -CF 2 -CF 2 H, and CF 2 =CF-CF 2 - CF 2 -CF 2 -CF 2H .
[0035][0035]
В формуле (4A) заместители X1 и X2 означают атом галогена, и примеры атомов галогена включают атом фтора, атом хлора, атом брома, атом йода и т.д.; и X1 и X2 могут быть одинаковыми или разными, при условии, что, как и в формуле (2), X1 и X2 не являются атомом фтора одновременно. Как и в формуле (2), X1 предпочтительно представляет собой атом хлора, атом брома, атом йода и т.д. (особенно предпочтительно атом хлора, атом брома и т.д.), и X2 предпочтительно представляет собой атом фтора, атом хлора, атом брома и т.д. (особенно предпочтительно атом фтора, атом хлора и т.д.). Примеры соединений, представленных формулой (4A), описанной выше, включают ClCF2-CFCl-CF=CF2, ClCF2-CFCl-CF2-CF=CF2, ClCF2-CFCl-CF2-CF2-CF=CF2, ICF2-CF2-CF=CF2, ICF2-CF2-CF2-CF=CF2, ICF2-CF2-CF2-CF2-CF=CF2, BrCF2-CF2-CF=CF2, BrCF2-CF2-CF2-CF=CF2 и BrCF2-CF2-CF2-CF2-CF=CF2; по той же причине, что и для формулы (2), соединение, представленное формулой (4A), предпочтительно представляет собой ClCF2-CFCl-CF=CF2, ClCF2-CFCl-CF2-CF=CF2, ClCF2-CFCl-CF2-CF2-CF=CF2, BrCF2-CF2-CF=CF2, BrCF2-CF2-CF2-CF=CF2, BrCF2-CF2-CF2-CF2-CF=CF2 или т.п., и более предпочтительно BrCF2-CF2-CF=CF2, BrCF2-CF2-CF2-CF=CF2, BrCF2-CF2-CF2-CF2-CF=CF2 или т.п.In the formula (4A), the substituents X 1 and X 2 represent a halogen atom, and examples of halogen atoms include fluorine atom, chlorine atom, bromine atom, iodine atom, etc.; and X 1 and X 2 may be the same or different, provided that, as in formula (2), X 1 and X 2 are not fluorine at the same time. As in formula (2), X 1 is preferably a chlorine atom, a bromine atom, an iodine atom, etc. (particularly preferably a chlorine atom, a bromine atom, etc.), and X 2 is preferably a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, etc. (particularly preferably a fluorine atom, a chlorine atom, etc.). Examples of the compounds represented by the formula (4A) described above include ClCF 2 -CFCl-CF=CF 2 , ClCF 2 -CFCl-CF 2 -CF=CF 2 , ClCF 2 -CFCl-CF 2 -CF 2 -CF=CF 2 , ICF 2 -CF 2 -CF=CF 2 , ICF 2 -CF 2 -CF 2 -CF=CF 2 , ICF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF=CF 2 , BrCF 2 -CF 2 - CF=CF 2 , BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF=CF 2 and BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF=CF 2 ; for the same reason as for formula (2), the compound represented by formula (4A) is preferably ClCF 2 -CFCl-CF=CF 2 , ClCF 2 -CFCl-CF 2 -CF=CF 2 , ClCF 2 - CFCl-CF 2 -CF 2 -CF=CF 2 , BrCF 2 -CF 2 -CF=CF 2 , BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF=CF 2 , BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 - CF=CF 2 or the like, and more preferably BrCF 2 -CF 2 -CF=CF 2 , BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF=CF 2 , BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 - CF=CF 2 or the like.
[0036][0036]
В формуле (4B) заместители X2 и X3 представляют собой атом галогена, и примеры атомов галогена включают атом фтора, атом хлора, атом брома, атом йода и т.д. Заместители X2 и X3 могут быть одинаковыми или разными. Как и в формуле (2), X2 предпочтительно представляет собой атом фтора, атом хлора, атом брома и т.д., (особенно предпочтительно атом фтора, атом хлора и т.д.), и X3 предпочтительно представляет собой атом фтора, атом хлора и т.д. (особенно предпочтительно атом фтора). Примеры соединений, представленных формулой (4B), которые соответствуют этим требованиям, включают HCF2-CFCl-CF2-CF2H, HCF2-CFCl-CF2-CF2-CF2H, HCF2-CFCl-CF2-CF2-CF2-CF2H, HCF2-CF2-CF2-CF2H, HCF2-CF2-CF2-CF2-CF2H и HCF2-CF2-CF2-CF2-CF2-CF2H; по той же причине, что и для формулы (2), соединение, представленное формулой (4B) предпочтительно представляет собой HCF2-CF2-CF2-CF2H, HCF2-CF2-CF2-CF2-CF2H, HCF2-CF2-CF2-CF2-CF2-CF2H или т.п.In the formula (4B), substituents X 2 and X 3 represent a halogen atom, and examples of halogen atoms include fluorine atom, chlorine atom, bromine atom, iodine atom, etc. The substituents X 2 and X 3 may be the same or different. As in the formula (2), X 2 is preferably a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, etc. (especially preferably a fluorine atom, a chlorine atom, etc.), and X 3 is preferably a fluorine atom , chlorine atom, etc. (particularly preferably a fluorine atom). Examples of compounds represented by formula (4B) that meet these requirements include HCF 2 -CFCl-CF 2 -CF 2 H, HCF 2 -CFCl-CF 2 -CF 2 -CF 2 H, HCF 2 -CFCl-CF 2 - CF 2 -CF 2 -CF 2 H, HCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 H, HCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 H and HCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 H; for the same reason as for formula (2), the compound represented by formula (4B) is preferably HCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 H, HCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 H, HCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 H or the like.
[0037][0037]
В формуле (5) заместители X1, X2 и X3 представляют собой атом галогена, и примеры атомов галогена включают атом фтора, атом хлора, атом брома, атом йода и т.д. Заместители X1, X2 и X3 могут быть одинаковыми или разными, при условии, что, как и в формуле (2), X1 и X2 не являются атомом фтора одновременно. Как и в формуле (2), X1 предпочтительно представляет собой атом хлора, атом брома, атом йода и т.д. (особенно предпочтительно атом хлора, атом брома и т.д.), X2 предпочтительно представляет собой атом фтора, атом хлора, атом брома и т.д. (особенно предпочтительно атом фтора, атом хлора и т.д.), и X3 предпочтительно представляет собой атом фтора, атом хлора и т.д. (особенно предпочтительно атом фтора). В частности, когда X3 означает атом фтора, это соединение, представленное формулой (5), присутствует в большом количестве в жидкой фазе, и едва ли присутствует в газовой фазе; следовательно, это соединение не обнаруживают при анализе только газовой фазы в сборном цилиндре. Более конкретно, перфторалкадиеновая композиция в соответствии с настоящим изобретением содержит примеси, присутствующие как в газовой фазе, так и жидкой фазе в сборном цилиндре. Примеры соединений, представленных формулой (5), которые соответствуют этим требованиям, включают ClCF2-CFCl-CF2-CF2H, ClCF2-CFCl-CF2-CF2-CF2H, ClCF2-CFCl-CF2-CF2-CF2-CF2H, ICF2-CF2-CF2-CF2H, ICF2-CF2-CF2-CF2-CF2H, ICF2-CF2-CF2-CF2-CF2-CF2H, BrCF2-CF2-CF2-CF2H, BrCF2-CF2-CF2-CF2-CF2H и BrCF2-CF2-CF2-CF2-CF2-CF2H. По той же причине, что и для формулы (2), соединением, представленным формулой (5), предпочтительно является ClCF2-CFCl-CF2-CF2H, ClCF2-CFCl-CF2-CF2-CF2H, ClCF2-CFCl-CF2-CF2-CF2-CF2H, BrCF2-CF2-CF2-CF2H, BrCF2-CF2-CF2-CF2-CF2H, BrCF2-CF2-CF2-CF2-CF2-CF2H или т.п., и более предпочтительно BrCF2-CF2-CF2-CF2H, BrCF2-CF2-CF2-CF2-CF2H, BrCF2-CF2-CF2-CF2-CF2-CF2H или т.п.In the formula (5), substituents X 1 , X 2 and X3 represent a halogen atom, and examples of halogen atoms include fluorine atom, chlorine atom, bromine atom, iodine atom, etc. The substituents X 1 , X 2 and X 3 may be the same or different, provided that, as in formula (2), X 1 and X 2 are not simultaneously a fluorine atom. As in formula (2), X 1 is preferably a chlorine atom, a bromine atom, an iodine atom, etc. (particularly preferably a chlorine atom, a bromine atom, etc.), X 2 is preferably a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, etc. (particularly preferably a fluorine atom, a chlorine atom, etc.), and X 3 is preferably a fluorine atom, a chlorine atom, etc. (particularly preferably a fluorine atom). In particular, when X 3 is a fluorine atom, the compound represented by the formula (5) is present in a large amount in the liquid phase, and is hardly present in the gas phase; therefore, this compound is not detected when analyzing only the gas phase in the collecting cylinder. More specifically, the perfluoroalkadiene composition according to the present invention contains impurities present in both the gas phase and the liquid phase in the collecting cylinder. Examples of compounds represented by formula (5) that meet these requirements include ClCF 2 -CFCl-CF 2 -CF 2 H, ClCF 2 -CFCl-CF 2 -CF 2 -CF 2 H, ClCF 2 -CFCl-CF 2 - CF 2 -CF 2 -CF 2 H, ICF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 H, ICF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 H, ICF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 H, BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 H, BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 H and BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 H. For the same reason as for formula (2), the compound represented by formula (5) is preferably ClCF 2 -CFCl-CF 2 -CF 2 H, ClCF 2 -CFCl-CF 2 -CF 2 -CF 2 H, ClCF 2 -CFCl-CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 H, BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 H, BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 H, BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 H or the like, and more preferably BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 H, BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 H, BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 H or the like.
[0038][0038]
В перфторалкадиеновой композиции в соответствии с настоящим изобретением перфторалкадиеновое соединение, представленное формулой (1), предпочтительно присутствует в количестве от 80 до 99,8% мол. (особенно предпочтительно от 85 до 99% мол.), соединение, представленное формулой (3), предпочтительно присутствует в количестве от 0,1 до 12% мол. (особенно предпочтительно от 0,5 до 10% мол.), соединение, представленное формулой (4A), и/или соединение, представленное формулой (4B), предпочтительно присутствуют в суммарном количестве от 0,01 до 0,6% мол. (особенно предпочтительно от 0,02 до 0,5% мол.), и соединение, представленное формулой (5), предпочтительно присутствует в количестве от 0,05 до 1% мол. (особенно предпочтительно от 0,1 до 0,5% мол.), все из расчета на общее количество перфторалкадиеновой композиции в соответствии с настоящим изобретением, принимаемой за 100% мол. В перфторалкадиеновой композиции в соответствии с настоящим изобретением компоненты, отличные от описанных выше компонентов (другие компоненты), предпочтительно присутствуют в количестве от 0 до 5% мол. (особенно предпочтительно от 0,01 до 4% мол.). Так как другие компоненты могут включать трудноотделимые примеси (например, 1,1,1,2,4,4,4-гептафтор-2-бутен (CF3CF=CHCF3), когда гексафторбутадиен является получаемым перфторалкадиеновым соединением, представленным формулой (1)), предпочтительно, чтобы количество других компонентов было насколько это возможно низким.In the perfluoroalkadiene composition according to the present invention, the perfluoroalkadiene compound represented by formula (1) is preferably present in an amount of 80 to 99.8 mol %. (particularly preferably from 85 to 99% mol.), the compound represented by the formula (3), preferably present in an amount of from 0.1 to 12% mol. (particularly preferably 0.5 to 10 mol %), the compound represented by formula (4A) and/or the compound represented by formula (4B) are preferably present in a total amount of 0.01 to 0.6 mol %. (particularly preferably 0.02 to 0.5 mol %), and the compound represented by formula (5) is preferably present in an amount of 0.05 to 1 mol %. (particularly preferably from 0.1 to 0.5% mol.), all based on the total amount of perfluoroalkadiene composition in accordance with the present invention, taken as 100% mol. In the perfluoroalkadiene composition according to the present invention, components other than those described above (other components) are preferably present in an amount of 0 to 5 mol %. (especially preferably from 0.01 to 4% mol.). Since other components may include impurities that are difficult to separate (for example, 1,1,1,2,4,4,4-heptafluoro-2-butene (CF 3 CF=CHCF 3 ) when hexafluorobutadiene is the resulting perfluoroalkadiene compound represented by the formula (1 )), it is preferable that the amount of other components be as low as possible.
[0039][0039]
Как и при применении отдельно перфторалкадиенового соединения, как описано выше, перфторалкадиеновая композиция в соответствии с настоящим изобретением может быть эффективно использована для различных целей, включая газ для травления для формирования современных микроструктур, таких как полупроводники и жидкие кристаллы, хладагенты, теплопроводящие среды, пенообразователи и смоляные мономеры.As with the use of the perfluoroalkadiene compound alone as described above, the perfluoroalkadiene composition according to the present invention can be effectively used for a variety of purposes, including an etch gas to form advanced microstructures such as semiconductors and liquid crystals, coolants, heat transfer media, foaming agents, and resin monomers.
ПримерыExamples
[0040][0040]
Признаки настоящего изобретения объяснены со ссылкой на примеры, показанные ниже. Настоящее изобретение этими примерами не ограничено.The features of the present invention are explained with reference to the examples shown below. The present invention is not limited to these examples.
[0041][0041]
Пример 1: ClCFExample 1: ClCF 22 -CFCl-CF-CFCl-CF 22 -CF-CF 22 I; ZnII; ZnI 22 0,18% мол. 0.18 mol%.
Колбу в форме баклажана, оборудованную конденсатором, к которому присоединена ловушка, охлаждают до -78°C и в колбу в форме баклажана добавляют 200 г (0,53 моль) ксилола, 34,93 г (0,53 моль) цинка и 0,30 г (0,001 моль, 0,18% мол. относительно цинка) ZnI2. Смесь затем нагревают при перемешивании до тех пор, пока внутренняя температура не достигнет 140°C. После того, как внутренняя температура станет постоянной, добавляют по каплям N, N-диметилформамид (ДМФА (DMF)) при кипячении с обратным холодильником при скорости добавления по каплям 0,52 моль/час (1,04 моль/час на моль цинка) в течение 1 час и нагревание с кипячением с обратным холодильником продолжают в течение 0,5 час. Затем исходный материал (ClCF2-CFCl-CF2-CF2I) добавляют по каплям при скорости добавления по каплям 0,24 моль/час (0,48 моль/час на моль цинка) в течение 1 час при кипячении с обратным холодильником и нагревание с кипячением с обратным холодильником продолжают с перемешиванием в течение 3 час для протекания реакции. По окончании реакции газовую фазу и жидкую фазу в сборном цилиндре и реакционную смесь анализируют с помощью газового хроматографа. Конверсию и селективность рассчитывают с учетом отдельных результатов анализа. Конверсия равна 100% мол., а селективность по каждому компоненту следующая: CF2=CFCF=CF2 88% мол., CF2=CF-CF2-CF2H 8,2% мол., ClCF2-CFCl-CF=CF2 0,051% мол., ClCF2-CFCl-CF2-CF2H 0,32% мол. и другие побочные продукты (например, CF3CF=CHCF3) 3,4% мол. в сумме.An eggplant-shaped flask equipped with a condenser to which a trap is attached is cooled to -78°C and 200 g (0.53 mol) of xylene, 34.93 g (0.53 mol) of zinc and 0. 30 g (0.001 mol, 0.18 mol % relative to zinc) ZnI 2 . The mixture is then heated with stirring until the internal temperature reaches 140°C. After the internal temperature becomes constant, N,N-dimethylformamide (DMF) is added dropwise under reflux at a drop rate of 0.52 mol/hour (1.04 mol/hour per mol of zinc) for 1 hour and heating under reflux continued for 0.5 hour. The starting material (ClCF 2 -CFCl-CF 2 -CF 2 I) is then added dropwise at a drop rate of 0.24 mol/h (0.48 mol/h per mol zinc) for 1 hour at reflux and heating under reflux is continued with stirring for 3 hours to cause a reaction. After the completion of the reaction, the gas phase and the liquid phase in the collection cylinder and the reaction mixture are analyzed using a gas chromatograph. Conversion and selectivity are calculated from individual assay results. The conversion is 100 mol % and the selectivity for each component is as follows: CF 2 =CFCF=CF 2 88 mol %, CF 2 =CF-CF 2 -CF 2 H 8.2 mol %, ClCF 2 -CFCl-CF =CF 2 0.051 mol %, ClCF 2 -CFCl-CF 2 -CF 2 H 0.32 mol %. and other by-products (for example, CF 3 CF=CHCF 3 ) 3.4% mol. in total.
[0042][0042]
Пример 2: ClCFExample 2: ClCF 22 -CFCl-CF-CFCl-CF 22 -CF-CF 22 I; ZnII; ZnI 22 0,6% мол. 0.6% mol.
Повторяют методику примера 1, за исключением того, что количество ZnI2 меняют до 0,95 г (0,003 моль; 0,56% мол. относительно цинка). По окончании реакции газовую фазу и жидкую фазу в сборном цилиндре и реакционную смесь анализируют с помощью газового хроматографа. Конверсию и селективность рассчитывают с учетом отдельных результатов анализа. Конверсия равна 100% мол., а селективность по каждому компоненту следующая: CF2=CFCF=CF2 91% мол., CF2=CF-CF2-CF2H 6,8% мол., ClCF2-CFCl-CF=CF2 0,042% мол., ClCF2-CFCl-CF2-CF2H 0,18% мол. и другие побочные продукты (например, CF3CF=CHCF3) 2,0% мол. в сумме.The procedure of Example 1 is repeated, except that the amount of ZnI 2 is changed to 0.95 g (0.003 mol; 0.56 mol % relative to zinc). After the completion of the reaction, the gas phase and the liquid phase in the collection cylinder and the reaction mixture are analyzed using a gas chromatograph. Conversion and selectivity are calculated from individual assay results. The conversion is 100 mol % and the selectivity for each component is as follows: CF 2 =CFCF=CF 2 91 mol %, CF 2 =CF-CF 2 -CF 2 H 6.8 mol %, ClCF 2 -CFCl-CF =CF 2 0.042 mol %, ClCF 2 -CFCl-CF 2 -CF 2 H 0.18 mol %. and other by-products (for example, CF 3 CF=CHCF 3 ) 2.0 mol%. in total.
[0043][0043]
Пример 3: ClCFExample 3: ClCF 22 -CFCl-CF-CFCl-CF 22 -CF-CF 22 I; ZnII; ZnI 22 1,6% мол. 1.6% mol.
Повторяют методику примера 1, за исключением того, что количество ZnI2 меняют до 2,70 г (0,53 моль; 1,6% мол. относительно цинка). По окончании реакции газовую фазу и жидкую фазу в сборном цилиндре и реакционную смесь анализируют с помощью газового хроматографа. Конверсию и селективность рассчитывают с учетом отдельных результатов анализа. Конверсия равна 100% мол., а селективность по каждому компоненту следующая: CF2=CFCF=CF2 93% мол., CF2=CF-CF2-CF2H 5,6% мол., ClCF2-CFCl-CF=CF2 0,082% мол., ClCF2-CFCl-CF2-CF2H 0,27% мол. и другие побочные продукты (например, CF3CF=CHCF3) 1,0% мол. в сумме.The procedure of Example 1 is repeated, except that the amount of ZnI 2 is changed to 2.70 g (0.53 mol; 1.6 mol % relative to zinc). After the completion of the reaction, the gas phase and the liquid phase in the collection cylinder and the reaction mixture are analyzed using a gas chromatograph. Conversion and selectivity are calculated from individual assay results. The conversion is 100 mol % and the selectivity for each component is as follows: CF 2 =CFCF=CF 2 93 mol %, CF 2 =CF-CF 2 -CF 2 H 5.6 mol %, ClCF 2 -CFCl-CF =CF 2 0.082 mol %, ClCF 2 -CFCl-CF 2 -CF 2 H 0.27 mol %. and other by-products (for example, CF 3 CF=CHCF 3 ) 1.0 mol%. in total.
[0044][0044]
Пример 4: ClCFExample 4: ClCF 22 -CFCl-CF-CFCl-CF 22 -CF-CF 22 I; II; I 22 1,6% мол. 1.6% mol.
Повторяют методику примера 1, за исключением того, что 2,20 г (0,009 моль; 1,6% мол. относительно цинка) I2 используют вместо 0,30 г (0,001 моль; 0,18% мол. относительно цинка) ZnI2. По окончании реакции газовую фазу и жидкую фазу в сборном цилиндре и реакционную смесь анализируют с помощью газового хроматографа. Конверсию и селективность рассчитывают с учетом отдельных результатов анализа. Конверсия равна 100% мол., а селективность по каждому компоненту следующая: CF2=CFCF=CF2 96% мол., CF2=CF-CF2-CF2H 2,6% мол., ClCF2-CFCl-CF=CF2 0,031% мол., ClCF2-CFCl-CF2-CF2H 0,17% мол. и другие побочные продукты (например, CF3CF=CHCF3) 1,2% мол. в сумме.The procedure of Example 1 is repeated, except that 2.20 g (0.009 mol; 1.6 mol % of zinc) I 2 is used instead of 0.30 g (0.001 mol; 0.18 mol % of zinc) ZnI 2 . After the completion of the reaction, the gas phase and the liquid phase in the collection cylinder and the reaction mixture are analyzed using a gas chromatograph. Conversion and selectivity are calculated from individual assay results. The conversion is 100 mol % and the selectivity for each component is as follows: CF 2 =CFCF=CF 2 96 mol %, CF 2 =CF-CF 2 -CF 2 H 2.6 mol %, ClCF 2 -CFCl-CF =CF 2 0.031 mol %, ClCF 2 -CFCl-CF 2 -CF 2 H 0.17 mol %. and other by-products (for example, CF 3 CF=CHCF 3 ) 1.2 mol%. in total.
[0045][0045]
Пример 5: ClCFExample 5: ClCF 22 -CFCl-CF-CFCl-CF 22 -CF-CF 22 I; NaI 1,6% мол.I; NaI 1.6% mol.
Повторяют методику примера 1, за исключением того, что 1,27 г (0,0085 моль; 1,6% мол. относительно цинка) NaI используют вместо 0,30 г (0,001 моль; 0,18% мол. относительно цинка) ZnI2. По окончании реакции газовую фазу и жидкую фазу в сборном цилиндре и реакционную смесь анализируют с помощью газового хроматографа. Конверсию и селективность рассчитывают с учетом отдельных результатов анализа. Конверсия равна 100% мол., а селективность по каждому компоненту следующая: CF2=CFCF=CF2 91% мол., CF2=CF-CF2-CF2H 6,1% мол., ClCF2-CFCl-CF=CF2 0,053% мол., ClCF2-CFCl-CF2-CF2H 0,32% мол. и другие побочные продукты (например, CF3CF=CHCF3) 2,5% мол. в сумме.The procedure of Example 1 is repeated except that 1.27 g (0.0085 mol; 1.6 mol % of zinc) NaI is used instead of 0.30 g (0.001 mol; 0.18 mol % of zinc) of ZnI 2 . After the completion of the reaction, the gas phase and the liquid phase in the collection cylinder and the reaction mixture are analyzed using a gas chromatograph. Conversion and selectivity are calculated from individual assay results. The conversion is 100 mol % and the selectivity for each component is as follows: CF 2 =CFCF=CF 2 91 mol %, CF 2 =CF-CF 2 -CF 2 H 6.1 mol %, ClCF 2 -CFCl-CF =CF 2 0.053 mole %, ClCF 2 -CFCl-CF 2 -CF 2 H 0.32 mole %. and other by-products (for example, CF 3 CF=CHCF 3 ) 2.5 mol%. in total.
[0046][0046]
Пример 6: ClCFExample 6: ClCF 22 -CFCl-CF-CFCl-CF 22 -CF-CF 22 I; NaI 3,2% мол.I; NaI 3.2% mol.
Повторяют методику примера 1, за исключением того, что 2,54 г (0,017 моль; 3,2% мол. относительно цинка) NaI используют вместо 0,30 г (0,001 моль; 0,18% мол. относительно цинка) ZnI2. По окончании реакции газовую фазу и жидкую фазу в сборном цилиндре и реакционную смесь анализируют с помощью газового хроматографа. Конверсию и селективность рассчитывают с учетом отдельных результатов анализа. Конверсия равна 100% мол., а селективность по каждому компоненту следующая: CF2=CFCF=CF2 94% мол., CF2=CF-CF2-CF2H 5,1% мол., ClCF2-CFCl-CF=CF2 0,044% мол., ClCF2-CFCl-CF2-CF2H 0,12% мол. и другие побочные продукты (например, CF3CF=CHCF3) 0,72% мол. в сумме.The procedure of Example 1 is repeated, except that 2.54 g (0.017 mol; 3.2 mol% relative to zinc) NaI is used instead of 0.30 g (0.001 mol; 0.18 mol% relative to zinc) ZnI 2 . After the completion of the reaction, the gas phase and the liquid phase in the collection cylinder and the reaction mixture are analyzed using a gas chromatograph. Conversion and selectivity are calculated from individual assay results. The conversion is 100 mol % and the selectivity for each component is as follows: CF 2 =CFCF=CF 2 94 mol %, CF 2 =CF-CF 2 -CF 2 H 5.1 mol %, ClCF 2 -CFCl-CF =CF 2 0.044 mol %, ClCF 2 -CFCl-CF 2 -CF 2 H 0.12 mol %. and other by-products (for example, CF 3 CF=CHCF 3 ) 0.72 mol%. in total.
[0047][0047]
Справочный пример 1: ClCFReference Example 1: ClCF 22 -CFCl-CF-CFCl-CF 22 -CF-CF 22 I; Без использования йодсодержащего неорганического материалаI; Without the use of iodine-containing inorganic material
Повторяют методику примера 1, за исключением того, что ZnI2 не используют. По окончании реакции газовую фазу и жидкую фазу в сборном цилиндре и реакционную смесь анализируют с помощью газового хроматографа. Конверсию и селективность рассчитывают с учетом отдельных результатов анализа. Конверсия равна 100% мол., а селективность по каждому компоненту следующая: CF2=CFCF=CF2 78% мол., CF2=CF-CF2-CF2H 14% мол., ClCF2-CFCl-CF=CF2 0,66% мол., ClCF2-CFCl-CF2-CF2H 1,5% мол. и другие побочные продукты (например, CF3CF=CHCF3) 5,9% мол. в сумме.Repeat the procedure of example 1, except that ZnI 2 is not used. After the completion of the reaction, the gas phase and the liquid phase in the collection cylinder and the reaction mixture are analyzed using a gas chromatograph. Conversion and selectivity are calculated from individual assay results. The conversion is 100 mol % and the selectivity for each component is as follows: CF 2 =CFCF=CF 2 78 mol %, CF 2 =CF-CF 2 -CF 2 H 14 mol %, ClCF 2 -CFCl-CF=CF 2 0.66% mol., ClCF 2 -CFCl-CF 2 -CF 2 H 1.5% mol. and other by-products (for example, CF 3 CF=CHCF 3 ) 5.9 mol%. in total.
[0048][0048]
Пример 7: ICFExample 7: ICF 22 -CF-CF 22 -CF-CF 22 -CF-CF 22 I; ZnII; ZnI 22 1,6% мол. 1.6% mol.
Повторяют методику примера 1, за исключением того, что в качестве субстрата используют ICF2-CF2-CF2-CF2I вместо ClCF2-CFCl-CF2-CF2I, и что количество ZnI2 меняют до 2,70 г (0,53 моль; 1,6% мол. относительно цинка). По окончании реакции газовую фазу и жидкую фазу в сборном цилиндре и реакционную смесь анализируют с помощью газового хроматографа. Конверсию и селективность рассчитывают с учетом отдельных результатов анализа. Конверсия равна 100% мол., а селективность по каждому компоненту следующая: CF2 =CFCF=CF2 87% мол., CF2=CF-CF2-CF2H 5,4% мол., HCF2-CF2-CF2-CF2H 2,2% мол., ICF2-CF2-CF2-CF2H 2,1% мол. и другие побочные продукты (например, CF3CF=CHCF3) 3,3% мол. в сумме. The procedure of Example 1 is repeated, except that ICF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 I is used as substrate instead of ClCF 2 -CFCl-CF 2 -CF 2 I, and that the amount of ZnI 2 is changed to 2.70 g (0.53 mol; 1.6 mol% relative to zinc). After the completion of the reaction, the gas phase and the liquid phase in the collection cylinder and the reaction mixture are analyzed using a gas chromatograph. Conversion and selectivity are calculated from individual assay results. The conversion is 100% mol., and the selectivity for each component is as follows: CF 2 =CFCF=CF 2 87% mol., CF 2 =CF-CF 2 -CF 2 H 5.4% mol., HCF 2 -CF 2 - CF 2 -CF 2 H 2.2% mol., ICF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 H 2.1% mol. and other by-products (for example, CF 3 CF=CHCF 3 ) 3.3% mol. in total.
[0049][0049]
Справочный пример 2: ICFReference Example 2: ICF 22 -CF-CF 22 -CF-CF 22 -CF-CF 22 I; Без использования йодсодержащего неорганического материалаI; Without the use of iodine-containing inorganic material
Повторяют методику примера 1, за исключением того, что в качестве субстрата используют ICF2-CF2-CF2-CF2I вместо ClCF2-CFCl-CF2-CF2I, и что ZnI2 не используют. По окончании реакции газовую фазу и жидкую фазу в сборном цилиндре и реакционную смесь анализируют с помощью газового хроматографа. Конверсию и селективность рассчитывают с учетом отдельных результатов анализа. Конверсия равна 100% мол., а селективность по каждому компоненту следующая: CF2=CFCF=CF2 63% мол., CF2=CF-CF2-CF2H 25% мол., HCF2-CF2-CF2-CF2H 2,2% мол., ICF2-CF2-CF2-CF2H 2,1% мол. и другие побочные продукты (например, CF3CF=CHCF3) 7,7% мол. в сумме.The procedure of Example 1 is repeated, except that ICF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 I is used as substrate instead of ClCF 2 -CFCl-CF 2 -CF 2 I, and that ZnI 2 is not used. After the completion of the reaction, the gas phase and the liquid phase in the collection cylinder and the reaction mixture are analyzed using a gas chromatograph. Conversion and selectivity are calculated from individual assay results. The conversion is 100 mol % and the selectivity for each component is as follows: CF 2 =CFCF=CF 2 63 mol %, CF 2 =CF-CF 2 -CF 2 H 25 mol %, HCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 H 2.2 mole %, ICF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 H 2.1 mole %. and other by-products (for example, CF 3 CF=CHCF 3 ) 7.7% mol. in total.
[0050][0050]
Пример 8: BrCFExample 8: BrCF 22 -CF-CF 22 -CF-CF 22 -CF-CF 22 Br; ZnIBr; ZnI 22 1,6% мол. 1.6% mol.
Повторяют методику примера 1, за исключением того, что в качестве субстрата используют BrCF2-CF2-CF2-CF2Br вместо ClCF2-CFCl-CF2-CF2I. По окончании реакции газовую фазу и жидкую фазу в сборном цилиндре и реакционную смесь анализируют с помощью газового хроматографа. Конверсию и селективность рассчитывают с учетом отдельных результатов анализа. Конверсия равна 100% мол., а селективность по каждому компоненту следующая: CF2=CFCF=CF2 96% мол., CF2=CF-CF2-CF2H 3,0% мол., HCF2-CF2-CF2-CF2H 0,51% мол., BrCF2-CF2-CF2-CF2H 0,28% мол. и другие побочные продукты (например, CF3CF=CHCF3) 0,21% мол. в сумме.The procedure of example 1 is repeated, except that BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 Br is used as the substrate instead of ClCF 2 -CFCl-CF 2 -CF 2 I. After the reaction, the gas phase and the liquid phase in the collection cylinder and the reaction mixture is analyzed using a gas chromatograph. Conversion and selectivity are calculated from individual assay results. The conversion is 100% mol., and the selectivity for each component is as follows: CF 2 =CFCF=CF 2 96% mol., CF 2 =CF-CF 2 -CF 2 H 3.0% mol., HCF 2 -CF 2 - CF 2 -CF 2 H 0.51 mole %, BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 H 0.28 mole %. and other by-products (for example, CF 3 CF=CHCF 3 ) 0.21 mol%. in total.
[0051][0051]
Справочный пример 3: BrCFReference Example 3: BrCF 22 -CF-CF 22 -CF-CF 22 -CF-CF 22 Br; Без использования йодсодержащего неорганического материалаBr; Without the use of iodine-containing inorganic material
Повторяют методику примера 1, за исключением того, что в качестве субстрата используют BrCF2-CF2-CF2-CF2Br вместо ClCF2-CFCl-CF2-CF2I, и что ZnI2 не используют. По окончании реакции газовую фазу и жидкую фазу в сборном цилиндре и реакционную смесь анализируют с помощью газового хроматографа. Конверсию и селективность рассчитывают с учетом отдельных результатов анализа. Конверсия равна 100% мол., а селективность по каждому компоненту следующая: CF2=CFCF=CF2 76% мол., CF2=CF-CF2-CF2H 13% мол., HCF2-CF2-CF2-CF2H 1,9% мол., BrCF2-CF2-CF2-CF2H 2,1% мол. и другие побочные продукты (например, CF3CF=CHCF3) 7,0% мол. в сумме.The procedure of Example 1 is repeated, except that BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 Br is used as substrate instead of ClCF 2 -CFCl-CF 2 -CF 2 I, and that ZnI 2 is not used. After the completion of the reaction, the gas phase and the liquid phase in the collection cylinder and the reaction mixture are analyzed using a gas chromatograph. Conversion and selectivity are calculated from individual assay results. The conversion is 100% mol., and the selectivity for each component is as follows: CF 2 =CFCF=CF 2 76% mol., CF 2 =CF-CF 2 -CF 2 H 13% mol., HCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 H 1.9 mol %, BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 H 2.1 mol %. and other by-products (for example, CF 3 CF=CHCF 3 ) 7.0 mol%. in total.
[0052][0052]
Таблицы 1-3 иллюстрируют полученные результаты.Tables 1-3 illustrate the results obtained.
[0053][0053]
Таблица 1: Субстрат ClCF2-CFCl-CF2-CF2ITable 1: Substrate ClCF 2 -CFCl-CF 2 -CF 2 I
(% мол.)Iodine-containing inorganic material
(mol %)
[0054][0054]
Таблица 2: Субстрат ICF2-CF2-CF2-CF2ITable 2: Substrate ICF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 I
(% мол.)Iodine-containing inorganic material
(mol %)
[0055][0055]
Таблица 3: Субстрат BrCF2-CF2-CF2-CF2BrTable 3: Substrate BrCF 2 -CF 2 -CF 2 -CF 2 Br
(% мол.)Iodine-containing inorganic material
(mol %)
Claims (39)
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018-114895 | 2018-06-15 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2021127285A Division RU2787234C9 (en) | 2018-06-15 | 2019-06-14 | Method for producing a perfluoroalkadiene compound |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2021100592A RU2021100592A (en) | 2022-07-15 |
| RU2780650C2 true RU2780650C2 (en) | 2022-09-28 |
Family
ID=
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004026800A (en) * | 2002-03-08 | 2004-01-29 | Kanto Denka Kogyo Co Ltd | Method for manufacturing perfluoro unsaturated hydrocarbon by dehalogenation reaction |
| EP1247791B1 (en) * | 2000-01-12 | 2006-03-08 | Daikin Industries, Ltd. | Process for production of perfluoroalkadienes |
| RU2291853C2 (en) * | 2001-12-12 | 2007-01-20 | Асахи Гласс Компани, Лимитед | Method of production of the diene compound |
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1247791B1 (en) * | 2000-01-12 | 2006-03-08 | Daikin Industries, Ltd. | Process for production of perfluoroalkadienes |
| RU2291853C2 (en) * | 2001-12-12 | 2007-01-20 | Асахи Гласс Компани, Лимитед | Method of production of the diene compound |
| JP2004026800A (en) * | 2002-03-08 | 2004-01-29 | Kanto Denka Kogyo Co Ltd | Method for manufacturing perfluoro unsaturated hydrocarbon by dehalogenation reaction |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5971288B2 (en) | Freeze-solidifying agent for triallyl isocyanurate | |
| KR102556278B1 (en) | Method for producing a perfluoroalkadiene compound | |
| KR840001979B1 (en) | Process for the preparation of acid fluorides and resulting monomers | |
| JP5135926B2 (en) | Process for producing 4-fluoro-1,3-dioxolan-2-one | |
| CN112368254A (en) | Process for producing perfluorodiene compound | |
| KR100614996B1 (en) | Process for production of perfluoroalkadienes | |
| JP7011197B2 (en) | Method for producing hexafluorobutadiene | |
| JP5200464B2 (en) | Process for producing fluorine-containing alkylsulfonylaminoethyl α-substituted acrylates | |
| US11225446B2 (en) | Method for producing perfluoroalkadiene compounds | |
| RU2780650C2 (en) | Method for production of perfluoroalkadiene compound | |
| US7504547B2 (en) | Method of preparing perfluoroalkadiene | |
| RU2787234C9 (en) | Method for producing a perfluoroalkadiene compound | |
| RU2787234C2 (en) | Method for producing a perfluoroalkadiene compound | |
| JP2009203225A (en) | Method for producing 1,2-dialkyl-1,2-difluoroethylene carbonate | |
| KR100961587B1 (en) | Process for synthesis of halogenated nitrogen | |
| JP2023021141A (en) | Production method of perfluoroalkadiene compound | |
| JP2023021148A (en) | Method for producing perfluoroalkadiene compound | |
| JP2020200335A (en) | Method for manufacturing perfluoroalkadiene compound | |
| WO2018037999A1 (en) | Method for converting butenes, and method for purifying monofluorobutane | |
| JP5008311B2 (en) | Method for producing six-membered lactone (meth) acrylic acid ester | |
| JPH05301844A (en) | Production of 2-fluoroisobutyric ester | |
| JP2021020870A (en) | Method for producing 1,1,2-trichloro-2-fluoroethene (tcfe) and application thereof | |
| JPH06172303A (en) | Production of fluoroalkanoyl peroxide | |
| JPH04346949A (en) | Purification of hexafluoropropylene |