RU2013132038A - METHOD FOR PRODUCING MULTI-LAYERED GRADIENT COATING BY MAGNETRON SPRAYING METHOD - Google Patents

METHOD FOR PRODUCING MULTI-LAYERED GRADIENT COATING BY MAGNETRON SPRAYING METHOD Download PDF

Info

Publication number
RU2013132038A
RU2013132038A RU2013132038/02A RU2013132038A RU2013132038A RU 2013132038 A RU2013132038 A RU 2013132038A RU 2013132038/02 A RU2013132038/02 A RU 2013132038/02A RU 2013132038 A RU2013132038 A RU 2013132038A RU 2013132038 A RU2013132038 A RU 2013132038A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
refractory metal
thickness
layer
metal nitrides
content
Prior art date
Application number
RU2013132038/02A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2551331C2 (en
Inventor
Марина Николаевна Шолкина
Екатерина Николаевна Ешмеметьева
Руслан Юрьевич Быстров
Антон Николаевич Беляков
Алексей Филиппович Васильев
Алина Яновна Фармаковская
Маргарита Александровна Коркина
Татьяна Андреевна Тараканова
Original Assignee
Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России) filed Critical Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России)
Priority to RU2013132038/02A priority Critical patent/RU2551331C2/en
Publication of RU2013132038A publication Critical patent/RU2013132038A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2551331C2 publication Critical patent/RU2551331C2/en

Links

Abstract

1. Способ получения многослойного градиентного покрытия методом магнетронного напыления, включающий нанесение на предварительно очищенную поверхность металлической подложки адгезионного слоя тугоплавких металлов в среде инертного газа, а затем нитридов тугоплавких металлов в газовой смеси инертного и реакционного газа, отличающийся тем, что содержание нитридов тугоплавких металлов изменяют в направлении толщины напыляемого слоя с получением на поверхности покрытия нитридного слоя.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что содержание нитридов тугоплавких металлов изменяют от 0% до 100%, выдерживают до получения требуемой толщины нитридного слоя, затем уменьшают в обратном порядке, выдерживают до получения требуемой толщины слоя тугоплавких металлов и вновь увеличивают в направлении толщины напыляемого слоя.3. Способ по п.2, отличающийся тем, что для увеличения и уменьшения содержания нитридов тугоплавких металлов давление реакционного газа изменяют по линейной зависимости, соответственно, от 0 до 8·10Па, а затем в обратном порядке.4. Способ по п.2, отличающийся тем, что процесс повторяют до достижения требуемой толщины покрытия.1. A method of producing a multilayer gradient coating by magnetron sputtering, comprising applying to a pre-cleaned surface of a metal substrate an adhesive layer of refractory metals in an inert gas, and then refractory metal nitrides in a gas mixture of an inert and reaction gas, characterized in that the content of refractory metal nitrides is changed in the direction of the thickness of the sprayed layer to obtain a nitride layer on the coating surface. 2. The method according to claim 1, characterized in that the content of refractory metal nitrides is changed from 0% to 100%, maintained until the desired thickness of the nitride layer is obtained, then reduced in the reverse order, maintained until the desired thickness of the refractory metal layer is obtained and again increased in the thickness direction sprayed layer. 3. The method according to claim 2, characterized in that in order to increase and decrease the content of refractory metal nitrides, the pressure of the reaction gas is linearly changed, respectively, from 0 to 8 · 10 Pa, and then in the reverse order. The method according to claim 2, characterized in that the process is repeated until the desired coating thickness is achieved.

Claims (4)

1. Способ получения многослойного градиентного покрытия методом магнетронного напыления, включающий нанесение на предварительно очищенную поверхность металлической подложки адгезионного слоя тугоплавких металлов в среде инертного газа, а затем нитридов тугоплавких металлов в газовой смеси инертного и реакционного газа, отличающийся тем, что содержание нитридов тугоплавких металлов изменяют в направлении толщины напыляемого слоя с получением на поверхности покрытия нитридного слоя.1. A method of producing a multilayer gradient coating by magnetron sputtering, comprising applying to a pre-cleaned surface of a metal substrate an adhesive layer of refractory metals in an inert gas, and then refractory metal nitrides in a gas mixture of an inert and reaction gas, characterized in that the content of refractory metal nitrides is changed in the direction of the thickness of the sprayed layer to obtain a nitride layer on the coating surface. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что содержание нитридов тугоплавких металлов изменяют от 0% до 100%, выдерживают до получения требуемой толщины нитридного слоя, затем уменьшают в обратном порядке, выдерживают до получения требуемой толщины слоя тугоплавких металлов и вновь увеличивают в направлении толщины напыляемого слоя.2. The method according to claim 1, characterized in that the content of refractory metal nitrides is changed from 0% to 100%, maintained until the desired thickness of the nitride layer is obtained, then reduced in the reverse order, maintained until the desired thickness of the refractory metal layer is obtained and again increased to direction of the thickness of the sprayed layer. 3. Способ по п.2, отличающийся тем, что для увеличения и уменьшения содержания нитридов тугоплавких металлов давление реакционного газа изменяют по линейной зависимости, соответственно, от 0 до 8·10-2 Па, а затем в обратном порядке.3. The method according to claim 2, characterized in that to increase and decrease the content of refractory metal nitrides, the pressure of the reaction gas is changed linearly, respectively, from 0 to 8 · 10 -2 Pa, and then in reverse order. 4. Способ по п.2, отличающийся тем, что процесс повторяют до достижения требуемой толщины покрытия. 4. The method according to claim 2, characterized in that the process is repeated until the desired coating thickness is achieved.
RU2013132038/02A 2013-07-10 2013-07-10 Method of production of multi-layer gradient coating by method of magnetron deposition RU2551331C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013132038/02A RU2551331C2 (en) 2013-07-10 2013-07-10 Method of production of multi-layer gradient coating by method of magnetron deposition

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013132038/02A RU2551331C2 (en) 2013-07-10 2013-07-10 Method of production of multi-layer gradient coating by method of magnetron deposition

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2013132038A true RU2013132038A (en) 2015-01-20
RU2551331C2 RU2551331C2 (en) 2015-05-20

Family

ID=53280686

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013132038/02A RU2551331C2 (en) 2013-07-10 2013-07-10 Method of production of multi-layer gradient coating by method of magnetron deposition

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2551331C2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023201766A1 (en) * 2022-04-18 2023-10-26 东南大学 Anti-corrosion and anti-fouling composite treatment method for surface of additive manufacturing metal part

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2635617C1 (en) * 2016-12-23 2017-11-14 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Российский химико-технологический университет имени Д.И. Менделеева" Method of filtration material production
RU2669953C1 (en) * 2017-08-29 2018-10-17 Публичное акционерное общество "Региональный инжиниринговый центр промышленных лазерных технологий "КАИ - Лазер" Device for hybrid laser-acoustic creation of functional-gradient material
RU2697145C1 (en) * 2018-06-19 2019-08-12 Андрей Валентинович Пакулин Carbon-zinc coating, coating production method and coated structure

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001003166A (en) * 1999-04-23 2001-01-09 Nippon Sheet Glass Co Ltd Method for coating surface of substrate with coating film and substrate by using the method
DE102004033342A1 (en) * 2004-07-09 2006-02-02 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Process for producing wear-resistant and fatigue-resistant edge layers in titanium alloys and components produced therewith
RU2423550C1 (en) * 2009-11-30 2011-07-10 Общество с ограниченной ответственностью "Производственное предприятие Турбинаспецсервис" Heat protecting cover for turbine blades and procedure for its fabrication
EP2363510A1 (en) * 2010-02-26 2011-09-07 IMC Infomusic Consultants GmbH Surface coatings for medical implants
RU2433209C1 (en) * 2010-06-15 2011-11-10 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пермский государственный технический университет" Method for obtaining wear-resistant and thermodynamically resistant multi-layer coating on basis of high-melting metals and their compounds

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023201766A1 (en) * 2022-04-18 2023-10-26 东南大学 Anti-corrosion and anti-fouling composite treatment method for surface of additive manufacturing metal part

Also Published As

Publication number Publication date
RU2551331C2 (en) 2015-05-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
PH12018501092A1 (en) High conductivity graphane-metal composite and methods of manufacture
RU2013132038A (en) METHOD FOR PRODUCING MULTI-LAYERED GRADIENT COATING BY MAGNETRON SPRAYING METHOD
WO2015196066A3 (en) Method for the fabrication and transfer of graphene
EA201391270A1 (en) METHOD AND DEVICE FOR PLACING METAL PRODUCTS
TW200639269A (en) Plating method
MX346389B (en) Method for producing a multilayer element, and multilayer element.
MX2016013455A (en) Method for plating a moving metal strip and coated metal strip produced thereby.
PL2166128T3 (en) Method for producing metal oxide coatings by means of spark nebulisation
MY165453A (en) Drill having a coating
MX361794B (en) Process for producing a metallic borocarbide layer on a substrate.
UA100712C2 (en) Method for producing an enamelled steel substrate
MX2016005564A (en) Oxidation barrier layer.
MX2023004919A (en) Method and device for promoting adhesion of metallic surfaces.
MX2022004346A (en) Surface modification in the vapor phase.
EA201692363A1 (en) SUBSTRATE, SUPPLIED BY MULTILAYER SYSTEM WITH DISCRETE METAL LAYERS, GLASS PACKAGE, APPLICATION AND METHOD
WO2017062355A3 (en) Methods for depositing dielectric barrier layers and aluminum containing etch stop layers
MX364944B (en) Electrical connection element, method for producing an electrical connection element, and use of an electrical connection element.
RU2013152884A (en) DLC COATED ITEM AND METHOD FOR APPLYING DLC COATING
WO2015090991A3 (en) Method for producing patterned metallic coatings
WO2014057052A3 (en) Method of manufacturing rotogravure cylinders
RU2014108988A (en) CERAMIC TILE FOR LAYING COMBUSTION CHAMBERS, IN PARTICULAR OF GAS TURBINES, AND METHOD OF ITS PRODUCTION
MX2014001474A (en) Coating increasing the friction coefficient and production thereof by means of atmospheric pressure plasma coating.
TW201612137A (en) Method for producing double-sided metallized ceramic substrates
TW201711957A (en) A method of making a graphitic carbon sheet
TW201712927A (en) A method of making a multilayer structure

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20160711

NF4A Reinstatement of patent

Effective date: 20191002

PD4A Correction of name of patent owner
PC41 Official registration of the transfer of exclusive right

Effective date: 20210310