KR100508544B1 - Method for manufacturing carbon nanotube - emitter performing field emission - Google Patents

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Abstract

전계 방출을 위한 카본 나노튜브 에미터(carbon nano tubes - emitter)를 제조하는 방법을 제공한다. 본 발명의 일 관점에 따른 제조 방법은 실리콘계 고분자를 사용하여 카본 나노튜브 에미터를 제조하는 방법을 제시한다. 이러한 제조 방법은 카본 나노튜브 분체 및 실리콘계 고분자를 혼합하여 페이스트(paste)를 제조하고, 캐소드 상에 페이스트를 인쇄 도포하여 카본 나노튜브 막을 형성한다.도포된 페이스트에 혼합된 실리콘계 고분자가 카본 나노튜브를 캐소드 상에 결착시키도록, 카본 나노튜브 막을 열처리하여 실리콘계 고분자를 실리사이드(silicide) 형상으로 경화시킨 후, 카본 나노튜브 막을 표면 처리하여 카본 나노튜브의 끝단이 표면 바깥으로 드러나게 유도한다. 여기서, 실리콘계 고분자로는 메틸 페닐 실리콘 수지(methyl phenyl silicon resin)를 사용할 수 있다. Provided are methods for making carbon nanotubes (emitters) for field emission. The production method according to an aspect of the present invention proposes a method for producing a carbon nanotube emitter using a silicon-based polymer. In this manufacturing method, a paste is prepared by mixing carbon nanotube powder and a silicon-based polymer, and a paste is printed on the cathode to form a carbon nanotube film. The silicon-based polymer mixed in the coated paste forms carbon nanotubes. After the carbon nanotube film is heat-treated to bind on the cathode to cure the silicon-based polymer in a silicide shape, the carbon nanotube film is surface treated to induce the end of the carbon nanotube to be exposed to the outside of the surface. Here, the methyl polymer may be methyl phenyl silicon resin.

Description

전계 방출을 위한 카본 나노튜브 에미터를 제조하는 방법{Method for manufacturing carbon nanotube - emitter performing field emission}Method for manufacturing carbon nanotube-emitter performing field emission

본 발명은 전계 방출형 디스플레이(Field Emission Display : FED) 장치에 관한 것으로, 특히, 카본 나노튜브(carbon nanotube)를 이용하여 전계에 의한 전자 방출을 수행하는 에미터(emitter)를 형성하는 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a field emission display (FED) device, and more particularly, to a method of forming an emitter that emits electrons by an electric field using carbon nanotubes. will be.

지금까지 가장 널리 사용되고 있는 디스플레이는 브라운관을 예로 들 수 있다. 브라운관은 밝기와 색순도 그리고 시야갹 측면에서 아주 우수한 특성을 가지고 있다. 반면에, 제품의 두께가 매우 두껍고 무게가 상대적으로 무거운 취약점들을 가지고 있다. 이에 따라, 브라운관은 휴대용으로는 부적합하다고 할 수 있다. The most widely used display so far is CRT. CRTs have excellent characteristics in terms of brightness, color purity and field of view. On the other hand, the products are very thick and have relatively heavy weight. Accordingly, the CRT can be said to be unsuitable for portable use.

이러한 브라운관의 취약점들을 보완하기 위해서 박막형 디스플레이인 액정디스플레이(Liquid Crystalline Display : LCD)가 브라운관 시장을 대체하고 있는 중이다. 하지만 액정 디스플레이는 두께 측면에서는 만족하지만 밝기와 시야각 측면에서 다소 문제가 있어 그 사용범위가 한정되어 있다. 또한, 대형 디스플레이로서는 플라즈마 디스플레이 판넬(Plasma Display Panel : PDP)이 각광을 받고 있으며 상업화를 위한 준비를 하고 있다. 피디피는 엘시디에 비해서 화면의 크기가 크고 시야각이 넓은 장점이 있으나, 소비전력이 크며 화면의 크기를 적게 하는 것이 불가능한 취약점이 있어 휴대용으로는 불가능하다고 할 수 있다. 또한, 디스플레이로서 전계 방출형 디스플레이(FED)가 시도되고 있는 데, FED는 시야각과 소비 전력 그리고 제품의 두께 측면에서 모두 만족하고 있으므로 위의 두 디스플레이의 취약점을 모두 보완해줄 수 있는 장점이 있어 연구가 활발히 진행중이며, 상업화를 위하여 많은 투자를 하고 있다. To compensate for the weaknesses of CRTs, liquid crystal displays (LCDs), which are thin-film displays, are replacing the CRT market. However, liquid crystal displays are satisfactory in terms of thickness but have a problem in terms of brightness and viewing angle, and thus their use range is limited. In addition, as a large display, a plasma display panel (PDP) is in the spotlight and is preparing for commercialization. PD has the advantage of bigger screen size and wider viewing angle than LCD, but it is not possible to carry it because of weakness that power consumption is large and it is impossible to reduce screen size. In addition, field emission type display (FED) has been tried as a display. Since FED satisfies both the viewing angle, the power consumption, and the thickness of the product, there is an advantage that can supplement the weaknesses of both displays. It is actively underway and invests a lot for commercialization.

이러한 디스플레이를 제조하는 과정 중에는 다양한 막들을 형성하는 방법들이 사용되고 있다. 디스플레이를 제조하는 과정 중에 이용되고 있는 막을 만드는 방법들은 일반적으로 박막법과 후막법으로 나누어진다. 또한, 막을 형성한 후 이러한 막들을 패터닝하여 모양을 만드는 방법들 또한 다양한 방법들이 제시되고 있다. 모양을 만드는 방법은, 박막의 경우, 막을 만든 후 막에 감광성 물질을 도포하여 일차 모양을 만든 후 건식(Dry Etching) 혹은 습식(Wet Etching) 방식으로 에칭을 시켜 막의 모양을 만든다. 이러한 방법은 사진 식각(photo lithography) 기술로 알려져 있다. 후막 방식의 경우, 원하는 물질을 감광성 고분자 용액과 혼합 후 스핀 코팅 등의 방식으로 막을 만든 후, 광을 비추어 원하는 모양을 만들기도 하며, 도포 하고자하는 물질을 적당한 수지와 혼합 한 후 스크린 인쇄(screen printing) 방법을 이용하여 모양을 만들기도 한다. 이러한 막을 형성하고 패터닝하는 방식은 막의 특성을 고려하여 적당한 방식을 선택하여 적용하면 된다. In the process of manufacturing such a display, various methods of forming films are used. The film making methods used in the manufacturing of displays are generally divided into thin film and thick film methods. In addition, various methods for forming shapes by patterning the films after forming the films have also been proposed. In the case of forming a thin film, after forming a film, a photosensitive material is applied to the film to form a primary shape, and the film is etched by dry etching or wet etching. This method is known as photo lithography. In the case of the thick film method, the desired material is mixed with the photosensitive polymer solution, and the film is made by spin coating, and then light is made to form the desired shape. The material to be coated is mixed with a suitable resin and then screen printed. You can also create shapes using the method. The method of forming and patterning such a film may be selected and applied in consideration of the properties of the film.

디스플레이에 있어서 막의 모양을 만드는 방법은 디스플레이에 따라서 약간의 차이가 있으나, 후막의 경우에는 이러한 사진 식각법과 인쇄법이 주로 사용되고 있다. 예를 들어, 브라운관의 형광막 형성과 엘시디의 칼라 필터(color filter)는 광에 반응하는 감광성 수지를 이용하는 사진 식각 방식을 사용하고 있으며, 플라즈마 디스플레이 패널의 형광막 모양은 인쇄법으로 만들고 있다. 인쇄법의 경우는 감광성 수지를 사용하는 사진 식각법에 비해서 간단하게 만들 수 있으며, 사용되는 수지도 다양하게 선택할 수 있는 장점을 가지고 있다. The method of making the shape of the film in the display varies slightly depending on the display, but in the case of the thick film, such photo etching and printing methods are mainly used. For example, the fluorescent film formation of the CRT and the color filter of the LCD use a photolithography method using a photosensitive resin that reacts to light, and the shape of the fluorescent film of the plasma display panel is made by a printing method. The printing method is simpler than the photolithography method using a photosensitive resin, and the resin used has various advantages.

한편, 전계 방출형 디스플레이의 경우 주로 팁형(tip type)의 에미터를 채용하는 구조에 대해서 주로 연구되어 왔다. On the other hand, in the case of a field emission display, the structure mainly employing a tip type emitter has been studied.

도 1은 종래의 팁 형태의 전계 방출형 디스플레이를 설명하기 위해서 개략적으로 도시한 단면도이다. 1 is a cross-sectional view schematically illustrating a conventional tip-type field emission display.

도 1을 참조하면, 배면 유리(10)와 전면(前面) 유리(20)가 실링(sealing) 벽(90)에 의해서 이격되고, 배면 유리(10) 상에는 캐소드(cathode:30)가 도입되고, 캐소드(30) 상에는 마이크로(micro) 크기의 팁(tip:40)이 도입된다. 이러한 팁(40)은 절연층(50)에 의해서 상호간에 분리될 수 있고, 절연층(50) 상에는 게이트 전극(gate node:60)이 도입된다. 팁(40)에 대향되는 전면 유리(20) 상에는 애노드 전극(anode node:80)이 도입되고 애노드 전극(80) 상에는 형광막(70)이 도입되어 전계 방출형 디스플레이가 기본적으로 구성된다. Referring to FIG. 1, the back glass 10 and the front glass 20 are separated by a sealing wall 90, and a cathode 30 is introduced on the back glass 10. On the cathode 30 a micro sized tip 40 is introduced. The tips 40 may be separated from each other by the insulating layer 50, and a gate electrode 60 is introduced on the insulating layer 50. An anode node 80 is introduced on the windshield 20 opposite to the tip 40 and a fluorescent film 70 is introduced on the anode 80 to form a field emission display.

이러한 팁형 전계 방출형 디스플레이는 제조과정에서 반도체 공정이 사용되므로 제조 비용이 많이 드는 취약점을 가지고 있다. 이러한 팁형 전계 방출형 디스플레이의 취약점들을 개선하기 위해서 카본 나노튜브를 전계 방출을 위한 에미터로 이용하려는 시도가 많이 연구되고 있다. Such a tip field emission display has a weak manufacturing cost because a semiconductor process is used in the manufacturing process. Attempts have been made to use carbon nanotubes as emitters for field emission in order to improve the weaknesses of such tip type field emission displays.

도 2는 전형적인 카본 나노튜브 형태의 전계 방출형 디스플레이를 설명하기 위해서 개략적으로 도시한 단면도이다. 도 3은 도 2의 A 부를 확대 도시한 단면도이다. 도 4는 후막으로 카본 나노튜브 막을 형성하였을 때 카본 나노튜브의 상태를 설명하기 위해서 개략적으로 도시한 단면도이다. 2 is a schematic cross-sectional view for explaining a field emission display in the form of a typical carbon nanotube. 3 is an enlarged cross-sectional view of part A of FIG. 2. 4 is a cross-sectional view schematically illustrating the state of carbon nanotubes when a carbon nanotube film is formed of a thick film.

도 2 및 도 3을 참조하면, 도 1에 제시된 바와 같은 팁(40)을 카본 나노튜브(41)로 대체하여 카본 나노튜브 형태의 전계 방출형 디스플레이를 구현할 수 있다.Referring to FIGS. 2 and 3, the tip 40 as shown in FIG. 1 may be replaced with the carbon nanotubes 41 to implement a field emission display in the form of carbon nanotubes.

이와 같이 카본 나노튜브(41)를 에미터로 이용할 경우, 카본 나노튜브(41)를 일정한 매질, 예컨대, 캐소드(30) 상에 세우는 방안이 주로 연구되고 있다. As such, when the carbon nanotubes 41 are used as emitters, a method of laying the carbon nanotubes 41 on a predetermined medium, for example, the cathode 30, is mainly studied.

카본 나노튜브(41)를 포함하는 카본 나노튜브(41) 막은 주로 후막법을 이용하여 형성하고 있다. 후막 법으로 형성된 카본 나노튜브(41) 막에 있어서 카본 나노튜브(41)만 있는 경우는 주사 전자 현미경으로 막의 형상을 관찰 해보면 도 4에 도시된 바와 같이 카본 나노튜브(41)가 모두 누워 있는 형상을 하고 있는 것으로 관측된다. 따라서, 후막법으로 카본 나노튜브(41) 막을 형성한 후 카본 나노튜브(41)들의 끝단이 직립하거나 적어도 비스듬히 세워지게 하기 위한 표면 처리가 수행되고 있다.The carbon nanotube 41 film containing the carbon nanotubes 41 is mainly formed using a thick film method. In the case where only the carbon nanotubes 41 are included in the carbon nanotubes 41 formed by the thick film method, the shape of the carbon nanotubes 41 is laid as shown in FIG. It is observed that Therefore, after the carbon nanotube 41 film is formed by the thick film method, surface treatment is performed to allow the ends of the carbon nanotubes 41 to stand upright or at least obliquely.

표면 처리는 모양을 형성한 막을 열처리 공정을 거친 후 행하여지게 된다. 그런데, 이제까지의 카본 나노튜브(41) 막은 열처리 후의 막의 강도 또는 부착력이 아주 약한 경향을 가져 표면 처리 방법의 제한과 과도한 탈락이 발생하게 된다. 즉, 표면 처리에 따라 카본 나노튜브(41)가 캐소드(30)에서 떨어져 나가는 현상이 빈번하게 발생하게 된다. 또한, 카본 나노튜브(41) 막의 부착력이 약하여 인가하는 전계에 의한 카본 나노튜브(41) 막의 탈락 현상이 발생되기도 하여 전자 방출 특성을 떨어뜨리는 문제가 발생될 수 있다. Surface treatment is performed after the heat treatment process of the film | membrane which formed the shape. By the way, the carbon nanotube 41 film thus far tends to have a very weak strength or adhesion of the film after heat treatment, resulting in limitation of surface treatment method and excessive dropout. That is, the phenomenon that the carbon nanotubes 41 fall off from the cathode 30 according to the surface treatment frequently occurs. In addition, the adhesion of the carbon nanotube 41 film is weak, the dropout phenomenon of the carbon nanotube 41 film due to the applied electric field may occur, which may cause a problem of deteriorating electron emission characteristics.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 카본 나노튜브 막을 형성할 때 새로운 결합제(binder)를 사용하여 카본 나노튜브 막의 하부 막질에 대한 접착력을 향상시킬 수 있는 전계 방출을 위한 카본 나노튜브 에미터를 제조하는 방법을 제공하는 데 있다. The technical problem to be achieved by the present invention is to prepare a carbon nanotube emitter for electric field emission that can improve the adhesion of the carbon nanotube film to the underlying film quality using a new binder when forming the carbon nanotube film To provide a way.

상기의 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 관점은, 실리콘계 고분자를 사용하여 카본 나노튜브 에미터를 제조하는 방법을 제시한다. One aspect of the present invention for achieving the above technical problem, proposes a method for producing a carbon nanotube emitter using a silicon-based polymer.

상기 제조 방법은 카본 나노튜브(carbon nanotubes) 분체 및 실리콘계 고분자를 혼합하여 페이스트(paste)를 제조하는 단계와, 캐소드(cathode)를 도입하는 단계와, 상기 캐소드 상에 상기 페이스트를 도포하여 카본 나노튜브 막을 형성하는 단계와, 상기 도포된 페이스트에 혼합된 상기 실리콘계 고분자가 상기 카본 나노튜브를 상기 캐소드 상에 결착시키도록 상기 카본 나노튜브 막을 열처리하여 상기 실리콘계 고분자를 경화시키는 단계, 및 상기 카본 나노튜브 막을 표면 처리하여 상기 카본 나노튜브의 끝단이 표면 바깥으로 드러나게 유도하는 단계를 포함하여 구성될 수 있다. The manufacturing method comprises the steps of preparing a paste by mixing carbon nanotubes powder and silicon-based polymer, introducing a cathode, and applying the paste on the cathode to apply carbon nanotubes. Forming a film, heat treating the carbon nanotube film so that the silicon-based polymer mixed in the applied paste binds the carbon nanotubes on the cathode, and curing the silicon-based polymer, and Surface treatment may be configured to include the step of inducing the end of the carbon nanotube to be exposed to the outside of the surface.

여기서, 상기 실리콘계 고분자는 메틸 페닐 실리콘 수지(methyl phenyl silicon resin)일 수 있다. Here, the silicon-based polymer may be methyl phenyl silicon resin.

상기 페이스트를 제조하는 단계는 상기 페이스트에 점도의 유지를 위하여 첨가제로 알파터피네올을 첨가하는 단계를 더 포함할 수 있다. The preparing of the paste may further include adding alpha terpineol as an additive to maintain the viscosity in the paste.

상기 페이스트를 도포하여 카본 나노튜브 막을 형성하는 단계는 인쇄법으로 수행될 수 있다. Coating the paste to form a carbon nanotube film may be performed by a printing method.

본 발명에 따르면, 카본 나노튜브 막의 하부 막질에 대한 접착력을 향상시킬 수 있으며, 카본 나노튜브 막이 보다 증가된 강도를 가지도록 할 수 있다. According to the present invention, the adhesion of the carbon nanotube film to the lower film quality can be improved, and the carbon nanotube film can have an increased strength.

이하, 본 발명을 구체적인 실시예들의 기재를 통해서 상세히 설명한다. 그러나, 기술되는 본 발명의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어져서는 안된다. 본 발명의 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것으로 이해되는 것이 바람직하다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것으로 이해되는 것이 바람직하다. 도면 상에서 동일한 부호로 표시된 요소는 동일한 요소를 의미한다. 또한, 어떤 층이 다른 층 또는 기판의 "상"에 있다라고 기재되는 경우에, 상기 어떤 층은 상기 다른 층 또는 기판에 직접 접촉하여 존재할 수 있고, 또는, 그 사이에 제3의 층이 개재되어질 수 있다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to specific embodiments. However, embodiments of the present invention described may be modified in many different forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. It is to be understood that the embodiments of the present invention are provided to more fully describe the present invention to those skilled in the art. Therefore, it is preferable to understand that the shape of an element etc. in the drawing are exaggerated in order to emphasize clearer description. Elements denoted by the same reference numerals in the drawings means the same element. In addition, where a layer is described as being "on" another layer or substrate, the layer may exist in direct contact with the other layer or substrate, or a third layer may be interposed therebetween. Can be.

이하, 첨부하는 도면들을 참조하며 본 발명의 실시예들을 상세히 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described embodiments of the present invention;

본 발명의 실시예에서는 카본 나노튜브를 에미터로 이용하기 위해서 카본 나노튜브를 포함하는 카본 나노튜브 막을 형성할 때, 카본 나노튜브를 잡아주는 역할을 하는 결합제(binder)를 실리콘계 고분자로 사용하는 바를 제시한다. In the embodiment of the present invention, when forming a carbon nanotube film including carbon nanotubes in order to use the carbon nanotubes as an emitter, a binder that serves to hold the carbon nanotubes is used as a silicon-based polymer. present.

현재, 카본 나노튜브는 전자를 발생 및 방출시키기 위한 문턱 전압이 매우 낮게 구현할 수 있어, 디스플레이 및 발광 소자에 응용하기 위해서 많은 연구가 시도되고 있다. 특히, 카본 나노튜브를 브라운관 또는 전계 방출형 디스플레이 소자의 전자 발생 장치인 캐소드에 에미터로서 응용하기 위한 연구가 심도있게 진행되고 있다.Currently, carbon nanotubes can implement a very low threshold voltage for generating and emitting electrons, and many studies have been attempted to apply them to displays and light emitting devices. In particular, the research for applying carbon nanotubes as cathodes to cathodes, which are electron generating devices of CRTs or field emission display devices, has been in progress.

카본 나노튜브를 캐소드에 이용하기 위해서, 캐소드로 이용될 매질 상에 이러한 카본 나노튜브를 결착 또는 성장시키고 있다. 즉, 카본 나노튜브를 분말로서 사용하는 방법과 진공 쳄버(chamber)에서 캐소드 상에 곧 바로 성장시키는 방법이 있다. 진공 쳄버에서 성장시키는 방법은 비용이 많이 발생하는 취약점이 있는 것으로 알려져 있다. 반면에, 분말을 이용하여 후막으로 모양을 형성하는 방법은 비용과 공정의 간편한 장점들을 가지고 있다. In order to use carbon nanotubes in a cathode, these carbon nanotubes are bound or grown on a medium to be used as a cathode. In other words, there is a method of using carbon nanotubes as a powder and a method of directly growing on a cathode in a vacuum chamber. Growing in vacuum chambers is known to have costly vulnerabilities. On the other hand, the method of forming a shape into a thick film using powder has advantages of cost and easy process.

후막으로 모양을 형성하는 방법으로 고분자 수지(polymer resin)를 이용한 인쇄법과 감광성 수지를 이용하는 방법을 사용할 수 있다. 인쇄법은 공정의 간편 성과 결합제로 이용되는 고분자 수지 선택에 다양성을 구현할 수 있다. 이에 반해, 감광성 수지를 이용하는 경우는 감광성 수지의 제한과 현탁액의 제조과정에서 카본 나노튜브들의 균일한 분산에 어려움이 있다. 본 발명의 실시예에서는 감광성 수지를 이용하는 경우의 어려움을 극복하기 위해서 인쇄법을 이용하여 카본 나노튜브가 분산된 결합제 용액을 이용하는 카본 나노튜브 막을 형성하는 바를 제시한다. As a method of forming a shape with a thick film, a printing method using a polymer resin and a method using a photosensitive resin can be used. The printing method allows for simplicity in the process and versatility in the choice of polymer resins used as binders. On the other hand, when the photosensitive resin is used, it is difficult to uniformly disperse the carbon nanotubes in the process of limiting the photosensitive resin and preparing the suspension. Example of the present invention proposes to form a carbon nanotube film using a binder solution in which carbon nanotubes are dispersed using a printing method in order to overcome the difficulties in using a photosensitive resin.

카본 나노튜브가 전계 방출용 에미터로 이용될 때, 카본 나노튜브는 상대적으로 낮은 전압에서 전자를 방출하고 우수한 전기 특성을 구현하기 위해서 카본 나노튜브가 하부 매질, 예컨대, 캐소드의 표면에 누워있으면 안되고 똑바로 혹은 비스듬히 일어서 있어야 한다. 이는 카본 나노튜브의 끝단에서 전자가 쉽게 튀어나올 수 있도록 하기 위해서이다. When carbon nanotubes are used as emitters for field emission, carbon nanotubes must not lie on the surface of the underlying medium, such as the cathode, in order to emit electrons at relatively low voltages and to achieve good electrical properties. You should stand upright or at an angle. This is to make it easier for the electrons to stick out from the ends of the carbon nanotubes.

실질적으로 카본 나노튜브를 입자 수준에서 자세히 관찰해보면, 카본 나노튜브의 입자의 모양이 폭이 대략 30㎚ 이하이고 길이는 대략 수 ㎛에 다다르는 튜브 형상이다. 따라서, 카본 나노튜브들의 분체를 이용하여 막을 형성하여 주사 전자 현미경 등으로 관찰하여 보면, 카본 나노튜브의 입자가 기판인 유리 면과 평행하게 누워있는 것을 관찰 할 수 있다. 카본 나노튜브들 중 누워 있는 것이 많으면 방출되는 전류의 밀도가 낮아지고 또한 전자를 방출시키기 위한 전압은 높아지게 된다. 따라서, 카본 나노튜브 막에서 카본 나노튜브가 기판 면에 대해서 세운 상태를 가지도록 하여 카본 나노튜브에서 방출되는 전류 밀도를 높이기 위해서, 일반적으로 카본 나노튜브 막을 후막법 등으로 형성한 후 카본 나노튜브 막의 표면에 대해서 다양한 방법들로 표면 처리를 수행하고 있다. Substantially examining the carbon nanotubes in detail at the particle level, the shape of the particles of the carbon nanotubes is a tube shape having a width of about 30 nm or less and a length of about several μm. Therefore, when a film is formed using the powder of carbon nanotubes and observed with a scanning electron microscope, it can be observed that the particles of the carbon nanotubes lie parallel to the glass surface serving as the substrate. More carbon nanotubes lie down, resulting in a lower current density and a higher voltage for emitting electrons. Therefore, in order to increase the current density emitted from the carbon nanotubes in order to have the carbon nanotubes upright on the substrate surface in the carbon nanotube film, the carbon nanotube film is generally formed by a thick film method or the like. Surface treatment is performed on the surface in various ways.

이러한 표면 처리 과정 중에 카본 나노튜브 막이 하부 매질에서 떨어지는 현상이 빈번하게 발생할 수 있는 데, 본 발명의 실시예에서는 새로운 결합제로 실리콘계 고분자를 도입하여 형성되는 카본 나노튜브 막의 부착력 또는 접착력을 증가시키는 방안을 제시한다. In such a surface treatment process, the phenomenon in which the carbon nanotube film falls from the lower medium may frequently occur. In the embodiment of the present invention, a method of increasing the adhesion or adhesion of the carbon nanotube film formed by introducing a silicon-based polymer as a new binder is disclosed. present.

스크린 인쇄법 등으로 형성된 카본 나노튜브 막의 표면 처리는 모양을 형성한 카본 나노튜브 막을 열처리한 후 행하여지게 된다. 열처리는 카본 나노튜브 막을 구성하는 결합제로 이용된 실리콘계 고분자를 경화시키는 과정이다. 이제까지의 결합제들을 이용하여 카본 나노튜브 막을 구성한 후 열처리를 통해서 구현되는 막은 막의 강도 또는 부착력이 아주 약한 경향을 가져 표면 처리 방법의 제한과 과도한 막의 탈락이 빈번하게 발생하고 있다. Surface treatment of the carbon nanotube film formed by screen printing or the like is performed after heat treatment of the carbon nanotube film having a shape. Heat treatment is a process of curing the silicon-based polymer used as a binder constituting the carbon nanotube film. After the carbon nanotube film is formed by using the binders up to now, the film formed through heat treatment tends to have a very weak strength or adhesion, and thus the limitation of the surface treatment method and excessive dropout of the film occur frequently.

본 발명의 실시예에서 제시하는 실리콘계 고분자는 열처리를 통해서 매우 강한 실리콘을 중심으로 하는 결합을 구현하게 되므로, 카본 나노튜브 막의 강도 및 결합력 또는 부착력 및 접착력이 매우 강한 특성을 나타낸다. 이에 따라, 후속되는 표면 처리 시에 카본 나노튜브 막이 탈락하는 현상이 발생하는 것을 보다 효과적으로 방지할 수 있다. 또한, 전계 방출을 위해서 카본 나노튜브 막에 강한 전계가 인가될 때, 카본 나노튜브 막이 탈락되는 현상이 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. Since the silicon-based polymer proposed in the embodiment of the present invention implements a bond based on very strong silicon through heat treatment, the carbon nanotube film exhibits very strong strength and bonding strength or adhesion and adhesion. Accordingly, it is possible to more effectively prevent the phenomenon that the carbon nanotube film falls off during subsequent surface treatment. In addition, when a strong electric field is applied to the carbon nanotube film for field emission, the phenomenon of the carbon nanotube film falling off can be effectively prevented.

도 5는 본 발명의 실시예에 의한 전계 방출을 위한 카본 나노튜브 에미터를 제조하는 방법을 설명하기 위해서 개략적으로 도시한 공정 흐름도이다. FIG. 5 is a process flowchart schematically illustrating a method of manufacturing a carbon nanotube emitter for electric field emission according to an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 실시예에 의한 전계 방출을 위한 카본 나노튜브 에미터를 제조하는 방법에 의해서 형성된 카본 나노튜브 에미터를 설명하기 위해서 개략적으로 도시한 단면도이다. 6 is a cross-sectional view schematically illustrating a carbon nanotube emitter formed by a method of manufacturing a carbon nanotube emitter for electric field emission according to an embodiment of the present invention.

도 5 및 도 6을 참조하면, 카본 나노튜브 에미터를 제조하기 위해서 어떤 특정한 매질의 하부 막 상에 카본 나노튜브 막을 형성한다. 이때, 카본 나노튜브 막은 다양한 방법으로 형성될 수 있으나, 페이스트(paste)를 사용하는 스크린 인쇄법으로 형성되는 경우를 예로 들어 상세히 설명한다. 5 and 6, a carbon nanotube film is formed on the bottom film of any particular medium to produce a carbon nanotube emitter. In this case, the carbon nanotube film may be formed by various methods, but will be described in detail by taking a case where the carbon nanotube film is formed by a screen printing method using a paste.

카본 나노튜브 막을 스크린 인쇄법으로 형성하기 위해서, 카본 나노튜브와 실리콘계 고분자를 혼합하여 인쇄에 사용될 페이스트(paste)를 먼저 제조한다(도 5의 501). 카본 나노튜브는 분체로 제조된 것을 사용할 수 있다. 카본 나노튜브를 합성 제조하는 방법은 다양한 방법들이 개발되고 있다. 예를 들어, 아크(arc) 방전을 이용하여 카본 나노튜브 분체를 합성하거나 또는 화학적 기상 성장 등으로 성장된 카본 나노튜브를 분체화시킨 것들을 이용할 수 있다. In order to form the carbon nanotube film by screen printing, a paste to be used for printing is first prepared by mixing the carbon nanotube and the silicon-based polymer (501 in FIG. 5). The carbon nanotubes may be made of powder. Various methods for synthesizing carbon nanotubes have been developed. For example, carbon nanotube powder may be synthesized using arc discharge or powdered carbon nanotubes grown by chemical vapor growth may be used.

결합제로 이용되는 실리콘계 고분자는 실리콘 원소를 중심으로 하는 고분자 구조를 가지고 있다. 예를 들어, 실리콘계 고분자로 메틸 페닐 실리콘 수지(methyl phenyl silicon resin)를 이용할 수 있다. Silicone polymer used as a binder has a polymer structure centered on a silicon element. For example, methyl phenyl silicon resin may be used as the silicon-based polymer.

이러한 분체의 카본 나노튜브들과 결합제인 실리콘계 고분자를 섞어 인쇄를 위한 페이스트를 제조한다. 이때, 실리콘계 고분자의 점도가 페이스트 제조에 보다 적합한 상태가 되도록 페이스트에 점도 조정용 첨가제를 더 첨가할 수 있다. 이러한 첨가제로는 알파터피네올(α-terpineol)을 이용할 수 있다. 또한, 필요에 따라 점도 조정 이외의 다른 작용을 하는 다양한 첨가제들도 이러한 페이스트의 제조 시에 첨가될 수 있다. The carbon nanotubes of the powder and the silicon-based polymer as a binder are mixed to prepare a paste for printing. At this time, the viscosity adjustment additive may be further added to the paste so that the viscosity of the silicone-based polymer is more suitable for paste production. As such additives, alpha terpineol may be used. In addition, various additives may be added in the preparation of such pastes, which have other functions than the viscosity adjustment as necessary.

이와 같이 카본 나노튜브 - 실리콘계 고분자 페이스트를 제조한 후, 이러한 페이스트를 이용하여 카본 나노튜브 막을 형성한다(도 5의 503). 이때, 카본 나노튜브 막(400)이 그 상에 형성될 하부 막으로 도 6에 제시된 바와 같이 캐소드(300)가 도입될 수 있다. 도 2에 제시된 바와 같은 전계 방출형 디스플레이에 본 발명의 실시예에서 설명되는 전계 방출용 카본 나노튜브 에미터가 이용되는 경우에, 카본 나노튜브 막(400)이 형성될 하부 막질로 캐소드(300)가 도입되게 된다. 캐소드(300)는 전계 방출형 디스플레이의 경우 유리 기판(100) 상에 형성된 상태일 수 있다. After the carbon nanotube-silicone polymer paste is prepared as described above, a carbon nanotube film is formed using the paste (503 of FIG. 5). At this time, the cathode 300 may be introduced as shown in FIG. 6 as a lower film on which the carbon nanotube film 400 is to be formed. In the case where the field emission carbon nanotube emitter described in the embodiment of the present invention is used in the field emission display as shown in FIG. 2, the cathode 300 is formed as the lower film quality on which the carbon nanotube film 400 is to be formed. Will be introduced. The cathode 300 may be in a state formed on the glass substrate 100 in the case of the field emission display.

스크린 인쇄법을 이용하여 이러한 캐소드(300) 상에 상기한 카본 나노튜브 - 실리콘계 고분자 페이스트를 인쇄 도포한다. 이때, 인쇄용 메쉬(mesh)로 스테인레스스틸 번호 325호 메쉬를 이용할 수 있다. 또한, 이러한 스크린 인쇄법은 인쇄를 통해서 도포와 함께 카본 나노튜브 막(400)에 모양을 부여할 수 있는 장점을 가진다. 즉, 인쇄된 카본 나노튜브 막(400)은 일정한 영역을 차지하는 모양으로 패터닝된 상태일 수 있다. The carbon nanotube-silicone-based polymer paste is coated on the cathode 300 by screen printing. In this case, a stainless steel No. 325 mesh may be used as a printing mesh. In addition, this screen printing method has the advantage of giving a shape to the carbon nanotube film 400 with the coating through printing. That is, the printed carbon nanotube film 400 may be patterned in a shape that occupies a predetermined area.

카본 나노튜브 막(400)을 인쇄한 후 열처리하여 페이스트의 실리콘계 고분자에 경화 반응을 일으켜 경화시킨다(도 5의 505). 열처리는 대략 400℃의 온도에서 진행할 수 있다. 이에 따라, 카본 나노튜브 막(400)은 경화되어 하부 막질, 예컨대, 캐소드(300)에 결착되게 된다. 도 6에 제시된 바와 같이, 실리콘계 고분자(도 6의 450), 예컨대, 메틸 페닐 실리콘 수지는 이러한 열처리에 의해서 실리콘 원소를 중심으로 가교(cross-liking)가 진행되어 실리사이드(silicide) 형상으로 경화되게 된다. 실리사이트 형상으로 경화된 실리콘계 고분자(450)는 카본 나노튜브(410)를 잡고 있어 막의 강도가 크게 향상되며, 카본 나노튜브(410)가 떨어지도록 허용하지 않고 전체 카본 나노튜브 막(400)의 강도를 유지하게 된다. 즉, 경화된 실리콘계 고분자(450)는 카본 나노튜브를 잡아 하부 막질인 캐소드(300)에 강하게 결착시키는 역할을 하게 된다. 이는 실리콘계 고분자(450)가 열처리에 의해서 실리사이드 형상의 고분자로 경화되었기 때문이다. The carbon nanotube film 400 is printed and then heat treated to cause a curing reaction on the silicon polymer of the paste to be cured (505 in FIG. 5). The heat treatment may proceed at a temperature of approximately 400 ° C. Accordingly, the carbon nanotube film 400 is cured to bind to the lower film quality, for example, the cathode 300. As shown in FIG. 6, the silicon-based polymer (450 of FIG. 6), for example, methyl phenyl silicone resin, is cross-liked around the silicon element by such heat treatment to harden to a silicide shape. . The silicon-based polymer cured in silicite shape holds the carbon nanotubes 410, thereby greatly improving the strength of the membrane, and not allowing the carbon nanotubes 410 to fall off. Will be maintained. That is, the cured silicon-based polymer 450 is to hold the carbon nanotubes to strongly bind to the cathode 300 of the lower film quality. This is because the silicon-based polymer 450 is cured into a silicide-like polymer by heat treatment.

이와 같이 열처리된 카본 나노튜브 막(400)을 표면 처리하여 카본 나노튜브(410)가 끝단이 막(400)의 표면 바깥으로 드러나도록 유도한다(도 5의 507). 이러한 표면 처리 과정은 알려진 다양한 방법들로 진행될 수 있다. 예를 들어, 사포(sand paper)를 사용하여 표면을 문질러 카본 나노튜브(410)의 끝단을 노출시킬 수 있다. The carbon nanotube film 400 heat-treated as described above is surface treated to induce the carbon nanotubes 410 to be exposed to the outside of the surface of the film 400 (507 in FIG. 5). This surface treatment process can proceed in a variety of known ways. For example, sand paper may be used to rub the surface to expose the ends of the carbon nanotubes 410.

이러한 표면 처리 과정은 상술한 바와 같이 카본 나노튜브 막(400)에 물리적인 힘을 가하는 경우가 다분하다. 그러나, 본 발명의 실시예에서와 같이 경화된 실리콘계 고분자(450)가 카본 나노튜브(410)를 고정하고 있는 경우, 카본 나노튜브 막(400)의 강도가 매우 높게 구현되므로, 이러한 표면 처리 과정에서 카본 나노튜브 막(400)이 탈락되어 캐소드(300)의 표면으로부터 떨어져 나가는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. As described above, the surface treatment process is often performed by applying a physical force to the carbon nanotube film 400. However, when the cured silicon-based polymer 450 is fixed to the carbon nanotubes 410 as in the embodiment of the present invention, since the strength of the carbon nanotube film 400 is realized very high, in the surface treatment process The carbon nanotube film 400 may be effectively prevented from falling off and falling off from the surface of the cathode 300.

이와 같은 과정을 통해서 도 6에 제시된 바와 같이 전계 방출을 위한 카본 나노튜브 에미터가 구성된다. 이러한 카본 나노튜브 에미터는 발광 소자의 전계 방출에 사용될 수 있고, 또한, 도 2 및 도 3을 참조하여 설명한 바와 같은 전계 방출형 디스플레이 소자에 전계 방출용 에미터로 적용될 수 있다. Through this process, a carbon nanotube emitter for field emission is constructed as shown in FIG. 6. Such carbon nanotube emitters may be used for field emission of light emitting devices, and may be applied as field emission emitters to field emission display devices as described with reference to FIGS. 2 and 3.

이상, 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다. As mentioned above, although this invention was demonstrated in detail through the specific Example, this invention is not limited to this, It is clear that the deformation | transformation and improvement are possible by the person of ordinary skill in the art within the technical idea of this invention.

상술한 바와 같은 본 발명에 따르면, 카본 나노튜브와 실리콘계 고분자를 혼합하여 인쇄를 위한 페이스트를 제조할 수 있다. 이러한 페이스트에 의한 인쇄된 카본 나노튜브 막을 열처리하면, 실리콘계 고분자가 실리사이드 형상으로 경화되며 카본 나노튜브를 하부 막질, 예컨대, 캐소드에 강하게 결착하게 되며 또한 전체 막의 강도가 크게 증가되게 된다. 이와 같이 카본 나노튜브 막의 강도를 매우 크게 증가시킬 수 있어, 이러한 카본 나노튜브 막을 표면 처리하는 과정에서 카본 나노튜브 막이 탈락되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. 또한, 이와 같은 카본 나노튜브 막을 이용하여 전계 방출용 에미터를 제조하여 전계 방출 소자에 적용할 때, 카본 나노튜브에 강한 전계가 인가되어 카본 나노튜브가 탈락되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. According to the present invention as described above, the paste for printing can be prepared by mixing the carbon nanotubes and the silicon-based polymer. The heat treatment of the printed carbon nanotube film by such a paste causes the silicone-based polymer to cure to a silicide shape and strongly bind the carbon nanotubes to the lower film quality, for example, the cathode, and to greatly increase the strength of the entire film. As such, the strength of the carbon nanotube film can be greatly increased, so that the carbon nanotube film can be effectively prevented from falling off during the surface treatment of the carbon nanotube film. In addition, when the emitter for the field emission is manufactured using the carbon nanotube film as described above and applied to the field emission device, a strong electric field is applied to the carbon nanotube to effectively prevent the carbon nanotube from falling off.

도 1은 종래의 팁(tip) 형태의 전계 방출형 디스플레이를 설명하기 위해서 개략적으로 도시한 단면도이다. 1 is a schematic cross-sectional view for explaining a conventional field emission display in the form of a tip (tip).

도 2는 전형적인 카본 나노튜브(carbon nanotubes) 형태의 전계 방출형 디스플레이를 설명하기 위해서 개략적으로 도시한 단면도이다. 2 is a schematic cross-sectional view for explaining a field emission display in the form of typical carbon nanotubes.

도 3은 도 2의 A 부를 확대 도시한 단면도이다. 3 is an enlarged cross-sectional view of part A of FIG. 2.

도 4는 후막으로 카본 나노튜브 막을 형성하였을 때 카본 나노튜브의 상태를 설명하기 위해서 개략적으로 도시한 단면도이다.4 is a cross-sectional view schematically illustrating the state of carbon nanotubes when a carbon nanotube film is formed of a thick film.

도 5는 본 발명의 실시예에 의한 전계 방출을 위한 카본 나노튜브 에미터를 제조하는 방법을 설명하기 위해서 개략적으로 도시한 공정 흐름도이다. FIG. 5 is a process flowchart schematically illustrating a method of manufacturing a carbon nanotube emitter for electric field emission according to an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 실시예에 의한 전계 방출을 위한 카본 나노튜브 에미터를 제조하는 방법에 의해서 형성된 카본 나노튜브 에미터를 설명하기 위해서 개략적으로 도시한 단면도이다. 6 is a cross-sectional view schematically illustrating a carbon nanotube emitter formed by a method of manufacturing a carbon nanotube emitter for electric field emission according to an embodiment of the present invention.

Claims (4)

카본 나노튜브(carbon nanotubes) 분체 및 실리콘계 고분자를 혼합하여 페이스트(paste)를 제조하는 단계;Preparing a paste by mixing carbon nanotubes powder and a silicon-based polymer; 캐소드(cathode)를 도입하는 단계;Introducing a cathode; 상기 캐소드 상에 상기 페이스트를 도포하여 카본 나노튜브 막을 형성하는 단계;Applying the paste on the cathode to form a carbon nanotube film; 상기 도포된 페이스트에 혼합된 상기 실리콘계 고분자가 상기 카본 나노튜브를 상기 캐소드 상에 결착시키도록 상기 카본 나노튜브 막을 열처리하여 상기 실리콘계 고분자를 경화시키는 단계; 및Curing the silicon-based polymer by heat-treating the carbon nanotube film so that the silicon-based polymer mixed in the applied paste binds the carbon nanotubes on the cathode; And 상기 카본 나노튜브 막을 표면 처리하여 상기 카본 나노튜브의 끝단이 표면 바깥으로 드러나게 유도하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 에미터(emitter)를 제조하는 방법. Surface treating the carbon nanotube film to induce the ends of the carbon nanotubes to be exposed to the outside of the surface of the carbon nanotube emitter. 제1항에 있어서, 상기 실리콘계 고분자는The method of claim 1, wherein the silicon-based polymer 메틸 페닐 실리콘 수지(methyl phenyl silicon resin)를 포함하는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 에미터를 제조하는 방법. A method for producing a carbon nanotube emitter, characterized in that it comprises methyl phenyl silicon resin. 제1항에 있어서, 상기 페이스트를 제조하는 단계는 The method of claim 1, wherein preparing the paste 상기 페이스트에 점도의 유지를 위하여 첨가제로 알파터피네올을 첨가하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 에미터를 제조하는 방법. The method of manufacturing a carbon nanotube emitter further comprises the step of adding alpha terpineol as an additive to maintain the viscosity in the paste. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 페이스트를 도포하여 카본 나노튜브 막을 형성하는 단계는 인쇄법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 에미터를 제조하는 방법. Forming a carbon nanotube film by applying the paste is a method for producing a carbon nanotube emitter, characterized in that the printing is carried out.
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