JPH08297295A - Conductive fine particle and its production - Google Patents

Conductive fine particle and its production

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JPH08297295A
JPH08297295A JP10178595A JP10178595A JPH08297295A JP H08297295 A JPH08297295 A JP H08297295A JP 10178595 A JP10178595 A JP 10178595A JP 10178595 A JP10178595 A JP 10178595A JP H08297295 A JPH08297295 A JP H08297295A
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JP
Japan
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particles
fine particles
polymer
metal oxide
coupling agent
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Withdrawn
Application number
JP10178595A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazuhiko Sakai
和彦 阪井
Tatsuhiko Adachi
龍彦 足立
Norihiro Nakayama
典宏 仲山
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Ube Exsymo Co Ltd
Original Assignee
Ube Nitto Kasei Co Ltd
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/321Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by conductive adhesives

Abstract

PURPOSE: To obtain fine particles excellent in accuracy of particle diameter conductivity and having high strength, high hardness and high durability by subjecting spherical particles of metal oxide to surface treatment with a silane coupling agent and coating the surface of the surface-treated particles with a polymer layer having conjugate π-electrons. CONSTITUTION: The conductive fine particles are produced by surface treating spherical particles of metal oxide with a silane coupling agent having polymerizable functional groups and then coating the surface of the spherical particles with a polymer (conductive polymer) having conjugate π-electrons. The spherical particles of metal oxide as the base body of the conductive fine particles are spherical particles of silica, alumina, titania, zirconia or composite material of these. These particles are produced by hydrolysis of silicon alkoxide to obtain monodispersion silica fine particles having a sharp distribution of particle diameter. The particle diameter of the particles is usually 0.1-30.0μm, and preferably 0.5-15.0μm, and more preferably 0.8-12μm.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、異方導電性膜等に利用
可能な導電性微粒子およびその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to conductive fine particles which can be used for anisotropic conductive films and the like and a method for producing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術および発明が解決しようとする課題】従
来、半導体チップや、液晶表示用装置のリード線とその
駆動回路(LSI等)との連結部分の結合は、バンプを
形成したり、キャリアテープを用いる方法で行われてき
た。しかし、これらの方法では、より細密化する連結部
分を形成するには、不適当である。そこで、現在ではよ
り細密な連結部分を形成しうる異方導電性膜が利用され
るようになってきた。
2. Description of the Related Art Conventionally, a semiconductor chip or a lead wire of a liquid crystal display device and a connecting portion of a drive circuit (LSI or the like) thereof are connected to each other by forming a bump or a carrier tape. Has been done by the method of using. However, these methods are unsuitable for forming a more compact connecting portion. Therefore, at present, anisotropic conductive films capable of forming finer connection parts have been used.

【0003】異方導電性膜は、リード線の間隔に対応し
た距離で設けられた端子を有する2枚の膜を、端子の設
けられている面を内側にしてそれぞれ向かい合わせ、そ
の間に導電性を有する粒子の分散液を入れ、膜を圧着
し、向かい合った端子間に導電性粒子を挟み込むことに
より作製される。このように作製された異方導電性膜
は、上下の端子間には導電性が確保されるが、左右の隣
り合う端子間には導電性がなく、絶縁状態が保たれるも
のである。
The anisotropic conductive film is composed of two films having terminals provided at a distance corresponding to the distance between the lead wires, with the surfaces on which the terminals are provided facing inward, respectively, and the conductive film between them. It is prepared by inserting a dispersion liquid of particles having the above, pressing the film under pressure, and sandwiching conductive particles between the terminals facing each other. The anisotropic conductive film manufactured in this manner ensures conductivity between the upper and lower terminals, but has no conductivity between adjacent terminals on the left and right, and maintains an insulating state.

【0004】従来、異方導電性膜を作製するための導電
性粒子として、樹脂ビーズの表面にニッケルや金などの
金属をメッキ処理したものがあったが、これらは次のよ
うな問題点を抱えていた。すなわち、 (イ)導電性微粒子の粒径精度はその母粒子である樹脂ビ
ーズの粒径精度に大きく影響されるが、一般に樹脂ビー
ズの粒径精度は悪く、結果的に得られた導電性微粒子の
粒径精度も悪い。
Conventionally, as conductive particles for producing an anisotropic conductive film, there has been one in which the surface of resin beads is plated with a metal such as nickel or gold, but these have the following problems. I was holding. That is, (a) the particle size accuracy of the conductive fine particles is greatly influenced by the particle size accuracy of the resin beads that are the mother particles, but the particle size accuracy of the resin beads is generally poor, and the resulting conductive particles are The particle size accuracy of is also poor.

【0005】(ロ)メッキ工程中に母粒子である樹脂ビー
ズの凝集が多く発生し、そのためメッキ後に得られた導
電性微粒子を使用する際に、その凝集部分が解砕される
と、凝集部分がメッキ不完全であるため導通不良を生じ
ることがある。
(B) A large amount of agglomeration of resin beads as mother particles occurs during the plating process, and when the electroconductive fine particles obtained after plating are used, the agglomerated portion is crushed. Incomplete plating may cause poor conduction.

【0006】(ハ)樹脂ビーズの硬度および強度が不足し
ているため、より高強度・高硬度を求められる用途には
樹脂ビーズを母粒子とする導電性微粒子は使用できな
い。
(C) Since the resin beads have insufficient hardness and strength, conductive fine particles containing resin beads as the mother particles cannot be used for applications requiring higher strength and hardness.

【0007】また、導電性微粒子としてニッケル等の金
属微粒子それ自体が用いられることもあるが、これらは
凝集しやすく、端子間の絶縁性を確保できないことが多
い。
Although fine particles of metal such as nickel itself may be used as the conductive fine particles, they are easily agglomerated and the insulation between terminals cannot be secured in many cases.

【0008】さらに、金属酸化物の微粒子にニッケルお
よび/または金等をメッキ処理した導電性微粒子も提案
されているが、これらも凝集しやすく、また母粒子と被
覆金属との接着性がわるいため、解砕や混練工程中に被
覆金属部分が脱落し、導電性が著しく低下することがあ
る。
Further, conductive fine particles obtained by plating fine particles of metal oxide with nickel and / or gold have been proposed, but these are also easily aggregated and the adhesion between the mother particles and the coating metal is poor. In some cases, the coated metal part may fall off during the crushing or kneading process, resulting in a marked decrease in conductivity.

【0009】従って、本発明の目的は、粒径精度、導電
性に優れた高強度・高硬度・高耐久性の新規な導電性微
粒子およびその製造方法を提供することにある。
Therefore, an object of the present invention is to provide a novel conductive fine particle having high strength, high hardness and high durability which is excellent in particle size accuracy and conductivity, and a method for producing the same.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の導電性微粒子は、重合性官能基を有するシラン系カ
ップリング剤で表面処理された金属酸化物からなる球状
粒子の表面に共役π電子を有するポリマー(以下、導電
性ポリマーと略記する)からなる層が被覆されているこ
とを特徴とする。
Means for Solving the Problems The conductive fine particles of the present invention which achieve the above object are conjugated π on the surface of spherical particles composed of a metal oxide surface-treated with a silane coupling agent having a polymerizable functional group. A layer made of a polymer having electrons (hereinafter, abbreviated as a conductive polymer) is coated.

【0011】また上記目的を達成する本発明の導電性微
粒子の製造方法は、重合性官能基を有するシラン系カッ
プリング剤で表面処理された金属酸化物からなる球状粒
子を含む分散液に、共役π電子を有するポリマーを形成
し得るモノマーを加え、酸化重合させて、金属酸化物か
らなる球状粒子の表面に共役π電子を有するポリマー層
(以下、導電性ポリマー層と略記する)を形成させるこ
とを特徴とする。
Further, the method for producing electrically conductive fine particles of the present invention which achieves the above object is obtained by conjugating a dispersion liquid containing spherical particles made of a metal oxide surface-treated with a silane coupling agent having a polymerizable functional group. A monomer capable of forming a polymer having π electrons is added and oxidatively polymerized to form a polymer layer having conjugated π electrons (hereinafter abbreviated as a conductive polymer layer) on the surface of spherical particles made of a metal oxide. Is characterized by.

【0012】先ず本発明の導電性微粒子について説明す
る。
First, the conductive fine particles of the present invention will be described.

【0013】本発明の導電性微粒子の母材である金属酸
化物からなる球状粒子としては、シリカ、アルミナ、チ
タニア、ジルコニアまたはこれらの複合体などの金属酸
化物からなる球状粒子が用いられる。このうち、特に粒
径分布が非常にシャープなシリカからなる球状粒子を用
いるのが好適である。シリカ球状粒子は種々の方法で製
造可能であるが、特に好ましい方法としては、シリコン
アルコキシド類を加水分解して粒径分布がシャープな単
分散シリカ微粒子を得る方法が挙げられる。このシリカ
微粒子の粒径は通常0.1〜30.0μmであるが、好
ましくは0.5〜15.0μm、特に好ましくは、0.
8〜12μmである。またこのシリカ微粒子の粒度分布
の変動係数(以下、CV値という)は、2%以下のCV
値を有する導電性微粒子が得られる値であればよく、概
ね2%以下であるが、1.5%以下が特に好ましい。
As the spherical particles made of a metal oxide, which is the base material of the conductive fine particles of the present invention, spherical particles made of a metal oxide such as silica, alumina, titania, zirconia or a complex thereof are used. Of these, it is particularly preferable to use spherical particles made of silica having a very sharp particle size distribution. Although the spherical silica particles can be produced by various methods, a particularly preferable method is a method of hydrolyzing silicon alkoxides to obtain monodispersed silica fine particles having a sharp particle size distribution. The particle size of the silica fine particles is usually 0.1 to 30.0 μm, preferably 0.5 to 15.0 μm, and particularly preferably 0.1.
It is 8 to 12 μm. The variation coefficient of the particle size distribution of the silica fine particles (hereinafter referred to as CV value) is 2% or less of CV.
It may be any value as long as the conductive fine particles having a certain value can be obtained.

【0014】なお変動係数(CV値)は下式により求め
られる。 CV値(%)=(粒径の標準偏差)÷(平均粒径)×1
50 上記金属酸化物球状粒子を表面処理するための重合性官
能基を有するシラン系カップリング剤(以下、シラン系
カップリング剤と略記する)としては、金属酸化物の表
面にビニル基、アリル基、アクリロイル基、メタクリロ
イル基、グリシドキシ基等の重合性官能基を導入するこ
とができるものであればいずれでもよい。その具体例と
してはトリメトキシビニルシラン、トリエトキシビニル
シラン、アリルメトキシシラン、アリルトリエトキシシ
ラン、ビニルトリス(βーメトキシエトキシ)シラン、
メチルビニルジクロロシラン、γー(メタ)アクリルオ
キシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリクロルシ
ラン、ビニルトリス(βーメトキシ)シラン、γーメタ
クリロキシプロピルトリメトキシシラン、Nーβ(Nー
ビニルベンジルアミノエチル)ーγーアミノプロピルト
リメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、γー
メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン等のビ
ニルシラン系カップリング剤;β−(3,4−エポキシ
シクロヘキシル)エチルトリエトキシシラン、γ−グリ
シドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキ
シプロピルメチルジメトキシシラン、メチルトリ(グリ
シジルオキシ)シラン等のエポキシシラン系カップリン
グ剤等が挙げられる。重合性官能基を有するシラン系カ
ップリング剤は1種類のみでもよいし、複数種であって
も良い。
The coefficient of variation (CV value) is obtained by the following equation. CV value (%) = (standard deviation of particle size) ÷ (average particle size) × 1
50 The silane coupling agent having a polymerizable functional group for surface-treating the metal oxide spherical particles (hereinafter, abbreviated as silane coupling agent) is a vinyl group or an allyl group on the surface of the metal oxide. Any one that can introduce a polymerizable functional group such as an acryloyl group, a methacryloyl group, and a glycidoxy group may be used. Specific examples thereof include trimethoxyvinylsilane, triethoxyvinylsilane, allylmethoxysilane, allyltriethoxysilane, vinyltris (β-methoxyethoxy) silane,
Methylvinyldichlorosilane, γ- (meth) acryloxypropyltrimethoxysilane, vinyltrichlorosilane, vinyltris (β-methoxy) silane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, N-β (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ -Aminopropyltrimethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, γ-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane, and other vinylsilane coupling agents; β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropyltri Examples thereof include epoxysilane coupling agents such as methoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, and methyltri (glycidyloxy) silane. The silane coupling agent having a polymerizable functional group may be only one kind or plural kinds.

【0015】金属酸化物に対するシラン系カップリング
剤の量は、金属酸化物球状粒子表面に導入された重合性
官能基が、後記する共役π電子を有するポリマーを形成
し得るモノマーと反応して金属酸化物球状粒子表面に密
着性に優れたポリマー被覆層を形成し得る量とする必要
があるが、より具体的には表面処理時の仕込量で、金属
酸化物の球状粒子の全表面についてシラン系カップリン
グ剤を単位面積当たり0.01〜10ミリモル/m2
処理量とするのが好ましく、特に0.1〜5ミリモル/
2とするのが好ましい。
The amount of the silane coupling agent with respect to the metal oxide is such that the polymerizable functional group introduced on the surface of the metal oxide spherical particles reacts with a monomer capable of forming a polymer having a conjugated π electron as described later. It is necessary to make the amount capable of forming a polymer coating layer having excellent adhesiveness on the surface of the oxide spherical particles, but more specifically, in the charged amount during the surface treatment, silane is used for the entire surface of the spherical particles of the metal oxide. The amount of the system coupling agent is preferably 0.01 to 10 mmol / m 2 per unit area, and more preferably 0.1 to 5 mmol / m 2.
It is preferably m 2 .

【0016】またシラン系カップリング剤とともに、テ
トラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラプ
ロポキシシラン、テトラブトキシシラン等のアルコキシ
シランを併用してもよい。アルコキシシランを併用する
場合、アルコキシシランをシラン系カップリング剤と同
時またはシラン系カップリング剤よりも先に仕込むのが
好ましく、特に後者が好ましい。アルコキシシランの使
用量はシラン系カップリング剤に対するモル比で0.5
以下が好ましく、特に0.25以下が好ましい。
Alkoxysilanes such as tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetrapropoxysilane and tetrabutoxysilane may be used together with the silane coupling agent. When the alkoxysilane is used in combination, it is preferable to charge the alkoxysilane simultaneously with the silane coupling agent or before the silane coupling agent, and the latter is particularly preferable. The amount of alkoxysilane used is 0.5 in terms of molar ratio to the silane coupling agent.
The following is preferable, and 0.25 or less is particularly preferable.

【0017】本発明の導電性微粒子においては、上記し
たシラン系カップリング剤で表面処理された金属酸化物
からなる球状粒子の表面に、共役π電子を有するポリマ
ーからなる層が被覆されていることを特徴とする。
In the conductive fine particles of the present invention, the surface of the spherical particles made of the metal oxide surface-treated with the above-mentioned silane coupling agent is coated with a layer made of a polymer having conjugated π electrons. Is characterized by.

【0018】共役π電子を有するポリマー(導電性ポリ
マー)は、式 Rx−C6(5-x)−NH(R1) (I) (式中、Rは芳香環のオルト位および/またはメタ位に
置換されたC1〜C18アルキル基またはハロゲン原子で
あり、xはRの数を示し、0〜4であり、R1は水素ま
たはC1〜C18アルキル基である)で示されるアニリン
またはその誘導体を重合して得た重合体、または式
A polymer having a conjugated π electron (conductive polymer) has the formula R x —C 6 H (5-x) —NH (R 1 ) (I) (wherein R is the ortho position of the aromatic ring and / or Or a C 1 -C 18 alkyl group substituted in the meta position or a halogen atom, x represents the number of R, is 0 to 4, and R 1 is hydrogen or a C 1 to C 18 alkyl group). Polymers obtained by polymerizing the indicated aniline or its derivatives, or formulas

【化3】 (式中、R2、R3はそれぞれ独立に水素、C1〜C18
ルキル基、C1〜C18アルコキシ基またはハロゲン原子
であり、XはNH基、硫黄または酸素原子である)で示
されるピロール、チオフェン、フランまたはその誘導体
を重合して得た重合体であるのが好ましい。
Embedded image (In the formula, R 2 and R 3 are each independently hydrogen, a C 1 to C 18 alkyl group, a C 1 to C 18 alkoxy group or a halogen atom, and X is an NH group, a sulfur or an oxygen atom) It is preferably a polymer obtained by polymerizing pyrrole, thiophene, furan or a derivative thereof.

【0019】モノマー、すなわち上記式(I)で表され
るアニリンまたはその誘導体、または上記式(II)で表
されるピロール、チオフェン、フランまたはその誘導体
の濃度は、1〜1000mmol/リットルの範囲であ
り、好ましくは2〜100mmol/リットルの範囲内
である。
The concentration of the monomer, that is, the aniline represented by the above formula (I) or its derivative, or the pyrrole, thiophene, furan or its derivative represented by the above formula (II), is in the range of 1 to 1000 mmol / liter. Yes, and preferably within the range of 2 to 100 mmol / liter.

【0020】本発明の導電性微粒子の電導度は、使用す
るモノマーの置換基やドープ率により異なるが、10-9
〜100S(Siemens)/cmの範囲であり、好ましく
は10-6〜50S/cmの範囲である。
The electric conductivity of the conductive fine particles of the present invention varies depending on the substituents of the monomers used and the doping ratio, but it is 10 -9.
To 100 S (Siemens) / cm, preferably 10 −6 to 50 S / cm.

【0021】次に導電性微粒子を製造するための本発明
の方法について説明する。
Next, the method of the present invention for producing conductive fine particles will be described.

【0022】本発明においては、重合性官能基を有する
シラン系カップリング剤で表面処理された金属酸化物か
らなる球状粒子を出発原料として用いる。
In the present invention, spherical particles composed of a metal oxide surface-treated with a silane coupling agent having a polymerizable functional group are used as starting materials.

【0023】金属酸化物からなる球状粒子のシラン系カ
ップリング剤による表面処理は、次のようにして行なわ
れる。まず、超音波振動等を利用して、球状粒子をメタ
ノール、エタノール、2−プロパノール等のアルコール
溶媒中に分散させて所望の分散液を得る。このときの溶
媒は1種類のアルコールであってもよいし、複数種のア
ルコールからなる混合物であってもよい。アルコール溶
媒の量は球状粒子の5〜30倍が好適である。このよう
にして得られた分散液に、球状粒子の重量に対して2〜
30倍の25〜30%のアンモニア水を添加し、さら
に、シラン系カップリング剤を添加する。必要に応じて
少量(シラン系カップリング剤に対するモル比で0.5
以下)のアルコキシシランを好ましくはシラン系カップ
リング剤の添加前または添加時に添加してもよい。アル
コキシシランを添加する目的は、加水分解速度の速いア
ルコキシシランを共存させることでシリカ微粒子表面へ
のシラン系カップリング剤の結合量を均一化することに
ある。シラン系カップリング剤およびアルコキシシラン
の具体例は、前述した本発明の導電性微粒子の説明の中
で例示したとおりである。この後、分散液の液温を20
〜80℃に保ちつつ1〜24時間撹拌する。これによ
り、球状粒子がシラン系カップリング剤により表面処理
され、球状粒子の表面には重合性官能基が導入される。
The surface treatment of the spherical particles made of metal oxide with the silane coupling agent is carried out as follows. First, using ultrasonic vibration or the like, spherical particles are dispersed in an alcohol solvent such as methanol, ethanol, or 2-propanol to obtain a desired dispersion liquid. The solvent at this time may be one type of alcohol or a mixture of a plurality of types of alcohol. The amount of the alcohol solvent is preferably 5 to 30 times that of the spherical particles. In the dispersion liquid thus obtained, 2 to the weight of the spherical particles is used.
25 to 30% of 30-fold ammonia water is added, and further a silane coupling agent is added. If necessary, add a small amount (0.5 in molar ratio to the silane coupling agent).
The following) alkoxysilanes may be preferably added before or during the addition of the silane coupling agent. The purpose of adding the alkoxysilane is to make the amount of the silane coupling agent bonded to the surface of the silica fine particles uniform by allowing the alkoxysilane having a high hydrolysis rate to coexist. Specific examples of the silane coupling agent and the alkoxysilane are as exemplified in the above description of the conductive fine particles of the invention. After that, the liquid temperature of the dispersion liquid is set to 20
Stir for 1 to 24 hours while maintaining at ~ 80 ° C. As a result, the spherical particles are surface-treated with the silane coupling agent, and a polymerizable functional group is introduced on the surface of the spherical particles.

【0024】本発明の導電性微粒子の製造方法において
は、シラン系カップリング剤で表面処理された酸化物球
状粒子を含む分散液に、共役π電子を有するポリマーを
形成し得るモノマーを加え酸化重合させて、金属酸化物
からなる球状粒子の表面にドープ状態の共役π電子を有
するポリマー層を形成させる。
In the method for producing conductive fine particles of the present invention, a monomer capable of forming a polymer having conjugated π-electrons is added to a dispersion liquid containing spherical oxide particles surface-treated with a silane coupling agent to carry out oxidative polymerization. Then, a polymer layer having conjugated π electrons in a doped state is formed on the surface of the spherical particles made of a metal oxide.

【0025】このポリマー層形成工程は、酸化重合を採
用するものであり、基本的にはPOLYMER、199
1年、第32巻、第13号、第2325〜2330頁に
記載の方法によって行なわれる。しかしこの文献の方法
では、シリカ粒子を何ら表面処理することなくそのまま
酸化触媒等を含む媒体に分散させ、得られた分散液にア
ニリンやピロールなどのモノマーを注入して酸化重合を
行なっているが、この文献記載の方法では、(i)重合
中にシリカ粒子同士が凝集してしまい、粒子表面に均一
な導電性ポリマー層を形成させることができず、例えば
本発明の目的である異方導電性膜に用いられる粒子に要
求される電気伝導度(以下、電導度と略記する)(10
-2〜10-3S/cm)を十分に満足することができな
い、(ii)均一な粒径分布の導電性微粒子を得ることが
できない、(iii)シリカ微粒子との化学結合がなく、
物理吸着のため、導電性ポリマー層が非常に剥がれ易
い、(iv)シリカ粒子が例えば1μmを超える粒径を有
する大径粒子の場合には、シリカ粒子上にポリマー層を
殆ど形成できない、などの欠点を有する。
This polymer layer forming step employs oxidative polymerization, and basically, POLYMER and 199 are used.
1 year, Vol. 32, No. 13, pages 2325 to 2330. However, according to the method of this document, silica particles are directly dispersed in a medium containing an oxidation catalyst and the like without any surface treatment, and monomers such as aniline and pyrrole are injected into the obtained dispersion liquid to carry out oxidative polymerization. In the method described in this document, (i) the silica particles are aggregated during the polymerization, and it is not possible to form a uniform conductive polymer layer on the particle surface. Electrical conductivity required for particles used for a conductive film (hereinafter abbreviated as electrical conductivity) (10
-2 to 10 -3 S / cm) cannot be sufficiently satisfied, (ii) conductive fine particles having a uniform particle size distribution cannot be obtained, (iii) no chemical bond with silica fine particles,
Due to physical adsorption, the conductive polymer layer is very easily peeled off. (Iv) When the silica particles are large particles having a particle size of, for example, more than 1 μm, the polymer layer can hardly be formed on the silica particles. It has drawbacks.

【0026】そこで本発明の方法においては、ポリマー
層を形成するための金属酸化物球状粒子として、重合性
官能基を有するシラン系カップリング剤で表面処理され
たものを用い、金属酸化物球状粒子の表面上に結合した
シラン系カップリング剤中の重合性官能基を、上記共役
π電子を有するポリマーを形成し得るモノマーの酸化重
合に関与させ、上記重合性官能基を共役π電子を有する
ポリマーと化学的に結合させることにより、上記文献記
載の方法の欠点(i)、(ii)、(iii)および(iv)を
解決したものである。すなわち、金属酸化物球状粒子を
シラン系カップリング剤で表面処理することにより、球
状粒子同士の凝集が防止され、また球状粒子とポリマー
層との間にシラン系カップリング剤を介在させることに
より、球状粒子が大径であっても均一かつ密着性に優れ
たポリマー層を球状粒子上に形成できる。なお、シラン
系カップリング剤で表面処理することにより、球状粒子
同士の凝集が防止される理由は、シリカ粒子の表面に結
合したシラン系カップリング剤の末端はビニル基などの
有機基であり、疎水性を有するので、粒子同士が反発し
合って合体するのを防ぐためと考えられる。
Therefore, in the method of the present invention, as the metal oxide spherical particles for forming the polymer layer, those surface-treated with the silane coupling agent having a polymerizable functional group are used, and the metal oxide spherical particles are used. The polymerizable functional group in the silane coupling agent bonded on the surface of the is involved in the oxidative polymerization of the monomer capable of forming the polymer having the conjugated π electron, and the polymerizable functional group is the polymer having the conjugated π electron. By chemically bonding with, the drawbacks (i), (ii), (iii) and (iv) of the method described in the above literature are solved. That is, by surface-treating the metal oxide spherical particles with a silane coupling agent, aggregation of the spherical particles is prevented, and by interposing a silane coupling agent between the spherical particles and the polymer layer, Even if the spherical particles have a large diameter, it is possible to form a polymer layer having a uniform and excellent adhesion on the spherical particles. By the surface treatment with a silane coupling agent, the reason why the aggregation of spherical particles is prevented is because the terminal of the silane coupling agent bonded to the surface of the silica particles is an organic group such as a vinyl group, Since it has hydrophobicity, it is considered to prevent particles from repulsing each other and coalescing.

【0027】共役π電子を有するポリマーを形成し得る
モノマーとしては、上記式(I)で示されるアニリンま
たはその誘導体または上記式(II)で示されるピロー
ル、チオフェン、フランまたはその誘導体が挙げられ
る。
Examples of the monomer capable of forming a polymer having conjugated π electrons include aniline represented by the above formula (I) or a derivative thereof or pyrrole, thiophene, furan or a derivative represented by the above formula (II).

【0028】酸化重合における分散液中のモノマーの濃
度は臨界的ではないが、好ましくは1〜1000mmo
l/リットルの範囲であり、特に好ましくは2〜100
mmol/リットルの範囲である。
The concentration of the monomer in the dispersion in the oxidative polymerization is not critical, but preferably 1 to 1000 mmo.
It is in the range of 1 / liter, particularly preferably 2 to 100.
It is in the range of mmol / liter.

【0029】分散液の媒体としては、一般の酸化重合に
用いられる溶媒であれば特に限定されないが、具体的に
は水;メタノール、エタノール、イソプロピルアルコー
ルなどのアルコール類;アセトニトリル、ベンゾニトリ
ル等のニトリル系溶媒等が挙げられる。さらに、これら
の溶媒を複数混合して用いてもよく、またこれらの溶媒
に硫酸、硝酸、塩酸などのハロゲン化水素類、過塩素酸
等のプロトン酸を0.01〜10mol/リットル添加
したものを媒体として用いることも可能である。
The medium of the dispersion liquid is not particularly limited as long as it is a solvent used in general oxidative polymerization, and specifically, water; alcohols such as methanol, ethanol and isopropyl alcohol; nitriles such as acetonitrile and benzonitrile. Examples include system solvents. Further, a plurality of these solvents may be mixed and used, and 0.01 to 10 mol / liter of hydrogen halides such as sulfuric acid, nitric acid and hydrochloric acid, and protic acid such as perchloric acid are added to these solvents. Can also be used as a medium.

【0030】重合時の酸化剤としては、モノマーを酸化
させるものであれば特に限定されないが、具体的には三
塩化鉄等の3価鉄の塩;塩化第二銅をはじめとした2価
銅の塩;過硫酸アンモニウム、過硫酸カリウムなどの過
硫酸塩を挙げることが出来る。酸化剤の添加量は、モノ
マーに対して0.01〜100倍モルの範囲であり、よ
り好ましくは0.1〜10倍モルの範囲である。この場
合には、得られる導電性被膜にドープされるドーパント
アニオンは、添加した酸化剤の遷移金属化合物またはプ
ロトン酸となる。
The oxidizing agent at the time of polymerization is not particularly limited as long as it can oxidize a monomer, but specifically, salts of trivalent iron such as iron trichloride; divalent copper including cupric chloride. Examples thereof include persulfates such as ammonium persulfate and potassium persulfate. The amount of the oxidizing agent added is in the range of 0.01 to 100 times by mole, and more preferably in the range of 0.1 to 10 times by mole with respect to the monomer. In this case, the dopant anion doped in the obtained conductive film becomes the transition metal compound or the protonic acid of the added oxidizing agent.

【0031】上記酸化剤の他にテトラエチルアンモニウ
ム、テトラ−n−ブチルアンモニウム、テトラ−n−プ
ロピルアンモニウム等のハロゲンアニオン、フルオロボ
レートアニオン、過塩素酸アニオン等の電解質アニオン
の塩を、0.01〜10mol/リットルの濃度で反応
溶媒に添加して重合を行うこともできる。この場合には
得られる導電性被膜にドープされるドーパントアニオン
は、ここで添加した電解質アニオンとなる。
In addition to the above-mentioned oxidizing agents, salts of halogen anions such as tetraethylammonium, tetra-n-butylammonium and tetra-n-propylammonium, electrolyte anions such as fluoroborate anions and perchlorate anions are added in an amount of 0.01 to Polymerization can also be carried out by adding to the reaction solvent at a concentration of 10 mol / liter. In this case, the dopant anion doped in the obtained conductive coating becomes the electrolyte anion added here.

【0032】本発明の方法の特に好ましい態様によれ
ば、分散液に分散安定剤を加えることにより、金属酸化
物球状粒子同士の凝集がポリマー層の形成前、形成中お
よび形成後において、より一層防止され、また球状粒子
およびモノマーの分散状態もより均一に保持されるの
で、均一なポリマー被覆層を有する単分散球状粒子を得
ることができる。
According to a particularly preferred embodiment of the method of the present invention, by adding a dispersion stabilizer to the dispersion liquid, the agglomeration of the metal oxide spherical particles is further enhanced before, during and after the formation of the polymer layer. Since it is prevented and the dispersion state of the spherical particles and the monomer is maintained more uniformly, it is possible to obtain monodisperse spherical particles having a uniform polymer coating layer.

【0033】粒子同士が凝集せずに均一なポリマーを形
成させるための分散安定剤としては、ポリビニルピロリ
ドン、ポリビニルメチルエーテル、ポリエチレンイミ
ン、ポリアクリル酸、ポリビニルアルコール、エチルセ
ルロース、メチルセルロース、ヒドロキシプロピルセル
ロース、アクリル樹脂、ポリカーボネート等が挙げられ
る。
As the dispersion stabilizer for forming a uniform polymer without particles agglomerating, polyvinylpyrrolidone, polyvinylmethyl ether, polyethyleneimine, polyacrylic acid, polyvinyl alcohol, ethyl cellulose, methyl cellulose, hydroxypropyl cellulose, acrylic Resin, polycarbonate, etc. may be mentioned.

【0034】分散安定剤の添加量は分散液に対して0.
02〜20重量%が好ましく、0.2〜6重量%が特に
好ましい。0.02重量%より添加量が少ないとシリカ
微粒子が凝集・合着して、均一な粒子径分布の導電性微
粒子を得ることができなくなってしまう。また20重量
%より添加量が多くなると、導電性ポリマーを均一に被
覆することができなくなり、電導度が低下する傾向があ
る。
The amount of the dispersion stabilizer added was 0.
02 to 20% by weight is preferable, and 0.2 to 6% by weight is particularly preferable. If the addition amount is less than 0.02% by weight, the silica fine particles agglomerate and coalesce, making it impossible to obtain conductive fine particles having a uniform particle size distribution. On the other hand, if the amount added is more than 20% by weight, the conductive polymer cannot be uniformly coated, and the electric conductivity tends to decrease.

【0035】ここで、導電性ポリマー被覆層を形成する
ための分散重合法による酸化重合反応の反応機構につい
て、アニリンを例に挙げて説明する。まず、アニリンが
酸化され、芳香環のパラ位がカチオンとなる。生成した
カチオンがアニリンのN−位不対電子を攻撃し、ヘッド
−テール型のカップリングが起こる。導電性高分子の場
合、酸化のされ易さは、モノマー<ダイマー<トリマー
<・・・・ポリマーの順なので、次々に酸化され高分子
化していく。また他方で、酸化されたカチオンアニリン
は電子リッチなビニル基を攻撃し、結合を形成する。こ
のビニル基に結合したアニリンも同様にどんどん高分子
化(グラフト)していく。析出してくる高分子は数nm
〜数十nmの微粒子であり、ポリアニリン同士が引き合
う形でシード粒子(ポリアニリングラフト粒子)表面に
集まり、さらに酸化され、表面と結合を形成し、コート
層が形成される。
Here, the reaction mechanism of the oxidative polymerization reaction by the dispersion polymerization method for forming the conductive polymer coating layer will be described by taking aniline as an example. First, aniline is oxidized and the para position of the aromatic ring becomes a cation. The generated cation attacks the N-unpaired electron of aniline, and head-tail type coupling occurs. In the case of a conductive polymer, the easiness of oxidation is in the order of monomer <dimer <trimer <... Polymer, so that the polymer is sequentially oxidized and polymerized. On the other hand, the oxidized cationic aniline attacks electron-rich vinyl groups to form bonds. Similarly, the aniline bound to the vinyl group is gradually polymerized (grafted). Precipitated polymer is several nm
The particles are particles having a particle size of several tens of nanometers and gather on the surface of the seed particles (polyaniline graft particles) in a form where the polyanilines attract each other, and are further oxidized to form a bond with the surface to form a coat layer.

【0036】モノマーがアニリンである場合の上記の酸
化重合反応を反応式で示すと下記のようになる。
The above oxidative polymerization reaction in the case where the monomer is aniline is represented by the following reaction formula.

【化4】 また、モノマーが[Chemical 4] Also, the monomer

【化5】 である場合の例として、R2=R3=水素原子、X=NH
基である場合、すなわちピロールである場合の酸化重合
反応は、次の反応式で示される。
Embedded image In the case of, R 2 = R 3 = hydrogen atom, X = NH
The oxidative polymerization reaction in the case of a group, that is, in the case of a pyrrole is represented by the following reaction formula.

【化6】 [Chemical 6]

【0037】なお、上記重合反応式のように、化学的酸
化重合によって得られた導電性高分子にドープされてい
るドーパントアニオン(電子受容性ドーパント)は、前
記したように重合反応に用いられた酸化剤または重合反
応時に添加された電解質アニオンの塩に由来する、例え
ば遷移金属化合物、プロトン酸または電解質アニオンで
ある。しかしながら、上記酸化重合で得られた導電性高
分子を一旦脱ドープした後、再ドープして、ドーパント
アニオンの異なる導電性高分子を得ることも可能であ
る。再ドープの方法には、化学的ドーピング法および電
気化学的ドーピング法があり、いずれの方法を用いても
よい。化学的ドーピング法は、例えば乾燥した脱ドープ
状態の高分子を沃素ガス等にさらす方法や、プロトン酸
(高分子のスルホン酸などでもよい)の溶液中で撹拌す
る方法などが挙げられる。電気化学的ドーピング法は、
電解質を適当な溶媒に溶解して得た溶液を入れたセル中
に脱ドープ状態の高分子を入れ、よく撹拌しながら作用
極に任意の電圧を印加し、作用極上で高分子を酸化し、
アニオンを強制的に取り込ませる方法である。
The dopant anion (electron-accepting dopant) doped in the conductive polymer obtained by the chemical oxidative polymerization as shown in the above polymerization reaction formula was used in the polymerization reaction as described above. It is, for example, a transition metal compound, a protic acid or an electrolyte anion derived from an oxidant or a salt of the electrolyte anion added during the polymerization reaction. However, the conductive polymer obtained by the above-mentioned oxidative polymerization can be dedoped once and then redoped to obtain a conductive polymer having a different dopant anion. The re-doping method includes a chemical doping method and an electrochemical doping method, and any method may be used. Examples of the chemical doping method include a method of exposing a dry dedoped polymer to iodine gas and the like, and a method of stirring in a solution of a protonic acid (which may be a polymer sulfonic acid). The electrochemical doping method is
Put the polymer in the undoped state in the cell containing the solution obtained by dissolving the electrolyte in a suitable solvent, apply an arbitrary voltage to the working electrode while stirring well, oxidize the polymer on the working electrode,
This is a method of forcibly taking in anions.

【0038】再ドープによってドープすることが可能な
ドーパントアニオンとしては、例えばFeCl3、Fe
OCl、TiCl4、ZrCl4、HfCl4、NbF5
NbCl5、TaCl5、MoF5、MoCl5、WF6
WCl6、UF6、LnCl3(Ln=La、Ce、P
r、Nd、Smなどのランタノイド)等の遷移金属化合
物;HF、HCl、HNO3、H2SO4、HClO4、F
SO3H、ClSO3H、CF3SO3H、各種有機酸、ア
ミノ酸等のプロトン酸;Cl-、Br-、I-、Cl
4 -、PF6 -、AsF6 -、SbF6 -、BF4 -、高分子量
のポリスルホン酸アニオン例えば
Examples of dopant anions which can be doped by re-doping include FeCl 3 and Fe.
OCl, TiCl 4 , ZrCl 4 , HfCl 4 , NbF 5 ,
NbCl 5 , TaCl 5 , MoF 5 , MoCl 5 , WF 6 ,
WCl 6 , UF 6 , LnCl 3 (Ln = La, Ce, P
r, Nd, lanthanoids such as Sm) and other transition metal compounds; HF, HCl, HNO 3 , H 2 SO 4 , HClO 4 , F
SO 3 H, ClSO 3 H, CF 3 SO 3 H, various organic acids, protonic acids such as amino acids; Cl , Br , I , Cl
O 4 , PF 6 , AsF 6 , SbF 6 , BF 4 , high molecular weight polysulfonate anion, for example

【化7】 、その他スルホン酸アニオン等の電解質アニオン;Cl
2、Br2、I2、ICl、ICl3、IBr、IF等のハ
ロゲン;PF6、AsF5、SbP5、BF3、BCl3
BBr3、SO3等のルイス酸;その他O2、XeOF4
(NO2 +)(SbF6 -)、(NO2 +)(SbCl6 -)、
(NO2 +)(BF4 -)、FSO2OOSO2F、AgCl
4、H2IrCl6、La(NO33・6H2O等が挙げ
られる。このように一旦脱ドープして、再ドープするこ
とにより、導電性被膜の導電率を高めたり、導電性被膜
の耐久性を高めたりすることが可能である。
[Chemical 7] , Other electrolyte anions such as sulfonate anions; Cl
2 , halogens such as Br 2 , I 2 , ICl, ICl 3 , IBr, and IF; PF 6 , AsF 5 , SbP 5 , BF 3 , BCl 3 ,
Lewis acids such as BBr 3 and SO 3 ; other O 2 , XeOF 4 ,
(NO 2 +) (SbF 6 -), (NO 2 +) (SbCl 6 -),
(NO 2 +) (BF 4 -), FSO 2 OOSO 2 F, AgCl
O 4, H 2 IrCl 6, La (NO 3) 3 · 6H 2 O , and the like. By once de-doping and re-doping in this way, it is possible to increase the conductivity of the conductive coating and the durability of the conductive coating.

【0039】上記より明らかなように、本発明の方法に
よれば、金属粒子表面に結合された重合性官能基を介し
てモノマー状態からの酸化重合が行われるため、非常に
強固な導電層が形成され、金属粒子からの剥離・溶出は
実質的に起こらない。さらに、酸化重合が前記分散安定
剤の存在下で行われる場合には、金属酸化物球状粒子同
士の凝集が導電性ポリマー層の形成前、形成中および形
成後の各段階で一層防止され、また球状粒子およびモノ
マーの分散状態も、より均一に保持されるので、電導度
の向上した導電性ポリマー層を有する単分散球状粒子を
得ることができる。
As is clear from the above, according to the method of the present invention, since the oxidative polymerization from the monomer state is carried out through the polymerizable functional group bonded to the surface of the metal particles, a very strong conductive layer can be obtained. It is formed, and peeling or elution from the metal particles does not substantially occur. Furthermore, when the oxidative polymerization is carried out in the presence of the dispersion stabilizer, the aggregation of the metal oxide spherical particles is further prevented before the formation of the conductive polymer layer, during the formation of the conductive polymer layer, and after the formation of the conductive polymer layer. Since the dispersed state of the spherical particles and the monomer is maintained more uniformly, it is possible to obtain the monodispersed spherical particles having the conductive polymer layer with improved conductivity.

【0040】上記の本発明の方法によって製造された本
発明の導電性微粒子は、粒径精度、導電性に優れ、さら
に強度・硬度・耐久性にも優れている。従って、異方導
電性膜等に利用するのに非常に好適である。
The conductive fine particles of the present invention produced by the above-mentioned method of the present invention are excellent in particle size accuracy and conductivity, and are also excellent in strength, hardness and durability. Therefore, it is very suitable for use as an anisotropic conductive film or the like.

【0041】[0041]

【実施例】以下実施例により本発明をさらに説明する。The present invention will be further described with reference to the following examples.

【0042】実施例1 (1)ビニルシラン系カップリング剤によるシリカ粒子
の表面処理 単分散シリカ微粒子(平均粒径5.19μm、CV値
0.91%)200gを内容積5リットルのフラスコに
入れ、これにイソプロピルアルコール1260gを加え
た後、超音波振動を与えて分散液を得た。この分散液に
メタノール1260gと25wt%アンモニア水1000
gを添加し液温30℃で30分間撹拌して混合液を得
た。この混合液にビニルシラン系カップリング剤である
γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン86g
(0.35モル)とアルコキシシランの1つであるテト
ラエトキシシラン11.2g(0.054モル)の混合
物を15分間かけて添加した。添加終了後、得られた混
合液の液温を60℃まで昇温させてから、この混合液を
10時間撹拌しながら表面処理を行った。表面処理終了
後、液を静置してシリカ粒子を沈降させ、上澄み液を除
去して沈降粒子(表面処理後のシリカ粒子)を得た。こ
の粒子についてメタノール中で沈降、デカンテーション
を繰り返すことにより洗浄を行い、メタノールを除去し
た後に150℃のオーブン中で1時間乾燥した。このよ
うにして表面にビニル基が導入されたシリカ微粒子を得
た。
Example 1 (1) Surface Treatment of Silica Particles with Vinylsilane Coupling Agent 200 g of monodispersed silica fine particles (average particle size 5.19 μm, CV value 0.91%) were placed in a flask having an internal volume of 5 liters, After adding 1260 g of isopropyl alcohol thereto, ultrasonic vibration was applied to obtain a dispersion liquid. 1260 g of methanol and 1000 of 25 wt% ammonia water were added to this dispersion.
g was added and stirred at a liquid temperature of 30 ° C. for 30 minutes to obtain a mixed liquid. 86 g of γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, which is a vinylsilane-based coupling agent, was added to this mixed liquid.
A mixture of (0.35 mol) and 11.2 g (0.054 mol) of tetraethoxysilane, which is one of the alkoxysilanes, was added over 15 minutes. After the addition was completed, the liquid temperature of the obtained mixed liquid was raised to 60 ° C., and then the surface treatment was performed while stirring the mixed liquid for 10 hours. After the completion of the surface treatment, the liquid was allowed to stand and the silica particles were allowed to settle, and the supernatant liquid was removed to obtain precipitated particles (silica particles after the surface treatment). These particles were washed by repeating precipitation and decantation in methanol, and after removing methanol, they were dried in an oven at 150 ° C. for 1 hour. Thus, silica fine particles having a vinyl group introduced on the surface were obtained.

【0043】(2)ポリアニリン被覆シリカ微粒子の製
造 分散安定剤であるポリビニルピロリドンK−90(和光
純薬工業社製:分子量40万)20gを1.2N塩酸水
溶液500mlに溶解させた溶液に、(1)で得られたビ
ニル基導入シリカ微粒子10gを添加し、超音波振動を
与えてビニル基導入シリカ微粒子を良く分散させて分散
液を得た。この分散液に酸化剤としてペルオキソ二硫酸
アンモニウム2.5g(0.011モル)を加えてよく
撹拌した後、共役π電子を有するポリマーを形成し得る
モノマーとしてアニリン1g(0.011モル)を添加
し、室温で撹拌しながら酸化重合反応を行った。2時間
後、反応液を水500ml中に注いで酸化重合反応を終了
させた。
(2) Production of Polyaniline Coated Silica Fine Particles 20 g of polyvinylpyrrolidone K-90 (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd .: molecular weight 400,000) as a dispersion stabilizer was dissolved in 500 ml of 1.2N hydrochloric acid aqueous solution to give a solution ( 10 g of the vinyl group-introduced silica fine particles obtained in 1) was added, and ultrasonic vibration was applied to well disperse the vinyl group-introduced silica fine particles to obtain a dispersion liquid. To this dispersion, 2.5 g (0.011 mol) of ammonium peroxodisulfate was added as an oxidizing agent and stirred well, and then 1 g (0.011 mol) of aniline was added as a monomer capable of forming a polymer having conjugated π electrons. The oxidative polymerization reaction was carried out while stirring at room temperature. After 2 hours, the reaction solution was poured into 500 ml of water to terminate the oxidative polymerization reaction.

【0044】混合液をそのまま静置して、表面にポリア
ニリン被覆層を有するシリカ微粒子を沈降させた。沈降
後、上澄み液を除去し、メタノール:水=1:1(体積
比)混合液(500ml)を洗浄液として添加し撹拌し
て、前記粒子を洗浄液中に分散させた。ついでポリアニ
リン被覆シリカ微粒子の沈降、上澄み液の除去の一連の
操作を5回行うことにより洗浄を行った。洗浄溶媒をメ
タノールに置換した後、自然乾燥し、さらに80℃で1
時間加熱することにより、メタノールを蒸発させて乾燥
を行った。このようにして得られたポリアニリン被覆シ
リカ微粒子は、深緑色を呈しており、走査型電子顕微鏡
観察によると、個々の粒子間に合着はなく、粒子径は
5.41μm(粒度分布のCV値:1.29%)で、ポ
リアニリンが0.11μmの厚さで均一に被覆されてい
た。
The mixed solution was allowed to stand as it was to precipitate fine silica particles having a polyaniline coating layer on the surface. After settling, the supernatant was removed, and a mixed solution of methanol: water = 1: 1 (volume ratio) (500 ml) was added as a washing solution and stirred to disperse the particles in the washing solution. Subsequently, the polyaniline-coated silica fine particles were washed by performing a series of operations of sedimentation and removal of the supernatant liquid five times. After replacing the washing solvent with methanol, it was air-dried.
By heating for an hour, methanol was evaporated and drying was performed. The polyaniline-coated silica fine particles thus obtained have a deep green color, and by observation with a scanning electron microscope, there is no coalescence between the individual particles and the particle size is 5.41 μm (CV value of particle size distribution). : 1.29%), polyaniline was uniformly coated to a thickness of 0.11 μm.

【0045】さらに、四端子法により電導度を測定した
ところ、3.2×10-3S/cmとなり、この導電性微
粒子を用いて異方導電性膜を作製したところ、優れた異
方導電性を示した。
Further, when the electric conductivity was measured by the four-terminal method, it was found to be 3.2 × 10 −3 S / cm, and when an anisotropic conductive film was produced using the conductive fine particles, excellent anisotropic conductivity was obtained. Showed sex.

【0046】(3)ポリアニリン被覆シリカ微粒子の被
覆耐久性試験 (2)で得られたポリアニリン被覆シリカ微粒子をメタ
ノールに分散させ、30分間150Wの超音波を照射し
た。その後、粒子の粒径を走査型電子顕微鏡観察により
求めたところ、粒径は5.40μmであり、超音波照射
による剥がれは認められず、ポリアニリン被覆層が耐久
性に富むことが明らかとなった。
(3) Coating durability test of polyaniline-coated silica fine particles The polyaniline-coated silica fine particles obtained in (2) were dispersed in methanol and irradiated with ultrasonic waves of 150 W for 30 minutes. After that, the particle size of the particles was determined by scanning electron microscope observation, and it was found that the particle size was 5.40 μm, peeling due to ultrasonic irradiation was not observed, and the polyaniline coating layer had excellent durability. .

【0047】実施例2:ポリピロール被覆シリカ微粒子
の製造 分散安定剤であるポリビニルピロリドンK−90(和光
純薬工業社製:分子量40万)1gを水500mlに溶解
させた溶液に、実施例1の(1)で得られたビニル基導
入シリカ微粒子10gを添加し、超音波振動を与えて分
散させて分散液を得た。この分散液に酸化剤として三塩
化鉄5.7g(0.045モル)を加えてよく撹拌した
後、共役π電子を有するポリマーを形成し得るモノマー
としてピロール0.67g(0.01モル)を添加し、
室温で撹拌しながら酸化重合反応を行った。15時間
後、反応液を水500ml中に注いで酸化重合反応を終了
させた。
Example 2: Preparation of polypyrrole-coated silica fine particles 1 g of polyvinylpyrrolidone K-90 (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd .: molecular weight 400,000) as a dispersion stabilizer was dissolved in 500 ml of water to prepare a solution of Example 1. 10 g of the vinyl group-introduced silica fine particles obtained in (1) were added, and ultrasonic vibration was applied to disperse the fine particles to obtain a dispersion liquid. After adding 5.7 g (0.045 mol) of iron trichloride as an oxidizing agent to this dispersion and stirring well, 0.67 g (0.01 mol) of pyrrole was added as a monomer capable of forming a polymer having conjugated π electrons. Add
The oxidative polymerization reaction was carried out with stirring at room temperature. After 15 hours, the reaction solution was poured into 500 ml of water to terminate the oxidative polymerization reaction.

【0048】混合液をそのまま静置して、表面にポリピ
ロール被覆層を有するシリカ微粒子を沈降させた。沈降
後上澄み液を除去し、メタノール:水=1:1(体積
比)混合液500mlを洗浄液として添加し撹拌して、ポ
リピロール被覆シリカ微粒子を洗浄液中に分散させた。
ついでポリピロール被覆シリカ微粒子の沈降、上澄み液
の除去の一連の操作を6回行うことにより洗浄を行っ
た。洗浄溶媒をメタノールに置換した後、自然乾燥し、
さらに80℃で1時間加熱してメタノールを蒸発させて
乾燥を行った。このようにして得られたポリピロール被
覆シリカ微粒子は、走査型電子顕微鏡観察によると、個
々の粒子間に合着はなく、粒子径は5.49μm(粒度
分布のCV値:1.20%)で、ポリピロールが0.2
0μmの厚さで均一に被覆されていた。
The mixed liquid was allowed to stand as it was, to precipitate fine silica particles having a polypyrrole coating layer on the surface. After settling, the supernatant was removed, and 500 ml of a mixed solution of methanol: water = 1: 1 (volume ratio) was added as a washing solution and stirred to disperse the polypyrrole-coated silica fine particles in the washing solution.
Then, the polypyrrole-coated silica fine particles were washed by performing a series of operations of sedimentation and removal of the supernatant liquid six times. After replacing the washing solvent with methanol, air-dry,
Further, it was heated at 80 ° C. for 1 hour to evaporate methanol for drying. According to the scanning electron microscope observation, the polypyrrole-coated silica fine particles thus obtained have no coalescence between individual particles and have a particle diameter of 5.49 μm (CV value of particle size distribution: 1.20%). , Polypyrrole is 0.2
It was uniformly coated with a thickness of 0 μm.

【0049】さらに、四端子法により電導度を測定した
ところ、2.5×10-1S/cmであり、この導電性微
粒子を用いて異方導電膜を作製したところ、優れた異方
導電性を示した。
Further, the electric conductivity was measured by the four-terminal method and found to be 2.5 × 10 -1 S / cm. When an anisotropic conductive film was prepared using the conductive fine particles, excellent anisotropic conductivity was obtained. Showed sex.

【0050】実施例3 (1)アリルシラン系カップリング剤によるシリカ粒子
の表面処理 内容積1リットルのフラスコに粒度分布が単分散のシリ
カ微粒子(平均粒径6.51μm、CV値0.8%、個
々の粒子は実質的に真球)50g(全表面積=30.4
2)を入れ、これにイソプロピルアルコール315g
を加えた後、超音波振動を利用して前記シリカ微粒子を
よく分散させた。この分散液にメタノール315gを添
加した後、液温40℃に保ちつつ15分間撹拌し、続い
て25wt%アンモニア水125gを添加してさらに液
温40℃で15分間撹拌して混合液を得た。この混合液
に、アリル基を持つシランカップリング剤の一つである
アリルトリメトキシシラン10.22g(0.050モ
ル)とアルコキシシランの一つであるテトラエトキシシ
ラン1.04g(0.005モル)との混合溶液を10
分かけて添加した。添加終了後、得られた溶液の液温を
60℃にまで昇温させ、当該溶液を10時間撹拌しなが
らシリカ微粒子の表面処理を行った。
Example 3 (1) Surface Treatment of Silica Particles with Allylsilane Coupling Agent In a flask having an inner volume of 1 liter, silica fine particles having a monodispersed particle size distribution (average particle size 6.51 μm, CV value 0.8%, Individual particles are substantially spherical) 50g (total surface area = 30.4)
m 2 ), and 315 g of isopropyl alcohol
Then, the silica fine particles were well dispersed by utilizing ultrasonic vibration. After adding 315 g of methanol to this dispersion liquid, stirring was performed for 15 minutes while maintaining the liquid temperature at 40 ° C., subsequently 125 g of 25 wt% ammonia water was added, and further stirred for 15 minutes at the liquid temperature of 40 ° C. to obtain a mixed liquid. . In this mixed solution, 10.22 g (0.050 mol) of allyltrimethoxysilane, which is one of silane coupling agents having an allyl group, and 1.04 g (0.005 mol of tetraethoxysilane, which is one of alkoxysilanes). ) Mixed solution with 10
Added over minutes. After the addition was completed, the liquid temperature of the obtained solution was raised to 60 ° C., and the surface treatment of the silica fine particles was performed while stirring the solution for 10 hours.

【0051】表面処理終了後、溶液を静置してシリカ微
粒子を沈降させ、上澄み液を除去して沈降微粒子を得
た。この沈降微粒子についてメタノール中で沈降、デカ
ンテーションを繰り返すことで当該沈降微粒子の洗浄を
行い、メタノールを除去した後に150℃のオーブンで
1時間加熱乾燥した。
After completion of the surface treatment, the solution was allowed to stand to precipitate silica fine particles, and the supernatant was removed to obtain precipitated fine particles. The precipitated fine particles were washed by repeating precipitation and decantation in methanol, and after removing the methanol, the particles were heated and dried in an oven at 150 ° C. for 1 hour.

【0052】このようにして得られた表面処理後のシリ
カ微粒子では、これを構成する個々のシリカ微粒子表面
にアリル基が導入されており、各シリカ微粒子は撥水性
を示した。シリカ微粒子表面にアリル基が導入されてい
ることは、赤外吸収スペクトルの測定でビニル基の吸収
が認められたことより裏付けられた。
In the silica fine particles after the surface treatment thus obtained, allyl groups were introduced on the surface of the individual silica fine particles constituting the silica fine particles, and each silica fine particle exhibited water repellency. The introduction of the allyl group on the surface of the silica fine particles was confirmed by the fact that the absorption of vinyl group was observed by the measurement of the infrared absorption spectrum.

【0053】(2)ポリアニリン被覆シリカ微粒子の製
造 分散安定剤であるポリビニルピロリドンK−90(和光
純薬工業:分子量40万)10gを1.2N塩酸水溶液
500mlによく溶解させた溶液に、(1)で得られた
アリル基導入シリカ微粒子を添加し、超音波振動を与え
アリル基導入シリカをよく分散させて分散液を得た。こ
の分散溶液に酸化剤としてペルオキソ二硫酸アンモニウ
ム2.5g(0.011)モルを加えてよく撹拌したの
ち、共役π電子を有するポリマーを形成し得るモノマー
としてアニリン1g(0.011モル)を添加し、室温
で撹拌しながら酸化重合を行った。2時間後反応液を水
500mlに注ぎ酸化重合を終了させた。混合液をその
まま静置して、表面にポリアニリン被覆層を有するシリ
カ微粒子を沈降させた。沈降後、上澄み液を除去し、メ
タノール:水=1:1(体積比)混合溶液を洗浄溶液と
して添加し撹拌して、前記粒子を洗浄液中に分散させ
た。ついで、ポリアニリン被覆シリカ微粒子の沈降、上
澄み液の除去の一連の操作を5回行うことにより洗浄を
行った。洗浄液をメタノールに置換した後、この洗浄溶
媒を蒸発させて乾燥を行った(乾燥条件:自然乾燥後、
80℃で1時間加熱)。このようにして得られたポリア
ニリン被覆シリカは、走査型電子顕微鏡観察によると、
個々の粒子間に合着はなく、粒子径は6.75μm(粒
度分布のCV値:1.32%)でポリアニリンが0.1
2μmの厚みで均一に被覆されていた。
(2) Production of Polyaniline-Coated Silica Fine Particles 10 g of polyvinylpyrrolidone K-90 (Wako Pure Chemical Industries, Ltd., molecular weight 400,000), which is a dispersion stabilizer, was dissolved in 500 ml of 1.2N hydrochloric acid aqueous solution to give a solution (1 ) The allyl group-introduced silica fine particles obtained in step 1) were added, and ultrasonic vibration was applied to well disperse the allyl group-introduced silica to obtain a dispersion. To this dispersion solution, 2.5 g (0.011) mol of ammonium peroxodisulfate was added as an oxidizing agent and stirred well, and then 1 g (0.011 mol) of aniline was added as a monomer capable of forming a polymer having conjugated π electrons. Oxidation polymerization was carried out while stirring at room temperature. After 2 hours, the reaction solution was poured into 500 ml of water to complete the oxidative polymerization. The mixed liquid was allowed to stand as it was, and the silica fine particles having the polyaniline coating layer on the surface were allowed to settle. After settling, the supernatant was removed, and a mixed solution of methanol: water = 1: 1 (volume ratio) was added as a washing solution and stirred to disperse the particles in the washing solution. Then, washing was performed by performing a series of operations of sedimentation of the polyaniline-coated silica fine particles and removal of the supernatant liquid 5 times. After replacing the washing liquid with methanol, the washing solvent was evaporated to dry (drying condition: after natural drying,
Heat at 80 ° C for 1 hour). The polyaniline-coated silica thus obtained was observed by a scanning electron microscope,
There was no coalescence between individual particles, the particle size was 6.75 μm (CV value of particle size distribution: 1.32%), and polyaniline was 0.1%.
It was uniformly coated with a thickness of 2 μm.

【0054】さらに、四端子法により電導度を測定した
ところ、4.8×10-3S/cmであり、この導電性微
粒子を用いて異方導電膜を作製したところ、優れた異方
導電性を示した。
Further, the electric conductivity was measured by the four-terminal method and found to be 4.8 × 10 −3 S / cm. An anisotropic conductive film was prepared using these conductive fine particles, and it was found that excellent anisotropic conductivity was obtained. Showed sex.

【0055】比較例 重合性官能基を有するシラン系カップリング剤を用いず
にアルコキシシランとしてメチルトリエトキシシランの
みを用いたこと以外は実施例1の(1)と同様の方法
で、表面処理したシリカ微粒子を作製した。得られた表
面処理シリカ微粒子を用いて、実施例1の(2)と同様
の方法で、アニリンの酸化重合を行なった。その結果、
得られたシリカ微粒子は、走査型電子顕微鏡観察による
と、平均粒子径は5.2μmであり、シリカ微粒子の表
面には全くポリアニリンが被覆されていないことが明ら
かとなった。
Comparative Example Surface treatment was carried out in the same manner as in (1) of Example 1 except that only methyltriethoxysilane was used as the alkoxysilane without using the silane coupling agent having a polymerizable functional group. Silica fine particles were prepared. Using the obtained surface-treated silica fine particles, aniline was subjected to oxidative polymerization in the same manner as in (2) of Example 1. as a result,
The obtained silica fine particles were observed by a scanning electron microscope to have an average particle diameter of 5.2 μm, and it was revealed that the surface of the silica fine particles was not coated with polyaniline at all.

【0056】さらに、四端子法により電導度を測定した
ところ、3.7×10-13S/cmと絶縁性を示し、こ
の導電性微粒子を用いて異方導電膜を作製することは不
可能であった。
Further, when the electric conductivity was measured by the four-terminal method, it showed an insulating property of 3.7 × 10 -13 S / cm, and it is impossible to produce an anisotropic conductive film using these conductive fine particles. Met.

【0057】[0057]

【発明の効果】本発明によれば、粒径精度、導電性に優
れた高強度・高硬度・高耐久性の新規な導電性微粒子お
よびその製造方法が提供された。
EFFECTS OF THE INVENTION According to the present invention, there are provided a novel conductive fine particle having high strength, high hardness and high durability which is excellent in particle size accuracy and conductivity, and a method for producing the same.

─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成7年10月2日[Submission date] October 2, 1995

【手続補正1】[Procedure Amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0014[Correction target item name] 0014

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0014】なお変動係数(CV値)は下式により求め
られる。 CV値(%)=(粒径の標準偏差)÷(平均粒径)×
00 上記金属酸化物球状粒子を表面処理するための重合性官
能基を有するシラン系カップリング剤(以下、シラン系
カップリング剤と略記する)としては、金属酸化物の表
面にビニル基、アリル基、アクリロイル基、メタクリロ
イル基、グリシドキシ基等の重合性官能基を導入するこ
とができるものであればいずれでもよい。その具体例と
してはトリメトキシビニルシラン、トリエトキシビニル
シラン、アリルメトキシシラン、アリルトリエトキシシ
ラン、ビニルトリス(βーメトキシエトキシ)シラン、
メチルビニルジクロロシラン、γー(メタ)アクリルオ
キシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリクロルシ
ラン、ビニルトリス(βーメトキシ)シラン、γーメタ
クリロキシプロピルトリメトキシシラン、Nーβ(Nー
ビニルベンジルアミノエチル)ーγーアミノプロピルト
リメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、γー
メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン等のビ
ニルシラン系カップリング剤;β−(3,4−エポキシ
シクロヘキシル)エチルトリエトキシシラン、γ−グリ
シドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキ
シプロピルメチルジメトキシシラン、メチルトリ(グリ
シジルオキシ)シラン等のエポキシシラン系カップリン
グ剤等が挙げられる。重合性官能基を有するシラン系カ
ップリング剤は1種類のみでもよいし、複数種であって
も良い。
The coefficient of variation (CV value) is obtained by the following equation. CV value (%) = (standard deviation of particle size) ÷ (average particle size) × 1
The silane coupling agent having a polymerizable functional group for surface-treating the metal oxide spherical particles (hereinafter, abbreviated as silane coupling agent) is a vinyl group or an allyl group on the surface of the metal oxide. Any one that can introduce a polymerizable functional group such as an acryloyl group, a methacryloyl group, and a glycidoxy group may be used. Specific examples thereof include trimethoxyvinylsilane, triethoxyvinylsilane, allylmethoxysilane, allyltriethoxysilane, vinyltris (β-methoxyethoxy) silane,
Methylvinyldichlorosilane, γ- (meth) acryloxypropyltrimethoxysilane, vinyltrichlorosilane, vinyltris (β-methoxy) silane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, N-β (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ -Aminopropyltrimethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, γ-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane, and other vinylsilane coupling agents; β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropyltri Examples thereof include epoxysilane coupling agents such as methoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, and methyltri (glycidyloxy) silane. The silane coupling agent having a polymerizable functional group may be only one kind or plural kinds.

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 重合性官能基を有するシラン系カップリ
ング剤で表面処理された金属酸化物からなる球状粒子の
表面に共役π電子を有するポリマーの層が被覆されてい
ることを特徴とする導電性微粒子。
1. A conductive material characterized in that a layer of a polymer having conjugated π electrons is coated on the surface of a spherical particle made of a metal oxide surface-treated with a silane coupling agent having a polymerizable functional group. Fine particles.
【請求項2】 金属酸化物がシリカである、請求項1に
記載の導電性微粒子。
2. The conductive fine particles according to claim 1, wherein the metal oxide is silica.
【請求項3】 共役π電子を有するポリマーが式 Rx−C6(5-x)−NH(R1) (I) (式中、Rは芳香環のオルト位および/またはメタ位に
置換されたC1〜C18アルキル基またはハロゲン原子で
あり、xはRの数を示し、0〜4であり、R1は水素ま
たはC1〜C18アルキル基である)で示されるアニリン
またはその誘導体を重合して得た重合体、または式 【化1】 (式中、R2、R3はそれぞれ独立に水素、C1〜C18
ルキル基、C1〜C18アルコキシ基またはハロゲン原子
であり、XはNH基、硫黄または酸素原子である)で示
されるピロール、チオフェン、フランまたはその誘導体
を重合して得た重合体である、請求項1に記載の導電性
微粒子。
3. A polymer having conjugated π electrons has the formula R x —C 6 H (5-x) —NH (R 1 ) (I) (wherein R is at the ortho and / or meta position of the aromatic ring). A substituted C 1 -C 18 alkyl group or a halogen atom, x represents the number of R, is 0 to 4, and R 1 is hydrogen or a C 1 -C 18 alkyl group); A polymer obtained by polymerizing the derivative, or a compound of the formula: (In the formula, R 2 and R 3 are each independently hydrogen, a C 1 to C 18 alkyl group, a C 1 to C 18 alkoxy group or a halogen atom, and X is an NH group, a sulfur or an oxygen atom) The conductive fine particles according to claim 1, which is a polymer obtained by polymerizing pyrrole, thiophene, furan or a derivative thereof.
【請求項4】 重合性官能基を有するシラン系カップリ
ング剤で表面処理された金属酸化物からなる球状粒子を
含む分散液に、共役π電子を有するポリマーを形成し得
るモノマーを加え、酸化重合させて、金属酸化物からな
る球状粒子の表面に共役π電子を有するポリマー層を形
成させることを特徴とする請求項1に記載の導電性微粒
子の製造方法。
4. An oxidative polymerization is carried out by adding a monomer capable of forming a polymer having conjugated π electrons to a dispersion liquid containing spherical particles made of a metal oxide surface-treated with a silane coupling agent having a polymerizable functional group. The method for producing conductive fine particles according to claim 1, wherein a polymer layer having conjugated π electrons is formed on the surface of the spherical particles made of metal oxide.
【請求項5】 金属酸化物がシリカである、請求項4に
記載の方法。
5. The method of claim 4, wherein the metal oxide is silica.
【請求項6】 金属酸化物からなる球状粒子を含む分散
液が分散安定剤を含む、請求項4に記載の方法。
6. The method according to claim 4, wherein the dispersion containing the spherical particles of metal oxide contains a dispersion stabilizer.
【請求項7】 共役π電子を有するポリマーを形成し得
るモノマーが式 Rx−C6(5-x)−NH(R1) (I) (式中、Rは芳香環のオルト位および/またはメタ位に
置換されたC1〜C18アルキル基またはハロゲン原子で
あり、xはRの数を示し、0〜4であり、R1は水素ま
たはC1〜C18アルキル基である)で示されるアニリン
またはその誘導体、または式 【化2】 (式中、R2、R3はそれぞれ独立に水素、C1〜C18
ルキル基、C1〜C18アルコキシ基またはハロゲン原子
であり、XはNH基、硫黄または酸素原子である)で示
されるピロール、チオフェン、フランまたはその誘導体
である、請求項4に記載の方法。
7. A monomer capable of forming a polymer having a conjugated π electron has a formula R x —C 6 H (5-x) —NH (R 1 ) (I) (wherein R is an ortho position of an aromatic ring and And / or a C 1 -C 18 alkyl group substituted in the meta position or a halogen atom, x represents the number of R, is 0 to 4, and R 1 is hydrogen or a C 1 to C 18 alkyl group) An aniline represented by: or a derivative thereof, or a compound represented by the formula: (In the formula, R 2 and R 3 are each independently hydrogen, a C 1 to C 18 alkyl group, a C 1 to C 18 alkoxy group or a halogen atom, and X is an NH group, a sulfur or an oxygen atom) The method according to claim 4, which is pyrrole, thiophene, furan or a derivative thereof.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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