DE102012204796A1 - Camera system for microscope has control unit to apply antiphase mechanical vibrations and/or change movement of cooling element in dependence of oscillating signal to reduce undesirable mechanical vibrations - Google Patents

Camera system for microscope has control unit to apply antiphase mechanical vibrations and/or change movement of cooling element in dependence of oscillating signal to reduce undesirable mechanical vibrations Download PDF

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    • H04N23/685—Vibration or motion blur correction performed by mechanical compensation

Abstract

The camera system has an image sensor (6) and a cooling device (7) for cooling the image sensor. The cooling device has a moving cooling element (14). A sensor (8) measures the undesired mechanical vibrations in the camera system, and outputs a corresponding oscillation signal. A control unit (9) applies antiphase mechanical vibrations and/or changes the movement of the cooling element in dependence of the oscillating signal to reduce the undesirable mechanical vibrations which are caused by moving the cooling element. An independent claim is included for method for cooling camera system.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Kamerasystem mit einem Bildsensor und einer Kühleinrichtung zum Kühlen des Bildsensors, wobei die Kühleinrichtung ein bewegtes Kühlelement enthält, das unerwünschte mechanische Schwingungen im Kamerasystem erzeugt, sowie ein Verfahren zur Kühlung eines solchen Kamerasystems. The present invention relates to a camera system with an image sensor and a cooling device for cooling the image sensor, wherein the cooling device includes a moving cooling element that generates unwanted mechanical vibrations in the camera system, and a method for cooling such a camera system.

Die Kühlung des Bildsensors, der beispielsweise ein CCD- oder ein CMOS-Sensor sein kann, dient dazu, den im Bildsensor entstehenden unerwünschten Dunkelstrom zu verringern. The cooling of the image sensor, which may be a CCD or a CMOS sensor, for example, serves to reduce the unwanted dark current generated in the image sensor.

Es sind zwar passive Kühlsysteme bekannt, die keine unerwünschten mechanischen Schwingungen im Kamerasystem erzeugen. Jedoch weisen diese passiven Kühlsysteme große Kühlflächen auf, so daß ein hoher Platzbedarf vorliegt, und besteht die Schwierigkeit, daß die erforderliche Kühltemperatur von z.B. –30°C zur effektiven Unterdrückung des Dunkelstroms des Bildsensors nicht erreicht werden kann. Bei der heutigen Tendenz, immer kompaktere Kamerasysteme zur Verfügung zu stellen, ist dies nachteilig. Ferner sind auch Kühleinrichtungen mit flüssigen Kühlmitteln bekannt, die jedoch sehr platzintensiv und zusätzliche Kosten verursachen, da auch noch eine Pumpe zum Pumpen des Kühlmittels notwendig ist. Although passive cooling systems are known which do not generate unwanted mechanical vibrations in the camera system. However, these passive cooling systems have large cooling surfaces, so that a large space is required, and there is the difficulty that the required cooling temperature of e.g. -30 ° C can not be achieved for the effective suppression of the dark current of the image sensor. With today's tendency to provide ever more compact camera systems, this is disadvantageous. Furthermore, cooling devices with liquid coolants are also known, but they are very space-consuming and cause additional costs, since a pump for pumping the coolant is also necessary.

Des weiteren ist es bekannt, das sich bewegende Kühlelement, das z.B. ein Lüfter ist, mechanisch vom Kamerasystem zu trennen und den vom Lüfter erzeugten Luftstrom über einen leichten Schlauch zum Kamerasystem zu leiten, so daß möglichst keine Schwingungen übertragen werden. Dies führt jedoch wiederum nachteilig dazu, daß der Platzbedarf erhöht ist und häufig auch eine mechanische Modifikation am Kamerasystem notwendig ist. Furthermore, it is known to use the moving cooling element, e.g. a fan is to mechanically disconnect from the camera system and direct the airflow generated by the fan via a light tube to the camera system, so that as possible no vibrations are transmitted. However, this in turn leads to a disadvantage that the space requirement is increased and often a mechanical modification to the camera system is necessary.

Bei einem Kamerasystem der eingangs genannten Art kann zwar in kompakter Weise eine ausgezeichnete Kühlung des Bildsensors bereitgestellt werden. Durch die vom bewegten bzw. aktiven Kühlelement erzeugten unerwünschten mechanischen Schwingungen im Kamerasystem, die sich bis zur untersuchenden Probe und/oder bis zum Bildsensor übertragen können, werden in nachteiliger Weise die mittels dem Bildsensor durchgeführten Aufnahmen qualitativ schlechter. So kann eine laterale Verschiebung der Probe um mehrere Pixel des Bildsensors auftreten, die zu unscharfen oder verschmierten Aufnahmen führen kann oder die, sofern die Belichtungszeit kürzer als die Schwingung der Probe ist, z.B. als örtliche Oszillation der Probe bei einer Zeitreihenaufnahme sichtbar wird. Bei Mehrkanalaufnahmen, bei denen verschiedene Fluoreszenzkanäle sequentiell aufgenommen und dann übergelagert werden, ergeben sich dadurch starke Artefakte, die zu Fehlinterpretationen (z.B. nicht vorhandene oder falsche Colokalisation von Fluorochromen) führen können. Besonders im Life Cell Imaging bei lebenden Zellen in Nährlösungen oder z.B. bei Bildaufnahmen mit Laserscannern ist dies sehr störend, da die Klarheit der Abbildung gestört (das Bild verschwimmt) und die Auflösung der Bilder deutlich reduziert ist. In a camera system of the type mentioned above, although excellent cooling of the image sensor can be provided in a compact manner. Due to the unwanted mechanical vibrations generated by the moving or active cooling element in the camera system, which can be transmitted to the examining sample and / or to the image sensor, the images taken by the image sensor are disadvantageously qualitatively inferior. Thus, a lateral displacement of the sample by several pixels of the image sensor may occur, which may lead to blurred or smeared images or, if the exposure time is shorter than the vibration of the sample, e.g. as a local oscillation of the sample in a time series recording is visible. In multichannel imaging, where different fluorescence channels are sequentially acquired and then overlaid, this results in strong artifacts that can lead to misinterpretation (e.g., absent or incorrect colocalization of fluorochromes). Especially in life cell imaging of living cells in nutrient solutions or e.g. This is very annoying when taking pictures with laser scanners because the clarity of the picture is disturbed (the picture is blurred) and the resolution of the pictures is significantly reduced.

Ferner werden die unerwünschten mechanischen Schwingungen häufig von einem Benutzer des Kamerasystems akustisch wahrgenommen, was als störend empfunden werden kann. Furthermore, the unwanted mechanical vibrations are often acoustically perceived by a user of the camera system, which can be perceived as disturbing.

Ausgehend hiervon ist es Aufgabe der Erfindung, ein Kamerasystem der eingangs genannten Art so weiterzubilden, daß die beschriebenen Nachteile möglichst vollständig behoben werden können. Ferner soll ein Verfahren zur Kühlung eines Kamerasystems der eingangs genannten Art so verbessert werden, daß dem die beschriebenen Probleme möglichst vollständig behoben werden können. Based on this, it is an object of the invention to provide a camera system of the type mentioned in such a way that the disadvantages described can be completely eliminated as possible. Furthermore, a method for cooling a camera system of the type mentioned is to be improved so that the problems described can be completely eliminated as possible.

Die Aufgabe wird bei einem Kamerasystem der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß das Kamerasystem einen ersten Sensor zur Messung der unerwünschten mechanischen Schwingungen, der ein entsprechendes Schwingungssignal ausgibt, und eine Steuereinheit aufweist, die in Abhängigkeit des Schwingungssignals das Kamerasystem mit den zu den gemessenen Schwingungen gegenphasigen Schwingungen beaufschlagt und/oder eine Änderung der Bewegung des Kühlelementes bewirkt, um die mechanischen Schwingungen im Kamerasystem, die vom bewegten Kühlelement verursacht sind, zu reduzieren. The object is achieved in a camera system of the type mentioned above in that the camera system has a first sensor for measuring the unwanted mechanical vibrations, which outputs a corresponding vibration signal, and a control unit which, depending on the vibration signal, the camera system with the measured vibrations subjected to antiphase oscillations and / or causes a change in the movement of the cooling element to reduce the mechanical vibrations in the camera system, which are caused by the moving cooling element.

Bei dem erfindungsgemäßen Kamerasystem kann somit durch die Beaufschlagung von gegenphasigen Schwingungen und/oder durch Änderung der Bewegung des Kühlelementes eine Reduzierung der vom Kühlelement verursachten unerwünschten mechanischen Schwingungen erreicht werden, wodurch die beschriebenen Schwierigkeiten (Störung bei Bildaufnahme und/oder akustische Störung des Benutzers) vermindert sind. Die Probe und/oder der Bildsensor werden bzw. wird somit nicht mehr so stark oder gar nicht mehr mit mechanischen Schwingungen beaufschlagt, so daß die durchgeführten Aufnahmen qualitativ besser sind. Zusätzlich oder alternativ können die akustischen Störungen reduziert werden. In the camera system according to the invention can thus be achieved by the application of antiphase oscillations and / or by changing the movement of the cooling element, a reduction of the cooling element caused unwanted mechanical vibrations, thereby reducing the difficulties described (interference with image acquisition and / or acoustic interference of the user) are. The sample and / or the image sensor are or will not be so strong or no longer subjected to mechanical vibrations, so that the recordings performed are qualitatively better. Additionally or alternatively, the acoustic interference can be reduced.

Der erste Sensor kann insbesondere als Beschleunigungssensor ausgebildet sein. Der Beschleunigungssensor kann ein zweidimensionaler oder dreidimensionaler Beschleunigungssensor sein. Solche Beschleunigungssensoren können z.B. als MEMS-Sensor (Micro-Electro-Mechanical-Sensor bzw. Mikrosystem-Sensor) ausgebildet sein. Dabei handelt es sich um äußerst kleine und kostengünstige Sensoren, mit denen die mechanischen Schwingungen leicht und genau gemessen werden können. Ferner kann der erste Sensor z.B. als Piezoelement, Mikrophon, etc. ausgebildet sein. The first sensor may be designed in particular as an acceleration sensor. The acceleration sensor may be a two-dimensional or three-dimensional acceleration sensor. Such acceleration sensors can be designed, for example, as a MEMS sensor (micro-electro-mechanical sensor or microsystem sensor). These are extremely small and inexpensive sensors with which the mechanical Vibrations can be measured easily and accurately. Furthermore, the first sensor can be designed, for example, as a piezo element, microphone, etc.

Bei dem erfindungsgemäßen Kamerasystem kann der erste Sensor zusammen mit der Steuereinheit als Regelungseinheit ausgebildet sein, die die gewünschte Reduzierung der vom bewegten Kühlelement erzeugten unerwünschten mechanischen Schwingungen und somit quasi eine Vibrationsdämpfung durchführt. In the camera system according to the invention, the first sensor may be formed together with the control unit as a control unit, which performs the desired reduction of the unwanted mechanical vibrations generated by the moving cooling element and thus virtually a vibration damping.

Der erste Sensor ist bevorzugt nahe an dem bewegten Kühlelement positioniert. So kann der erste Sensor beispielsweise an einem Halter oder einem Gehäuse des bewegten Kühlelementes positioniert sein. The first sensor is preferably positioned close to the moving cooling element. For example, the first sensor may be positioned on a holder or a housing of the moving cooling element.

Des weiteren kann das erfindungsgemäße Kamerasystem einen zweiten Sensor zur Messung der unerwünschten mechanischen Schwingungen aufweisen. Es ist auch möglich, noch weitere Sensoren zur Messung der unerwünschten mechanischen Schwingungen vorzusehen. Damit können dann z.B. an verschiedenen Stellen des erfindungsgemäßen Kamerasystems die erzeugten unerwünschten mechanischen Schwingungen gemessen werden, so daß diese Messungen alle dazu genutzt werden können, um mittels der Steuereinheit eine ausgezeichnete Reduzierung der unerwünschten mechanischen Schwingungen zu bewirken (mittels der Beaufschlagung der gegenphasigen mechanischen Schwingungen und/oder der Änderung der Bewegung des Kühlelementes). Durch die zumindest zwei Sensoren liegen somit zumindest zwei verschiedene Meßpunkte vor, an denen die unerwünschten mechanischen Schwingungen gemessen werden können, was zu einer verbesserten Reduzierung dieser unerwünschten mechanischen Schwingung genutzt werden kann. Furthermore, the camera system according to the invention may have a second sensor for measuring the unwanted mechanical vibrations. It is also possible to provide even more sensors for measuring the unwanted mechanical vibrations. This can then be used e.g. at various points of the camera system according to the invention, the generated unwanted mechanical vibrations are measured, so that these measurements can all be used to cause by means of the control unit an excellent reduction of unwanted mechanical vibrations (by applying the antiphase mechanical vibrations and / or the change the movement of the cooling element). As a result of the at least two sensors, there are thus at least two different measuring points at which the unwanted mechanical vibrations can be measured, which can be used to improve the reduction of this undesired mechanical oscillation.

Die Änderung der Bewegung des Kühlelementes kann nicht nur in Abhängigkeit des Schwingungssignals sondern zusätzlich auch in Abhängigkeit der Temperatur durchgeführt werden. Dazu kann insbesondere ein Temperatursensor zur Temperaturmessung vorgesehen sein. Dieser kann am Bildsensor, nahe am Bildsensor oder an einer sonstigen geeigneten Stelle am oder nahe dem Kamerasystem angeordnet sein. The change in the movement of the cooling element can be carried out not only in response to the vibration signal but also in dependence on the temperature. For this purpose, in particular, a temperature sensor may be provided for temperature measurement. This can be arranged on the image sensor, close to the image sensor or at any other suitable location on or near the camera system.

Bei dem bewegten Kühlelement kann es sich um einen Lüfter handeln. The moving cooling element may be a fan.

Die Steuereinheit kann insbesondere so ausgebildet sein, daß für verschiedene Temperaturen verschiedene Drehzahlbereiche vorgegeben sind und die Steuereinheit in Abhängigkeit der Temperatur und in Abhängigkeit des Schwingungssignales die Drehzahl einstellt, die noch in dem vorgegebenen Drehzahlbereich liegt und die beste Verringerung der durch das Kühlelement verursachten mechanischen Schwingungen bewirkt. The control unit may in particular be designed so that different speed ranges are predetermined for different temperatures and the control unit adjusts the speed depending on the temperature and in dependence of the vibration signal, which is still in the predetermined speed range and the best reduction caused by the cooling element mechanical vibrations causes.

Insbesondere kann die Steuereinheit die Bewegung des Kühlelementes so ändern, daß die durch das Kühlelement bewirkten mechanischen Schwingungen eine Frequenz aufweisen, die sich von der Eigenfrequenz des Kamerasystems unterscheidet. Auch bei dieser Änderung der Bewegung kann noch die gemessene Temperatur berücksichtigt werden. In particular, the control unit may change the movement of the cooling element so that the caused by the cooling element mechanical vibrations have a frequency which is different from the natural frequency of the camera system. Even with this change of movement, the measured temperature can still be taken into account.

Die Steuereinheit kann einen oder mehrere Aktuatoren aufweisen, der bzw. die mit dem Kamerasystem mechanisch verbunden oder gekoppelt ist bzw. sind, wobei die Steuereinheit mittels dem Aktuator bzw. den Aktuatoren die gegenphasigen mechanischen Schwingungen an das Kamerasystem anlegt. The control unit may include one or more actuators that are mechanically connected or coupled to the camera system, the control unit applying the antiphase mechanical vibrations to the camera system via the actuator (s).

Bei dem Aktuator bzw. den Aktuatoren kann es sich z.B. um einen elektromagnetischen Schwinger oder ein Piezo-Stellglied handeln. The actuator (s) may be e.g. to act an electromagnetic oscillator or a piezo actuator.

Zumindest ein Aktuator ist bevorzugt nahe am bewegten Kühlelement positioniert. So kann der Aktuator beispielsweise an einem Halter oder einem Gehäuse des bewegten Kühlelementes positioniert sein. Dadurch kann das Kamerasystem mit den gegenphasigen mechanischen Schwingungen quasi am Ort der Entstehung der unerwünschten mechanischen Schwingungen beaufschlagt werden, so daß eine ausgezeichnete Reduzierung der unerwünschten mechanischen Schwingungen erreicht und eine Ausbreitung der unerwünschten mechanischen Schwingungen auf weitere Teile oder Komponente des Kamerasystems effektiv verhindert werden kann. Der bzw. die Aktuatoren können auch an anderen Stellen, die vom Kühlelement beabstandet sind, angeordnet sein. At least one actuator is preferably positioned close to the moving cooling element. For example, the actuator can be positioned on a holder or a housing of the moving cooling element. As a result, the camera system can be subjected to the antiphase mechanical vibrations virtually at the place of origin of the unwanted mechanical vibrations, so that an excellent reduction of unwanted mechanical vibrations can be achieved and a propagation of the unwanted mechanical vibrations to other parts or components of the camera system can be effectively prevented. The actuator (s) may also be located at other locations spaced from the cooling element.

Unter einer gegenphasigen mechanischen Schwingung wird insbesondere eine solche Schwingung verstanden, die um 180° phasenverschoben ist zu den vom Kühlelement verursachten mechanischen Schwingungen. Bei dieser Phasenverschiebung kann natürlich noch die Stelle der Einkopplung der gegenphasigen mechanischen Schwingungen berücksichtigt werden. Wesentlich ist, die gegenphasigen mechanischen Schwingungen so zu erzeugen und an das Kamerasystem anzulegen, daß die gewünschte Dämpfung eintritt. An antiphase mechanical oscillation is understood in particular to mean such a vibration which is phase-shifted by 180 ° with respect to the mechanical vibrations caused by the cooling element. In this phase shift, of course, the point of coupling the antiphase mechanical vibrations can be considered. It is essential to generate the antiphase mechanical vibrations so and apply to the camera system that the desired attenuation occurs.

Wenn das erfindungsgemäße Kamerasystem an ein anderes System, wie z.B. ein Mikroskop, angeschlossen ist, führt die erfindungsgemäße Messung der unerwünschten mechanischen Schwingungen zusammen mit der aktiven Kompensation dieser unerwünschten mechanischen Schwingungen mittels der Steuereinheit zu dem großen Vorteil, daß bei der Messung der unerwünschten mechanischen Schwingungen das Gesamtsystem (das andere System mit angeschlossenem erfindungsgemäßen Kamerasystem) bzw. dessen Resonanz gemessen und so geregelt wird, daß die unerwünschten mechanischen Schwingungen des Gesamtsystems kompensiert werden. When the camera system according to the invention is connected to another system, such as a microscope, the measurement according to the invention of the unwanted mechanical vibrations together with the active compensation of these unwanted mechanical vibrations by means of the control unit leads to the great advantage that when measuring the unwanted mechanical vibrations the whole system (the other System with connected camera system according to the invention) or its resonance is measured and regulated so that the unwanted mechanical vibrations of the entire system can be compensated.

Da bei dem erfindungsgemäßen Kamerasystem die mechanischen Schwingungen mittels dem ersten Sensor (und gegebenenfalls mittels weiterer Sensoren) gemessen werden, können auch etwaige Alterungseffekte oder Toleranzen des bewegten Kühlelementes, die häufig auftreten, in breiten Grenzen kompensiert oder ausgeregelt werden. Since in the camera system according to the invention, the mechanical vibrations are measured by means of the first sensor (and optionally by means of other sensors), also any aging effects or tolerances of the moving cooling element, which often occur, can be compensated or compensated within wide limits.

Bei dem erfindungsgemäßen Kamerasystem kann dazu der erste Sensor (und gegebenenfalls der oder die weiteren Sensoren) z.B. laufend die unerwünschten mechanischen Schwingungen messen und laufend ein entsprechendes Schwingungssignal ausgeben und die Steuereinheit kann laufend das Kamerasystem mit den zu den gemessenen Schwingungen gegenphasigen mechanischen Schwingungen beaufschlagen und/oder die Änderung der Bewegung des Kühlelementes bewirken. In the case of the camera system according to the invention, the first sensor (and possibly the one or more other sensors) may be used, for example. continuously measure the unwanted mechanical vibrations and continuously output a corresponding vibration signal and the control unit can constantly act on the camera system with the opposite vibrations to the measured vibrations mechanical vibrations and / or cause the change of movement of the cooling element.

Insbesondere kann das erfindungsgemäße Kamerasystem als digitale Kamera oder als Mikroskopsystem (also z.B. Kamerasystem + Mikroskop) ausgebildet sein. Die Kameraeinheit, die zumindest den Bildsensor und die Kühleinrichtung enthält, kann mechanisch und/oder optisch mit dem Mikroskop verbunden sein. In particular, the camera system according to the invention can be designed as a digital camera or as a microscope system (that is, for example, a camera system + microscope). The camera unit, which contains at least the image sensor and the cooling device, can be mechanically and / or optically connected to the microscope.

Bei dem erfindungsgemäßen Kamerasystem kann das Kühlelement durch seine Bewegung einen Luftstrom zum Kühlen des Bildsensors erzeugen. Insbesondere kann die Kühlung des Bildsensors so durchgeführt sein, daß direkt am Bildsensor ein oder mehrere thermoelektrische Kühlelemente (beispielsweise ein oder mehrere Peltier-Elemente) positioniert ist bzw. sind, dessen bzw. deren Abwärme direkt durch den Luftstrom oder über einen Kühlkörper und dann mittels dem Luftstrom abgeführt wird. In the camera system according to the invention, the cooling element can generate an air flow for cooling the image sensor by its movement. In particular, the cooling of the image sensor can be carried out so that directly on the image sensor one or more thermoelectric cooling elements (for example, one or more Peltier elements) is positioned or whose waste heat directly through the air flow or a heat sink and then by means the air flow is discharged.

Die Kühleinrichtung kann bei dem erfindungsgemäßen Kamerasystem in engem thermischen Kontakt mit dem Bildsensor stehen. Insbesondere kann ein Element der Kühleinrichtung in engem oder direktem thermischen Kontakt mit dem Bildsensor stehen. So kann z.B. das thermoelektrische Kühlelement direkt oder möglichst nah am Bildsensor angeordnet sein. The cooling device may be in close thermal contact with the image sensor in the camera system according to the invention. In particular, an element of the cooling device may be in close or direct thermal contact with the image sensor. Thus, e.g. the thermoelectric cooling element may be arranged directly or as close as possible to the image sensor.

Mit dem erfindungsgemäßen Kamerasystem kann eine äußerst kleine Bauform des Kamerasystems ohne störende Anbauten, wie z.B. eine Wasserkühlung oder Schlauch zur Luftzuführung, realisiert werden. Insbesondere ist eine effektive Kühlung des Kamerasystems mit kleinen, schnellen Lüftern für eine hohe Empfindlichkeit durch geringen Dunkelstrom des Bildsensors möglich, da die vom Lüfter erzeugten mechanischen Schwingungen ausgezeichnet kompensiert werden können. With the camera system according to the invention, an extremely small design of the camera system without disturbing attachments, such. a water cooling or hose for air supply can be realized. In particular, an effective cooling of the camera system with small, fast fans for high sensitivity by low dark current of the image sensor is possible because the mechanical vibrations generated by the fan can be compensated excellently.

Dies führt auch zu dem Vorteil, daß die native Auflösung des Bildsensors sicher genutzt werden kann. Bei Mehrkanalaufnahmen ist dann eine exakte Registrierung der einzelnen Kanäle (beispielsweise Fluoreszenzkanäle) zueinander möglich, was zu einer hohen Meßgenauigkeit führt. This also leads to the advantage that the native resolution of the image sensor can be safely used. In multi-channel recordings then an exact registration of the individual channels (for example, fluorescence channels) to each other is possible, resulting in a high accuracy of measurement.

Insbesondere kann bei dem erfindungsgemäßen Kamerasystem die Eigenresonanz des Kamerasystems (also z.B. die Eigenresonanz vom gesamten Mikroskopsystem einschließlich angeschlossener Kameraeinheit) ermittelt und das Kühlelement so gesteuert werden, daß die Eigenresonanz vermindert wird. Ferner können Änderungen der Eigenresonanz des Kamerasystems, die durch mechanische Anbauten auftreten können, ermittelt und berücksichtigt werden. In particular, in the camera system according to the invention, the self-resonance of the camera system (that is to say the self-resonance of the entire microscope system including the connected camera unit) can be determined and the cooling element can be controlled such that the self-resonance is reduced. Furthermore, changes in the natural resonance of the camera system, which can occur due to mechanical attachments, can be determined and taken into account.

Auch ist es bei dem erfindungsgemäßen Kamerasystem unwesentlich, wie der Bildsensor (als z.B. ein den Bildsensor enthaltendes Kameramodul) montiert wird, da durch die Messung mittels dem ersten Sensor stets die tatsächlich erzeugten mechanischen Schwingungen gemessen werden und in Abhängigkeit davon die Schwingungsdämpfung in der beschriebenen Art und Weise durchgeführt wird. It is also immaterial in the camera system according to the invention, as the image sensor (as a camera sensor containing the image sensor) is mounted, as measured by the first sensor always the actually generated mechanical vibrations and depending on the vibration damping in the manner described and manner is performed.

Die Aufgabe wird bei einem Verfahren zur Kühlung eines Kamerasystems der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß die durch das Kühlelement bedingten unerwünschten mechanischen Schwingungen gemessen werden und in Abhängigkeit der gemessenen Schwingungen das Kamerasystem mit den zu den gemessenen Schwingungen gegenphasigen mechanischen Schwingungen beaufschlagt und/oder eine Änderung der Bewegung des Kühlelementes bewirkt wird, um die mechanischen Schwingungen im Kamerasystem, die vom bewegten Bildelement verursacht sind, zu reduzieren. The object is achieved in a method for cooling a camera system of the type mentioned above in that the conditional by the cooling element unwanted mechanical vibrations are measured and applied depending on the measured vibrations, the camera system with the measured vibrations to the opposite vibrations of the mechanical vibrations and / or one Changing the movement of the cooling element is effected in order to reduce the mechanical vibrations in the camera system, which are caused by the moving picture element.

Die Beaufschlagung mit den gegenphasigen Schwingungen kann bevorzugt nahe oder direkt am bewegten Kühlelement (z.B. nahe oder direkt an einem Halter oder einem Gehäuse des Kühlelementes) durchgeführt werden. Ferner kann das Kamerasystem an mehreren unterschiedlichen Stellen mit den gegenphasigen Schwingungen beaufschlagt werden. The application of the antiphase oscillations may preferably be carried out close to or directly on the moving cooling element (for example close to or directly on a holder or a housing of the cooling element). Furthermore, the camera system can be acted upon at several different locations with the antiphase oscillations.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren können die vom Kühlelement erzeugten mechanischen Schwingungen an einem oder an mehreren Meßpunkten gemessen werden. Zur Messung kann zumindest ein Beschleunigungssensor verwendet werden. Dabei handelt es sich um ein kostengünstiges Bauteil, so daß das Verfahren kostengünstig realisiert werden kann. In the method according to the invention, the mechanical vibrations generated by the cooling element can be measured at one or more measuring points. At least one acceleration sensor can be used for the measurement. This is a low-cost component, so that the process can be realized inexpensively.

Ferner kann die Kühleinrichtung einen sich drehenden Lüfter aufweisen und kann zur Änderung der Bewegung des Kühlelements die Drehzahl des Lüfters geändert werden. Furthermore, the cooling device can have a rotating fan and can be changed to change the movement of the cooling element, the speed of the fan.

Des weiteren können die vom Kühlelement erzeugten mechanischen Schwingungen laufend gemessen werden und kann das Kamerasystem mit den zu den gemessenen Schwingungen gegenphasigen Schwingungen laufend beaufschlagt und/oder die Änderung des Kühlelements laufend bewirkt werden. Furthermore, the mechanical vibrations generated by the cooling element can be continuously measured and the camera system can be continuously charged with the oscillations in phase opposition to the measured vibrations and / or the change of the cooling element can be effected continuously.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren kann die Bewegung des Kühlelementes insbesondere so geändert werden, daß die durch das Kühlelement bewirkten mechanischen Schwingungen eine Frequenz aufweisen, die sich von der Eigenfrequenz des Kamerasystems unterscheidet. Damit wird eine ausgezeichnete Schwingungsdämpfung erreicht. In the method according to the invention, the movement of the cooling element can in particular be changed so that the mechanical vibrations caused by the cooling element have a frequency which differs from the natural frequency of the camera system. This achieves excellent vibration damping.

Das erfindungsgemäße Verfahren kann in gleicher Weise wie das erfindungsgemäße Kamerasystem weitergebildet werden und kann die in Verbindung mit der Beschreibung des erfindungsgemäßen Kamerasystems sowie den Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Kamerasystems erwähnten Verfahrensschritte aufweisen. In gleicher Weise kann das erfindungsgemäße Kamerasystem so weitergebildet werden, daß das erfindungsgemäße Verfahren zur Kühlung eines Kamerasystems ausgeführt werden kann. The method according to the invention can be developed in the same way as the camera system according to the invention and can have the method steps mentioned in connection with the description of the camera system according to the invention and the further developments of the camera system according to the invention. In the same way, the camera system according to the invention can be developed so that the inventive method for cooling a camera system can be performed.

Es versteht sich, daß die vorstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in den angegebenen Kombinationen, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung einsetzbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen. It is understood that the features mentioned above and those yet to be explained below can be used not only in the specified combinations but also in other combinations or alone, without departing from the scope of the present invention.

Nachfolgend wird die Erfindung beispielsweise anhand der beigefügten Zeichnung, die auch erfindungswesentliche Merkmale offenbart, noch näher erläutert. Es zeigt: The invention will be explained in more detail for example with reference to the accompanying drawing, which also discloses features essential to the invention. It shows:

1 eine schematische Ansicht einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Kamerasystems. 1 a schematic view of an embodiment of the camera system according to the invention.

Bei der in 1 gezeigten Ausführungsform ist das erfindungsgemäße Kamerasystem 1 an einem Mikroskop 15 montiert. Das erfindungsgemäße Kamerasystem 1 kann als solches verwendet werden. Bei der beschriebenen Ausführungsform kann auch das Mikroskop 15 als Bestandteil des erfindungsgemäßen Kamerasystem 1 angesehen werden, so daß ein erfindungsgemäßes Mikroskopsystem 30 vorliegt, das ein Stativ 2 mit einem Probentisch 3, eine Abbildungsoptik 4, die schematisch als Objektivrevolver mit drei Objektiven dargestellt ist, eine Kamera 5 mit einem Bildsensor 6, der beispielsweise ein CCD- oder ein CMOS-Sensor ist, eine Kühleinrichtung 7 zum Kühlen des Bildsensors 6, einen Beschleunigungssensor 8, der an der Kühleinrichtung 7 angebracht ist, eine Steuereinheit 9, die bei der hier beschriebenen Ausführungsform einen Aktuator 10 enthält, sowie eine Mikroskopsteuerung 16 umfaßt. At the in 1 embodiment shown is the camera system according to the invention 1 on a microscope 15 assembled. The camera system according to the invention 1 can be used as such. In the described embodiment, the microscope can also 15 as part of the camera system according to the invention 1 be regarded, so that a microscope system according to the invention 30 that's a tripod 2 with a sample table 3 , an imaging optics 4 , which is shown schematically as a nosepiece with three lenses, a camera 5 with an image sensor 6 , which is, for example, a CCD or a CMOS sensor, a cooling device 7 for cooling the image sensor 6 , an acceleration sensor 8th , who at the cooling device 7 is attached, a control unit 9 , which in the embodiment described here an actuator 10 contains, as well as a microscope control 16 includes.

Der Abstand zwischen der Abbildungsoptik 4 (Objektivrevolver) und dem Probentisch 3 ist zur Einstellung der Fokuslage (z-Position) bzw. zur Fokussierung veränderbar, wie durch den Doppelpfeil P1 angedeutet ist. Dazu ist ein nicht gezeigter z-Trieb vorgesehen. Ferner umfaßt das Mikroskop 15 einen nicht gezeigten xy-Motor für den Probentisch 3, mit dem die Position des Probentisches 3 in der xy-Ebene (die y-Richtung erstreckt sich senkrecht zur Zeichenebene von 1) einstellbar ist, wobei sowohl der z-Trieb als auch der xy-Motor mittels der Mikroskopsteuerung 16 gesteuert wird. The distance between the imaging optics 4 (Nosepiece) and the sample table 3 is changeable to adjust the focus position (z-position) or for focusing, as indicated by the double arrow P1. For this purpose, a not shown z-drive is provided. Furthermore, the microscope includes 15 a not shown xy motor for the sample table 3 , with which the position of the sample table 3 in the xy-plane (the y-direction is perpendicular to the plane of the drawing) 1 ) is adjustable, with both the z-drive and the xy motor by means of the microscope control 16 is controlled.

Damit kann in bekannter Art und Weise eine auf dem Probentisch 3 positionierte Probe 11 bzw. ein vorbestimmter Teil der Probe 11 über die Abbildungsoptik 4 vergrößert abgebildet und mit der Kamera 5 aufgenommen werden. Der Betrieb des Mikroskops 15 wird mittels der Mikroskopsteuerung 16 gesteuert, wobei noch ein schematisch eingezeichneter Computer 12 vorgesehen sein kann, über dessen Bildschirm 13 beispielsweise Aufnahmen der Kamera 5 dargestellt werden können. Natürlich muß das Mikroskop 15 nicht als aufrechtes Mikroskop gemäß 1 ausgebildet sein, sondern kann auch als jede andere Art eines Mikroskopes ausgebildet sein, wie z.B. ein inverses Mikroskop, ein konfokales Mikroskop, ein Lichtrastermikroskop (insbesondere ein Laserscanningmikroskop), etc. This can be done on the sample table in a known manner 3 positioned sample 11 or a predetermined part of the sample 11 about the imaging optics 4 magnified and with the camera 5 be recorded. The operation of the microscope 15 is done by means of the microscope control 16 controlled, where still a schematically drawn computer 12 can be provided over the screen 13 for example, recordings of the camera 5 can be represented. Of course the microscope has to 15 not as an upright microscope according to 1 may be formed, but may also be formed as any other type of microscope, such as an inverted microscope, a confocal microscope, a light scanning microscope (in particular a laser scanning microscope), etc.

Die Kamera 5 kann hier so ausgebildet sein, daß der Bildsensor 6 mittels einem thermoelektrischen Kühlelement 17 (z.B. ein Peltier-Element) gekühlt wird, um den störenden Dunkelstrom des Bildsensors 6 zu minimieren. Die vom Kühlelement 17 erzeugte Verlustwärme wird auf einen Kühlkörper 18 übertragen, der mittels einem Luftstrom gekühlt wird. Zur Erzeugung des Luftstromes weist die Kühleinrichtung 7 einen schematisch gezeigten Lüfter 14 auf. Durch die nicht zu vermeidende Unwucht des Lagers des Lüfters oder Ventilator 14 wird daher das Kamerasystem 1 mit unerwünschten mechanischen Schwingungen beaufschlagt, die sich bis zum Bildsensor 6 und/oder die sich über das Stativ 2 und den Probentisch 3 bis zur Probe 11 übertragen können, was nachteiliger Weise zu schlechteren Aufnahmen führen kann. So können die mechanischen Schwingungen zu einer relativen lateralen Verschiebung der Probe 11 um mehrere Pixel des Bildsensors 6 führen, wodurch eine unscharfe Aufnahme der Probe 11 resultiert. Falls die Belichtungszeit des Bildsensors 6 kürzer ist als die Schwingungen der Probe 11, können die Schwingungen als Oszillation der Probe 11 in einer Zeitreihenaufnahme sichtbar sein. The camera 5 can be designed here so that the image sensor 6 by means of a thermoelectric cooling element 17 (For example, a Peltier element) is cooled to the disturbing dark current of the image sensor 6 to minimize. The from the cooling element 17 generated heat loss is on a heat sink 18 transferred, which is cooled by means of an air flow. For generating the air flow, the cooling device 7 a fan shown schematically 14 on. Due to the unavoidable imbalance of the bearing of the fan or fan 14 therefore becomes the camera system 1 subjected to unwanted mechanical vibrations, extending to the image sensor 6 and / or looking over the tripod 2 and the sample table 3 to the sample 11 can transmit, which can disadvantageously lead to worse recordings. Thus, the mechanical vibrations can lead to a relative lateral displacement of the sample 11 by several pixels of the image sensor 6 cause a blurred image of the sample 11 results. If the exposure time of the image sensor 6 shorter than the vibrations of the sample 11 , the vibrations may be as oscillation of the sample 11 be visible in a time series recording.

Um diese nachteiligen Effekte zu verringern oder sogar vollständig zu eliminieren, werden mittels dem Beschleunigungssensor 8 die durch die Kühleinrichtung 7 bzw. den Lüfter 14 bedingten mechanischen Schwingungen im Kamerasystem 1 (hier die an der Kühleinrichtung 7) gemessen und ein entsprechendes Schwingungssignal über eine Leitung L1 an die Steuereinheit 9 abgegeben. Das Schwingungssignal repräsentiert die gemessenen Schwingungen, die beispielsweise periodische Schwingungen sein können. In order to reduce or even completely eliminate these adverse effects, by means of the acceleration sensor 8th through the cooling device 7 or the fan 14 conditional mechanical vibrations in the camera system 1 (here the at the cooling device 7 ) and a corresponding vibration signal via a line L1 to the control unit 9 issued. The vibration signal represents the measured vibrations, which may be, for example, periodic vibrations.

Basierend auf dem Schwingungssignal steuert die Steuereinheit 9 den Aktuator 10 über eine Leitung L2 so an, daß das Kamerasystem 1 und hier die Kühleinrichtung 7 mit Schwingungen beaufschlagt wird, die gegenphasig zu den gemessenen mechanischen Schwingungen sind, die durch den Lüfter 14 bedingt sind, so daß die vom Lüfter 14 verursachten mechanischen Schwingungen reduziert oder sogar vollständig kompensiert sind. Dies führt dazu, daß die am Bildsensor 6 und/oder am Probentisch 3 anliegenden Restschwingungen (sofern solche noch vorhanden sind) so gering sind, daß ihr störender Einfluß auf die Bildaufnahme deutlich verringert ist. Based on the vibration signal, the control unit controls 9 the actuator 10 via a line L2 so that the camera system 1 and here the cooling device 7 is subjected to vibrations that are in antiphase to the measured mechanical vibrations caused by the fan 14 are conditional, so that the fan 14 caused mechanical vibrations are reduced or even completely compensated. This causes the on the image sensor 6 and / or on the sample table 3 adjacent residual vibrations (if they are still present) are so small that their disturbing influence on image acquisition is significantly reduced.

Bei dem Aktuator 10 kann es sich z.B. um einen elektromagnetischen Schwinger oder ein Piezo-Stellglied handeln. At the actuator 10 it may be, for example, an electromagnetic oscillator or a piezo actuator.

Insbesondere kann die Steuereinheit 9 die Gesamtresonanz oder die Eigenresonanz des Kamerasystems 1 und/oder die Position des Aktuators 10 am Kamerasystem 1 bei der Erzeugung der gegenphasigen Schwingung berücksichtigen, so daß eine ausgezeichnete Schwingungskompensation vorliegt. In particular, the control unit 9 the overall resonance or self-resonance of the camera system 1 and / or the position of the actuator 10 on the camera system 1 in the generation of the anti-phase oscillation, so that there is an excellent vibration compensation.

Durch diese Art der aktiven Schwingungsdämpfung können insbesondere Alterungseffekte des Lüfters 14, die zu sich ändernden mechanischen Schwingungen führen und häufig große Probleme bereiten, berücksichtigt werden. By this type of active vibration damping can in particular aging effects of the fan 14 , which lead to changing mechanical vibrations and often cause great problems, are taken into account.

Ferner kann die Steuereinheit 9 in Abhängigkeit des Schwingungssignals beispielsweise die Drehzahl des Lüfters 14 ändern (Leitung L3), um die vom Lüfter 14 erzeugten mechanischen Schwingungen zu reduzieren. Wenn die vom Lüfter 14 erzeugten Schwingungen periodisch sind, führt schon eine geringe Vergrößerung des Abstands der Frequenz der induzierten mechanischen Schwingungen zur Eigenfrequenz des Kamerasystems 1 zu einer deutlichen Reduzierung der störenden mechanischen Schwingungen im Kamerasystem 1. So kann beispielsweise ein Drehzahlbereich des Lüfters 14 für einen vorbestimmten Temperaturbereich vorgegeben sein und die Steuereinheit 9 wählt innerhalb dieses vorgegebenen Drehzahlbereichs die Drehzahl für den Lüfter 14 aus, bei der die geringsten mechanischen Schwingungen im Kamerasystem 1 erzeugt werden. Furthermore, the control unit 9 depending on the vibration signal, for example, the speed of the fan 14 change (line L3) to that from the fan 14 to reduce generated mechanical vibrations. When the fan 14 generated oscillations are periodic, even a small increase in the distance of the frequency of the induced mechanical vibrations leads to the natural frequency of the camera system 1 to a significant reduction of the disturbing mechanical vibrations in the camera system 1 , For example, a speed range of the fan 14 be predetermined for a predetermined temperature range and the control unit 9 selects the speed for the fan within this specified speed range 14 from where the slightest mechanical vibration in the camera system 1 be generated.

Natürlich kann das erfindungsgemäße Kamerasystem 1 auch so ausgebildet sein, daß der Aktuator 10 nicht vorgesehen ist oder nicht angesteuert wird und die Reduzierung der mechanischen Schwingungen im Kamerasystem 1 nur über die beschriebene Steuerung der Drehzahl des Lüfters 14 erfolgt. Of course, the camera system according to the invention 1 also be designed so that the actuator 10 is not provided or is not controlled and the reduction of mechanical vibrations in the camera system 1 only via the described control of the speed of the fan 14 he follows.

Bei dem Beschleunigungssensor 8 kann es sich insbesondere um einen zweidimensionalen oder dreidimensionalen Beschleunigungssensor handeln. Der Beschleunigungssensor kann als MEMS-Sensor (Micro-Electro-Mechanical-Sensor bzw. Mikrosystem-Sensor) ausgebildet sein. In the acceleration sensor 8th it may in particular be a two-dimensional or three-dimensional acceleration sensor. The acceleration sensor can be designed as a MEMS sensor (micro-electro-mechanical sensor or microsystem sensor).

Natürlich kann der Aktuator 10 der Steuereinheit 9 auch an jeder anderen Position am erfindungsgemäßen Kamerasystem 1 angeordnet sein. Ferner kann der Sensor 8 auch an jeder anderen Positionen am erfindungsgemäßen Kamerasystem 1 angeordnet sein als die in 1 gezeigte Position um die mittels dem Lüfter 14 erzeugten mechanischen Schwingungen zu messen. Ferner kann mehr als ein Sensor 8 und/oder mehr als ein Aktuator 10 vorgesehen sein. Of course, the actuator can 10 the control unit 9 also at any other position on the camera system according to the invention 1 be arranged. Furthermore, the sensor 8th also at any other positions on the camera system according to the invention 1 be arranged as the in 1 position shown by the fan 14 to measure generated mechanical vibrations. Furthermore, more than one sensor 8th and / or more than one actuator 10 be provided.

Claims (17)

Kamerasystem mit einem Bildsensor (6) und einer Kühleinrichtung (7) zum Kühlen des Bildsensors (6), wobei die Kühleinrichtung (7) ein bewegtes Kühlelement (14) enthält, das unerwünschte mechanische Schwingungen im Kamerasystem (1) erzeugt, dadurch gekennzeichnet, daß das Kamerasystem (1) einen ersten Sensor (8) zur Messung der unerwünschten mechanischen Schwingungen, der ein entsprechendes Schwingungssignal ausgibt, und eine Steuereinheit (9) aufweist, die in Abhängigkeit des Schwingungssignals das Kamerasystem (1) mit zu den gemessenen Schwingungen gegenphasigen mechanischen Schwingungen beaufschlagt und/oder eine Änderung der Bewegung des Kühlelementes (14) bewirkt, um die unerwünschten mechanischen Schwingungen im Kamerasystem, die vom bewegten Kühlelement (14) verursacht sind, zu reduzieren. Camera system with an image sensor ( 6 ) and a cooling device ( 7 ) for cooling the image sensor ( 6 ), wherein the cooling device ( 7 ) a moving cooling element ( 14 ), the unwanted mechanical vibrations in the camera system ( 1 ), characterized in that the camera system ( 1 ) a first sensor ( 8th ) for measuring the unwanted mechanical vibrations, which outputs a corresponding vibration signal, and a control unit ( 9 ), which in dependence of the oscillation signal, the camera system ( 1 ) subjected to the measured vibrations in phase opposition mechanical vibrations and / or a change in the movement of the cooling element ( 14 ) causes the unwanted mechanical vibrations in the camera system, which are caused by the moving cooling element ( 14 ) are caused to reduce. Kamerasystem nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Aktuator (10), der das Kamerasystem (1) mit den gegenphasigen Schwingungen beaufschlagt. Camera system according to claim 1, characterized by an actuator ( 10 ), the camera system ( 1 ) are subjected to the antiphase oscillations. Kamerasystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Sensor (8) als Beschleunigungssensor (8) ausgebildet ist. Camera system according to claim 1 or 2, characterized in that the first sensor ( 8th ) as an acceleration sensor ( 8th ) is trained. Kamerasystem nach einem der obigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das bewegte Kühlelement (14) ein sich drehender Lüfter (14) ist. Camera system according to one of the above claims, characterized in that the moving cooling element ( 14 ) a rotating fan ( 14 ). Kamerasystem nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinheit (9) zur Änderung der Bewegung des Kühlelementes (14) die Drehzahl des als Lüfter ausgebildeten Kühlelementes (14) ändert. Camera system according to claim 4, characterized in that the control unit ( 9 ) for changing the movement of the cooling element ( 14 ) the speed of the cooling element designed as a fan ( 14 ) changes. Kamerasystem nach einem der obigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Sensor (8) laufend die unerwünschten mechanischen Schwingungen mißt und laufend ein entsprechendes Schwingungssignal ausgibt und die Steuereinheit (9) laufend das Kamerasystem (1) mit den zu den gemessenen Schwingungen gegenphasigen mechanischen Schwingungen beaufschlagt und/oder die Änderungen der Bewegung des Kühlelementes (14) bewirkt. Camera system according to one of the above claims, characterized in that the first sensor ( 8th ) continuously measures the unwanted mechanical vibrations and continuously outputs a corresponding vibration signal and the control unit ( 9 ) the camera system ( 1 ) subjected to the vibrations measured in phase opposition to mechanical vibrations and / or the changes in the movement of the cooling element ( 14 ) causes. Kamerasystem nach einem der obigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinheit (9) die Bewegung des Kühlelementes (14) so ändert, daß die durch das Kühlelement (14) bewirkten unerwünschten mechanischen Schwingungen eine Frequenz aufweisen, die sich von der Eigenfrequenz des Kamerasystems (1) unterscheidet. Camera system according to one of the above claims, characterized in that the control unit ( 9 ) the movement of the cooling element ( 14 ) changes so that through the cooling element ( 14 ) caused unwanted mechanical vibrations have a frequency that is different from the natural frequency of the camera system ( 1 ) is different. Kamerasystem nach einem der obigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Kühlelement (14) durch seine Bewegung einen Luftstrom zum Kühlen des Bildsensors (6) erzeugt. Camera system according to one of the above claims, characterized in that the cooling element ( 14 ) by its movement an air flow for cooling the image sensor ( 6 ) generated. Kamerasystem nach einem der obigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Temperatursensor zur Messung der Temperatur des Bildsensors (6) vorgesehen ist, wobei der Temperatursensor ein Temperatursignal an die Steuereinheit (9) anlegt, die in Abhängigkeit des Temperatursignals die Bewegung des bewegten Kühlelementes (14) steuert. Camera system according to one of the above claims, characterized in that a temperature sensor for measuring the temperature of the image sensor ( 6 ), wherein the temperature sensor sends a temperature signal to the control unit ( 9 ), which in dependence of the temperature signal, the movement of the moving cooling element ( 14 ) controls. Kamerasystem nach einem der obigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest ein weiterer Sensor zur Messung der unerwünschten mechanischen Schwingungen vorgesehen ist, wobei der zumindest eine weitere Sensor vom ersten Sensor (8) beabstandet ist und ein weiteres Schwingsignal an die Steuereinheit (9) abgibt, die dieses bei der Beaufschlagung mit den gegenphasigen mechanischen Schwingungen und/oder der Änderung der Bewegung des Kühlelementes (14) berücksichtigt. Camera system according to one of the above claims, characterized in that at least one further sensor for measuring the unwanted mechanical vibrations is provided, wherein the at least one further sensor is provided by the first sensor ( 8th ) is spaced apart and another oscillation signal to the control unit ( 9 ), which this upon application of the antiphase mechanical vibrations and / or the change of movement of the cooling element ( 14 ) considered. Kamerasystem nach einem der obigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Kamerasystem (1) als Mikroskopsystem (30) ausgebildet ist. Camera system according to one of the above claims, characterized in that the camera system ( 1 ) as a microscope system ( 30 ) is trained. Verfahren zur Kühlung eines Kamerasystems, das einen Bildsensor und eine Kühleinrichtung zum Kühlen des Bildsensors aufweist, wobei die Kühleinrichtung ein bewegtes Kühlelement enthält, das unerwünschte mechanische Schwingungen im Kamerasystem erzeugt, dadurch gekennzeichnet, daß die durch das Kühlelement bedingten unerwünschte mechanischen Schwingungen gemessen werden und in Abhängigkeit der gemessenen Schwingungen das Kamerasystem mit zu den gemessenen Schwingungen gegenphasigen mechanischen Schwingungen beaufschlagt und/oder eine Änderung der Bewegung des Kühlelementes bewirkt wird, um die unerwünschten mechanischen Schwingungen im Kamerasystem, die vom bewegten Kühlelement verursacht sind, zu reduzieren. Method for cooling a camera system, that one image sensor and a cooling device for cooling the image sensor, wherein the cooling device contains a moving cooling element that generates unwanted mechanical vibrations in the camera system, characterized in that the conditional by the cooling element undesirable mechanical vibrations are measured and applied depending on the measured vibrations, the camera system with the measured vibrations in-phase mechanical vibrations and / or a change in the movement of the cooling element is effected to the unwanted mechanical vibrations in the camera system that are caused by the moving cooling element to reduce. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die vom Kühlelement erzeugten mechanischen Schwingungen mit einem oder mehreren Beschleunigungssensoren gemessen werden. A method according to claim 12, characterized in that the mechanical vibrations generated by the cooling element are measured with one or more acceleration sensors. Verfahren nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Kühler einen Luftstrom erzeugt, mit dem der Bildsensor gekühlt wird. A method according to claim 12 or 13, characterized in that the cooler generates an air flow, with which the image sensor is cooled. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Kühleinrichtung einen sich drehenden Lüfter aufweist und zur Änderung der Bewegung des Kühlelementes die Drehzahl des Lüfters geändert wird. Method according to one of claims 12 to 14, characterized in that the cooling device comprises a rotating fan and to change the movement of the cooling element, the rotational speed of the fan is changed. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die vom Kühlelement erzeugten mechanischen Schwingungen laufend gemessen werden und laufend das Kamerasystem mit den zu den gemessenen Schwingungen gegenphasigen mechanischen Schwingungen beaufschlagt und/oder die Änderungen der Bewegung Kühlelementes bewirkt wird. Method according to one of Claims 12 to 15, characterized in that the mechanical oscillations generated by the cooling element are continuously measured and the camera system is continuously exposed to the mechanical oscillations in phase opposition to the measured vibrations and / or the changes in the movement of the cooling element are effected. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Bewegung des Kühlelementes so geändert wird, daß die durch das Kühlelement bewirkten unerwünschten mechanischen Schwingungen eine Frequenz aufweisen, die sich von der Eigenfrequenz des Kamerasystems unterscheidet. Method according to one of claims 12 to 16, characterized in that the movement of the cooling element is changed so that caused by the cooling element undesirable mechanical vibrations have a frequency which differs from the natural frequency of the camera system.
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